צ'אק ואקום קרמיקה מיקרו-פרוס אלומינה לשבבי סיליקון ולתעשיית הסמי-קוונדקטור

היתרים עיקריים

• （1）נקבוביות גבוהה וגודל נקבוביות אחיד מאפשרים התנגדות נמוכה לשני זרמי גז ונוזל ביישומים, קשיחות טובה ויציבות ממדית. החומר הקרמי הוא בעל קשיות גבוהה (קשיות מוס ≥8), יכול לעמוד בטמפרטורות גבוהות (עד מעל 500° צלזיוס), וمقاوم לקלקולים שונים של חומצות וقلים. יש לו אורך חיים ארוך, המגיע ל-3 עד 5 פעמים מזה של מדחסי שואב מסורתיים.
• (2) עמידות כימית מצוינת הן בתנאים חומציים והן אלקליים, עמידות נמוכה גם לזרם גזים וגם נוזלים באמצעות יישום. המבנה השחוזי ברמת המיקרונים מבטיח חלוקת שאיבה אחידה. אפילו אם פני השטח של חתיכת העבודה יש חוסר שוויון קל, הוא עדיין יכול לדבוק בחוזקה. הוא מתאים במיוחד לחומרים דקים מאוד ושברירי כמו גבישים זכוכית וסיליקון.
• (3)גדלי נקיפות אחידים ושטחים משטח גבוהים,התנגדות טובה לחומצות ולחומרים אלקליים.השטח חלק ולא נוטה להתקשר לחומרים או להתחבא,מפחית באופן משמעותי את תדירות ניקוי ותחזוקה של השתיקה ומחלת עלויות הפעלה.

פרמטר

תרחישי יישום

• אריזת שבבים: בסיסי שבבים קבועים ובסיסי קרמיקה, מתאימים לדרישות העברת מהירות גבוהה ומיקום בשורות ייצור אוטומטיות
• עיבוד עדשות אופטיות: ספיגת זכוכית קוורץ ועדשות אופטיות, בשימוש בתהליך סANDING, ציפוי ועוד כדי למנוע עיוות או הזיהום של העדשה
• סANDING תבנית: מקבע את חלל התבנית במדויק כדי להבטיח יציבות מיקום במהלך תהליך הסANDING ושיפור גימור המשטח.
• ייצור תצוגות: מקבע תת-שכבות זכוכית OLED ו-LCD כדי לעמוד בדרישות טיפול ועיבוד ללא נזק של שכבות דקיקות במיוחד.
• עיבוד וויפר סיליקון/וויפרים: במהלך תהליכי פוטוליתוגרפיה, חיתוך, גריסה ועוד, ספיגה מדויקת של וויפרים בסיליקון בגודל 2-12 אינץ' למניעת קרעים בפני השטח ולשמירה על דיוק העיבוד.
• התקני רפואה: בשימוש בייצור ובבדיקות של שבבי מיקרו זורם, שבבי ביולוגיה ורכיבים keramיים Präzיסיים.
• ייצור סוללות: בשימוש בטיפול המדויק ובעיבוד של לוחות אלקטרודות לסוללות ליתיום, אלקטרוליטים מוצקים ופלטות דו-קוטביות לתאי דלק.
• פ.ס.ב/פ.ס.פ: מספק ספיגת וואקום אמינה במהלך הרכבת SMT, בדיקת AOI, קידור לייזר והפרדת לוחות
• תעופה וחלל וביטחון לאומי: ממלא תפקיד בייצור על-דיוק של מערכות טיס, התקני אינרציה ורכיבי ניווט