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쿼츠 유리 보트는 튜브 퍼니스에서 웨이퍼를 담는 용도로 사용되며 최대 1200°C의 온도를 견딜 수 있습니다 ℃또한 뛰어난 화학적 안정성을 지녀 웨이퍼에 어떠한 오염도 유발하지 않습니다. 따라서 웨이퍼 제조 공정에서 쿼츠 보트는 매우 중요한 도구입니다.
간략한 설명
석영 유리 보트는 튜브 가마에서 웨이퍼를 고정하는 용도로 사용됩니다. 최대 1200℃의 온도를 견딜 수 있으며 뛰어난 화학적 안정성을 갖추고 있어 웨이퍼에 어떠한 오염도 유발하지 않습니다. 따라서 웨이퍼 제조 공정에서 석영 보트는 매우 중요한 도구입니다.
세부사항
쿼츠 웨이퍼 보트의 응용 분야:
쿼츠 보트는 독특한 물리적 및 화학적 특성으로 인해 반도체 제조, 광전자 산업, 화학 분석 및 고온 실험과 같은 다양한 분야에서 중요한 역할을 합니다. 실험 및 생산을 위한 안정적이고 신뢰성 있는 플랫폼 또는 용기를 제공할 뿐만 아니라 실험 결과의 정확성과 신뢰성을 높여줍니다. 기술의 지속적인 발전과 응용 분야의 확장에 따라 쿼츠 보트의 응용 전망은 더욱 넓어질 것입니다.
제품 사양
| 기계적 거동 | 표준 값 |
| 밀도 | 2.2g/cm³ |
| 압축 강도 | 100MPa |
| 영률 | 7200MPa |
| 강성 계수 | 3100MPa |
| 모스 경도 | 5.5~6.5 |
| 변화점 | 1280℃ |
| 유화점 | 1780℃ |
| 회복점 | 1250℃ |
| 비열(20~350℃) | 670J/kg.℃ |
| 열전도율(20℃) | 1.4W/m.℃ |
| 굴절률 | 1.4585 |
| 열처리 온도 | 1750~2050℃ |
| 단기 사용 온도 | 1300℃ |
| 장기 사용 온도 | 1100℃ |
| 재질 | 고순도 석영 덩어리 |
| 표면 | 에어 버블 없음, 공정 없음 |
| 긴장 | 1270℃ 석영 유리 벽돌 융합 |
| PPM | 10/20/100 PPM 제어 |
| 두께 | 0.5mm~40mm |