石英ガラスボートは管状炉内でウエハを保持するために使用されます。耐熱温度は最大1200℃までで、 ℃優れた化学的安定性を持ち、ウエハに汚染を引き起こしません。したがって、ウエハ製造プロセスにおいて石英ボートは非常に重要なツールです。
簡潔に
石英ガラス製の舟は、チューブ炉内でウエハを保持するために使用されます。1200℃までの温度に耐えることができ、優れた化学的安定性を持ち、ウエハへの汚染を引き起こしません。したがって、ウエハの製造プロセスにおいて、石英舟は非常に重要な工具です。
詳細
石英ウエハーボートの応用：
石英ボートはその独特な物理的および化学的特性により、半導体製造、光電子産業、化学分析、高温実験など様々な分野で重要な役割を果たしています。実験や生産に際して安定的かつ信頼性の高いプラットフォームや容器を提供するだけでなく、実験結果の正確性と信頼性を高めます。技術の継続的な進歩と応用分野の拡大に伴い、石英ボートの応用可能性はさらに広がることが期待されています。
仕様
| 機械的挙動 | 標準値 |
| 密度 | 2.2g/cm³ |
| 圧縮力 | 100MPa |
| ヤング率 | 7200MPa |
| 剛性係数 | 3100MPa |
| モース硬度 | 5.5~6.5 |
| 変態点 | 1280℃ |
| 軟化点 | 1780℃ |
| 焼戻し点 | 1250℃ |
| 比熱(20~350℃) | 670J/kg.℃ |
| 熱伝導率(20℃) | 1.4W/m.℃ |
| 屈折率 | 1.4585 |
| 熱処理温度 | 1750~2050℃ |
| 短期使用温度 | 1300℃ |
| 長期使用温度 | 1100℃ |
| 材質 | 高純度石英塊 |
| 表面 | エアーバブルなし、工程なし |
| 負荷 | 1270℃ 石英ガラスレンガを溶融 |
| Ppm | 制御 10/20/100 PPM |
| 厚さ | 0.5mm~40mm |
両面クリア 10mm 光路 クォーツガラスセル
フロストドクォーツガラスフランジ（シールまたはコンポーネント接続用）
カスタマイズ透明耐熱溶融シリカ石英ガラスるつぼ
オイルペースト噴霧用炭化ケイ素るつぼ絶縁体 SiCセラミック小カップ
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