ชัคสุญญากาศจากเซรามิกไมโครรูพรุนอลูมินา สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และเวเฟอร์ซิลิคอน

จุดเด่นหลัก

• （1）ความพรุนสูงและขนาดรูพรุนที่สม่ำเสมอ ทำให้มีแรงต้านทานต่ำสำหรับการไหลของก๊าซและของเหลวในแอปพลิเคชันต่างๆ มีความแข็งแรงและความมั่นคงทางมิติที่ดี วัสดุเซรามิกมีความแข็งสูง (ความแข็งแบบโมห์ส ≥8) ทนต่ออุณหภูมิสูง (สูงกว่า 500°C) และทนต่อการกัดกร่อนจากกรดและด่างต่างๆ ทำให้มีอายุการใช้งานยาวนาน นานกว่าแผ่นดูดแบบเดิม 3 ถึง 5 เท่า
• （2）มีความต้านทานทางเคมีได้ดีเยี่ยมทั้งในสภาวะกรดและด่าง ความต้านทานต่ำต่อการไหลของก๊าซและของเหลวผ่านการใช้งาน โครงสร้างรูพรุนระดับไมครอนช่วยให้มั่นใจได้ว่าแรงดูดซึมกระจายอย่างสม่ำเสมอ แม้พื้นผิวของชิ้นงานจะขรุขระเล็กน้อย ก็ยังสามารถยึดติดได้อย่างมั่นคง โดยเฉพาะเหมาะสำหรับวัสดุบางเฉียบและเปราะบาง เช่น กระจกและแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน
• （3）ขนาดรูพรุนมีความสม่ำเสมอและพื้นที่ผิวสูง มีความต้านทานต่อกรดและด่างได้ดี พื้นผิวเรียบไม่ทำให้วัสดุเกาะติดหรืออุดตัน ลดความถี่ในการทำความสะอาดและการหยุดเดินเครื่องเพื่อบำรุงรักษาอย่างมีนัยสำคัญ และช่วยลดต้นทุนการดำเนินงาน

พารามิเตอร์

สถานการณ์การประยุกต์ใช้งาน

• การบรรจุชิป: ซับสเตรตชิปแบบคงที่และซับสเตรตเซรามิก เหมาะสำหรับข้อกำหนดการถ่ายโอนและจัดตำแหน่งด้วยความเร็วสูงในสายการผลิตอัตโนมัติ
• การประมวลผลเลนส์ออปติคอล: ดูดซับกระจกควอตซ์และเลนส์ออปติคอล ใช้ในกระบวนการขัดเงา การเคลือบผิว และกระบวนการอื่นๆ เพื่อป้องกันการเสียรูปหรือปนเปื้อนของเลนส์
• การขัดแม่พิมพ์: ยึดโพรงแม่พิมพ์ความแม่นยำสูงเพื่อให้มั่นใจถึงความเสถียรของตำแหน่งระหว่างกระบวนการขัด และเพิ่มคุณภาพผิวเรียบ
• การผลิตจอแสดงผล: ยึดซับสเตรตแก้ว OLED และ LCD เพื่อตอบสนองข้อกำหนดในการจัดการและประมวลผลซับสเตรตที่บางเป็นพิเศษโดยไม่เกิดความเสียหาย
• การประมวลผลชิ้นเวเฟอร์ซิลิคอน/เวเฟอร์: ระหว่างกระบวนการลิโธกราฟี การตัด การเจียร และกระบวนการอื่นๆ ดูดยึดเวเฟอร์ซิลิคอนขนาด 2-12 นิ้วอย่างแม่นยำเพื่อป้องกันรอยขีดข่วนบนผิวและรักษาความแม่นยำในการประมวลผล
• อุปกรณ์ทางการแพทย์: ใช้สำหรับการผลิตและการทดสอบชิปไมโครฟลูอิดิกส์ ชิปชีวภาพ และชิ้นส่วนเซรามิกความแม่นยำสูง
• การผลิตแบตเตอรี่: ใช้สำหรับการจัดการและการประมวลผลแผ่นอิเล็กโทรดของแบตเตอรี่ลิเธียม เซรามิกอิเล็กโทรไลต์แบบแข็ง และแผ่นไบโพลาร์ของเซลล์เชื้อเพลิงอย่างแม่นยำ
• PCB/FPC: ให้การดูดยึดด้วยแรงสุญญากาศที่เชื่อถือได้ในระหว่างการประกอบ SMT การตรวจสอบ AOI การเจาะรูด้วยเลเซอร์ และการแยกแผง
• การบินและอวกาศกับการป้องกันประเทศ: มีบทบาทในการผลิตความแม่นยำสูงมากสำหรับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์การบิน อุปกรณ์เฉื่อย และชิ้นส่วนนำวิถี