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Das Quarzglasboot dient dazu, die Wafer in einem Rohrofen zu halten. Es kann Temperaturen von bis zu 1200 standhalten ℃und verfügt über ausgezeichnete chemische Stabilität, ohne die Wafer zu verunreinigen. Daher ist das Quarzglasboot im Fertigungsprozess der Wafer ein sehr wichtiges Werkzeug.
KURZ
Das Quarzglasboot dient zum Halten des Wafers im Rohrofen. Es kann Temperaturen von bis zu 1200 °C standhalten und verfügt über ausgezeichnete chemische Stabilität, ohne den Wafer zu verunreinigen. Daher ist das Quarzglasboot bei der Herstellung von Wafern ein sehr wichtiges Werkzeug.
Details
Anwendungen des Quarzwaferschiffchens:
Das Quarzschiffchen spielt aufgrund seiner einzigartigen physikalischen und chemischen Eigenschaften eine bedeutende Rolle in verschiedenen Bereichen wie der Halbleiterfertigung, der optoelektronischen Industrie, der chemischen Analyse sowie bei Hochtemperatur-Experimenten. Es stellt nicht nur eine stabile und zuverlässige Plattform oder einen Behälter für Experimente und die Produktion bereit, sondern verbessert auch die Genauigkeit und Zuverlässigkeit der Versuchsergebnisse. Mit der ständigen technischen Weiterentwicklung und der Ausweitung der Anwendungsgebiete werden die Anwendungsperspektiven des Quarzschiffchens noch breiter werden.
TECHNISCHE DATEN
| Mechanisches Verhalten | Standardwerte |
| Dichte | 2,2g/cm³ |
| Druckfestigkeit | 100Mpa |
| Elastizitätsmodul | 7200MPa |
| Schubmodul | 3100MPa |
| Mohs-Härte | 5.5~6.5 |
| Transformationspunkt | 1280℃ |
| Weichpunkt | 1780℃ |
| Rücklaufpunkt | 1250℃ |
| Spezifische Wärme (20~350℃) | 670J/kg.℃ |
| Wärmeleitfähigkeit (20℃) | 1,4W/m.℃ |
| Brechungsindex | 1.4585 |
| Wärmebehandlungstemperatur | 1750~2050℃ |
| Kurzzeitige Einsatztemperatur | 1300℃ |
| Langzeit-Benutzungstemperatur | 1100℃ |
| Material | Hochreine Quarzbrocken |
| Oberfläche | Keine Luftblasen, kein Prozess |
| Spannung | 1270 °C Quarzglasstein geschmolzen |
| PPM | Gesteuert 10/20/100 PPM |
| Dicke | 0,5 mm~40 mm |