סירה מזכוכית קוורץ מיועדת להחזקת וויפר בתנור צינור. היא יכולה לעמוד בטמפרטורות עד 1200 מעלות צלזיוס ℃ויש לה יציבות כימית מצוינת, מבלי לגרום לכל זיהום של הויפר. לכן, בתהליך הייצור של וויפר, הסירה מהקוורץ היא כלי חשוב מאוד.
סיכום
סירת קוורץ משמשת לשמירה על הווופר בתנור צינור. היא עמידה בטמפרטורות עד 1200 מעלות צלזיוס ובעלת יציבות כימית מצוינת, מבלי לגרום לכל זיהום של הווופר. לכן, בתהליך הייצור של הווופר, סירת הקוורץ היא כלי חשוב מאוד.
פרטים
יישומים של סירה לוח קוורץ:
לסירה הקוורצית תכונות פיזיקליות וכימיות ייחודיות, והיא ממלאה תפקיד חשוב בתחומים שונים, כגון ייצור סמי-מוליכים, תעשיית אופטו-אלקטרוניקה, ניתוחים כימיים וניסויים בטמפרטורה גבוהה. היא מספקת לא רק פלטפורמה או מיכל יציב ואמין לניסויים ותהליך ייצור, אלא גם מגבירה את הדיוק והאמינות של תוצאות הניסויים. עם ההתקדמות התמידית של הטכנולוגיה וההרחבת תחומי היישום, תחומי היישום של הסירה הקוורצית יהיו נרחבים אף יותר.
תכונות
| התנהגות מכאנית | ערכים סטנדרטיים |
| צפיפות | 2.2 גרם/סמ"ק |
| חוזק לחיצה | 100MPa |
| מודול האלסטיות של יאנג | 7200MPa |
| מודול הגמישות | 3100MPa |
| קושי מוהס | 5.5~6.5 |
| נקודת המעבר | 1280℃ |
| נקודת רכות | 1780℃ |
| נקודת היגוד | 1250℃ |
| חום סגולי (20~350℃) | 670J/kg.℃ |
| מוליכות תרמית (20℃) | 1.4W/m.℃ |
| אינדקס השבירה | 1.4585 |
| טמפרטורת עיבוד תרמית | 1750~2050℃ |
| טמפרטורת שימוש קצר-срочית | 1300℃ |
| טמפרטורת שימוש ארוך-срочית | 1100℃ |
| חומר | חמר קוורץ טהור |
| משטח | ללא בועות אוויר, ללא תהליך |
| מתח | 1270℃ אגglomerציה של לבני קוורץ |
| PPM | בקרת 10/20/100 PPM |
| עובי | 0.5 מ"מ~40 מ"מ |
כלי קוורץ שקוף משני הצדדים עם מסלול אור של 10 מ"מ
פלנג זכוכית קוורץ מטושטשת לשרף או חיבור רכיבים
כלי זכוכית סיליקה קוורץ מחומר עמיד בטמפרטורה גבוהה, שקוף, ניתן להתאמה אישית
כלי אידוי סיליקון פסטה סיליקון קרביד כורסה מבודדת סicontainerרמיקה קטן
EN
