Yarı iletken ve silikon wafer için alümina mikro gözenekli seramik vakum chuck

Temel Avantajlar

• （1）Yüksek gözeneklilik ve uniform gözenek boyutu, hem gaz hem de sıvı akış uygulamalarında düşük direnç sağlar, iyi rijitlik ve boyutsal stabilite. Seramik malzeme yüksek sertliğe (Mohs sertliği ≥8), yüksek sıcaklığa (500°C'nin üzerine kadar) dayanıklıdır ve çeşitli asit ve alkali korozyonlarına karşı dirençlidir. Geleneksel emme çubuklarının 3 ila 5 katı ömre sahiptir.
• (2) Hem asidik hem de alkali koşullarda mükemmel kimyasal direnç, gaz ve sıvı akışına düşük direnç. Mikron seviyesindeki gözenekli yapı, eşit emme dağılımını sağlar. İş parçası yüzeyi hafif engebeli olsa bile sağlam şekilde yapışır. Cam ve silikon wafer gibi ultra ince ve kırılgan malzemeler için özellikle uygundur.
• (3) Eşit gözenek boyutları ve yüksek yüzey alanları, iyi asit ve alkali direnci. Yüzey düzgün olup malzeme yapışmasına veya tıkanmaya yatkın değildir, bu da temizlik ve durdurma bakımı sıklığını önemli ölçüde azaltarak işletme maliyetlerini düşürür.

Parametre

Uygulama Szenaryoları

• Yonga ambalajı: Sabit yonga alttaşları ve seramik alttaşlar, otomatik üretim hatlarının yüksek hızlı transfer ve konumlandırma gereksinimleri için uygundur
• Optik lens işleme: Kuvars cam ve optik lensleri emer, lens deformasyonunu veya kontaminasyonu önlemek için parlatma, kaplama ve diğer işlemlerde kullanılır
• Kalıp parlatma: Parlatma işlemi sırasında konumsal stabiliteyi sağlamak ve yüzey kalitesini artırmak için yüksek hassasiyetli kalıp boşluğunu sabitleyin.
• Ekran üretimi: Ultra ince substratların yıkıcı olmayan şekilde işlenmesi ve taşınması gereksinimlerini karşılamak için OLED ve LCD cam substratlarını sabitleme.
• Silikon wafer/wafer işleme: Fotolitografi, kesme, taşlama ve diğer işlemler sırasında yüzey çizilmelerini önlemek ve işleme doğruluğunu sağlamak için 2-12 inç silikon waferleri hassas olarak eminleştirin.
• Tıbbi cihazlar: Mikroakışkan çiplerinin, biyoçiplerin ve hassas seramik bileşenlerin üretiminde ve test edilmesinde kullanılır.
• Pil üretimi: Lityum pil elektrot levhalarının, katı elektrolitlerin ve yakıt hücresi bipolar plakalarının hassas şekilde taşınması ve işlenmesi için kullanılır.
• PCB/FPC: SMT montajı, AOI muayenesi, lazer delme ve panel ayırma sırasında güvenilir vakum emiş sağlar.
• Havacılık ve Ulusal Savunma: Aviyonik, atalet cihazları ve rehberlik bileşenlerinin ultra hassas imalatında bir rol oynar.