Хагасдамжуулагчийн үйлдвэрлэл нь орчин үеийн цахим техник үйлдвэрлэлийн суурь бөмбөрцөг бөөрт, түүний үйлдвэрлэлийн процесс нь янз бүрийн өндөр цэвэршилттүүхт кварц бүтээдүүд дээр хүчтэй суурилж буй. Бүтээдүүдийн кварц хэсгүүд нь шүүлэх, дундуур тархуулах, ариутгах, давхарга тавих гэх мэт үйлдвэрлэлийн янз бүрийн шатуудад тохирох үүрэг ба шаардлагуудыг гүйцэтгэнд. Өнөөдөр бид хагасдамжуулагчийн үйлдвэрлэлд хамгийн их тархалт олж буй таван кварц бүтээдүүдийг системтэй хялбархан үзэж, түүний тодорхой найрлал, хэрэглээний салбарууд, түлхүүр техникийн шаардлагуудыг нэг нэгээр нь танилцуулмуй.
Наад захын нарийн шүүлэх ба тундруулах кварц бүтээдүүд
Эдгээр бүтээгдэхүүн нь голдуу кварц шилэн халх, кварц диск, бусад нарийвчилсан бүрэлдэхүүн хэсгүүд юм. Тэд өндөр цэвэрлэгээтэй, өндөр температурт тэсвэртэй кварц шилэн материалаас үйлдвэрлэгддэг бөгөөд гүүрийн болон хамарсан тоног төхөөрөмжүүдэд гол хэрэглээний хэрэгсэл юм. Кварц материалын өндөр хатуу байдал, эвдэрч байхын улмаас боловсруулалтын үеэр микрошилжилт эсвэл стрессийн төвлөрөл амархан үүсдэг бөгөөд энэ нь хэмжээний тэвчээртэй, гадаргын цэвэрлэгээ, гадаад төрхний тогтвортой байдлын хувьд маш хатуу стандартыг шаарддаг. Олон чухал эд ангиудыг процессын шаардлагаас шалтгаалан дахин боловсруулах боломжгүй бөгөөд нэг удаад бүтээж өгөх ёстой бөгөөд энэ нь үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмж, үйл ажиллагааны техникүүдийн нарийвчлалтай холбоотой маш өндөр сорилт үүсгэдэг. Ийм хатуу шаардлагыг тавьсан шалтгаан нь плазмагийн гүүрийн болон химийн утааны ургамал үүсгэх өндөр температур, хатуу орчинд кварцын хэсгүүдийн гадаргын ямар ч бага хэмжээний алдаа нь бохирдол үүсгэх эх үүсвэр эсвэл стрессийн хагалгалын цэг болж, бээлий боловсруу
Дискийн ачаалал ба шилүүлэлтийн хувьд кварц түүчид
Эдгээр бүтээгдэхүүн нь голчлон кварцын тээвэрлэгч, 4-дюйм, 6-дюйм, 8-дюйм, 12-дюйм зэрэг силиконы толинд зориулсан янз бүрийн спецификад тохиромжтой тээвэрлэгч юм. Тэдний гол үүрэг нь диффузийн, окислалт, угаах зэрэг өндөр температурын процессын үеэр болон ургамлын цэвэрлэх үйл явцдаа силиконы бээлийг шууд ачаалж, байлгах бөгөөд процессын үеэр бээлий нь нарийн байрлал, зайтай байхыг хангах явдал юм. Кварц тээвэрлэгчид силиконы бээлийтэй шууд холбогдож, ихэнхдээ автоматжуулсан бээлий шилжүүлэх системд ашигладаг тул шүдний хэлбэрийн үнэн зөв байдал, давхар байдал, зэрэгцээ байдал зэрэг хэмжээний тэвчээртүүлэг нь маш өндөр байдаг. Үүний зэрэгцээ гадаргын цэвэр байдал нь ч чухал ач холбогдолтой. Үүнээс гадна давтагдалтай өндөр температурын эргэлт, хүчил-баз цэвэрлэх орчинд кварцын тээвэрчид урт хугацааны хэрэглээний үед хэмжээний тогтвортой байдал, ашиглалтын хугацааг хангахын тулд дулаан тогтвортой байдал, халдвар татах чадвартай байх шаардлагатай.
Процессийн тусламж ба байршлын тодорхойлолтод зориулан кварц хурдхагууд
Эдгээр бүтээгдэхүүн нь голдуу кварцын ачааллын бялз, кварцын суурь, кварцын хаалгыг бүрдүүлж, туслах бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Тэд янз бүрийн хагас дамжуулагчийн дулааны эмчилгээ, хуримтлал, эсвэл гүрвэлийн үйл явцад, тоос, процессын танхим, цонхнуудыг дэмжих, байршуулах, мөргөлдөхэд өргөн хэрэглэгддэг. Тэд үндсэн реакцүүдэд шууд оролцохгүй ч процессын тогтвортой үйл ажиллагааг хангахын тулд чухал ач холбогдолтой. Тодорхой хэрэглээний нөхцөл байдлаас хамаарч кварцын тоног төхөөрөмжийн нарийвчлал нь ихээхэн ялгаатай байдаг. Жишээ нь, нарийвчлан тохируулахад ашигладаг суурь нь талбай болон нүхний диаметрийн дутагдалд маш өндөр шаардлага тавьдаг бол хаалганы үйл ажиллагааг Үүнээс гадна, өндөр температур, халдвартай агаар мандалт удаан хугацаагаар илэрдэг тул кварцын тоног төхөөрөмжүүд нь өндөр цэвэрлэгээтэй кварцын материалаар хийгдэж, процессын үеэр бохирдол үүсэхээс урьдчилан сэргийлэх, тоосны гадаргын цэвэрлэгээг нөлөөл
Чинхүүн хадгалах савууд ба хувиршгүй цэвэрлэх процессын тулгуур
Эдгээр бүтээгдэхүүн нь голдуу кварцын цэвэрлэх резервуар, кварцын тээвэр гэх мэт юм. Тэднийг ялангуяа хагас дамжуулагч ургамлын цэвэрлэх процесст хэрэглэдэг. Химийн бодисын хүчтэй халдварлаг шинж чанар, ургамал процесст оролцох өндөр температурын усны улмаас, кварцын цэвэрлэх сав нь савны хэлбэр нь хэлбэлзэж, элдэв бодисыг бохирдуулдаггүй байхын тулд химийн халдварт эсэргүүцэл, дулаан тогт Үүний зэрэгцээ кварцын тээврийн байгууламжийн зураг төсөл нь утасны урсгалыг тайван хангах, утасны зогсонги байдлыг зайлсхийх, тоосны гадаргын нэг хэв маягтай цэвэршүүлэг хангах шаардлагатай. Эдгээр бүтээгдэхүүний механик боловсруулалтын нарийвчлалтай холбоотой шаардлага харьцангуй бага боловч тэдгээрийн гадаад төрх (хүлээ, хажуудалгүй) болон гадаргын цэвэр байдал нь маш чухал байдаг. Гадаргын ямар ч бага хэмжээний алдаа нь химийн бохирдлын үлдэгдлийн цэг болж, халда
Төвхөн халуун хүртэлх дулааны боловсруулалтын процессын төвхөн цагаан хоолой
Эдгээр бүтээдүүд гол төлөв кварц реакц хоолой, кварц утаа хоолой, кварц сүүдэр хоолой, агаарын дотоод хоолой, гадаад хоолой гэх мэт бүтээдүүдийн олонлог юм. Түүнд үндсэндээ хагас дамжуулагчийн диффузия, исэлдүүлэлт, химийн уурлаж хадгалуулалт (CVD), аннейлинг гэх мэт өндөр температурт дулааны бүрдүүлэлтийн процессын үед ашигладаг. Түүнд процессийн камерийн үндсэн хэсгүүд болой, реагентийн агаарын нүүрлүүлэлт эсвэл дискийн тавилан үүрдүүлэлт хийн орчинд ашигладаг. Урт хугацааны 1000℃-с дээш температурт ба коррозийн нөлөөлөлд үлдмүүрт кварц хоолойн термик тогтвортой байдал, үргэлжлүүлэлт, деформацийн үүрдүүлэлт, процессийн орчинд бооржин холионуудын ялгаруулалт зэрэг шинж чанаруудыг хангахын тулд өндөр цэвэрлэгдүүлсэн, бага гидроксил агуулалттай кварц материал ашиглана. Гэтэл кварц утаа хоолойн хэмжээний нарийн нарийн харгалзан тохируулалт, ханын зүүн талын нэгтөрүүлэлт, герметик харгалзан тохируулалт нь камерийн доторх агаарын урсгалын тархалт, температурын талбайн нэгтөрүүлэлттэй шууд холбоотой бөгөөд диск дээрх тавилан давхрааны нэгтөрүүлэлтийг тодорхойлдог. Ийнхүү, түүнд цуглуулалтын хэмжээ, цэвэрлэгдүүлсэн байдал, герметик байдал гэх мэт шаардлагууд үлдмүүрт хүнд бөгөөд жижиг зуурхай, бооржин холионууд өндөр температурт хүртэл хүчний төвлөрүүлэлтүүд болой, хоолойн үргэлжлүүлэлтийг нөлөөлдөг, түүнд хагарал үүсгэдөг, процессийн зогсолт, хорогдуулалт үүсгэдөг.
Үндсэн үг: Кварц бүтээгдэхүүн - хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн зангилааны гол дэмжлэг
Дээрх нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд хэрэглэгддэг кварцын нийт 5 төрлийн бүтээгдэхүүн юм. Товчхон машинны эд ангиас эхлээд өндөр температурын тахилгат түтүврийг хүртэлх төрөл бүрийн нь чип үйлдвэрлэлийн бүх үе шатанд зайлшгүй үүрэг гүйцэтгэдэг. Төрөл бүрийн бүтээгдэхүүн нь материалын цэвэрлэгээ, боловсруулалтын үнэн зөв байдал, цэвэрлэгээ зэрэг янз бүрийн талаас анхаардаг боловч нийтлэг зорилго нь вафэр боловсруулах үйл явц, бүтээгдэхүүний үр өгөөжийг тогтвортой хангах явдал юм. Энэ нийтлэл нь та бүхэнд хагас дамжуулагч кварцын бүтээгдэхүүний талаарх бүрэн ойлголтыг хурдан бий болгоход тусална гэж найдаж байна.
EN
