Mâm cặp chân không gốm vi xốp alumina cho ngành bán dẫn và tấm silicon

Ưu Điểm Chính

• （1）Độ xốp cao và kích thước lỗ xốp đồng đều giúp giảm thiểu trở kháng đối với dòng khí và chất lỏng trong các ứng dụng, độ cứng và ổn định kích thước tốt. Vật liệu gốm có độ cứng cao (độ cứng Mohs ≥8), chịu được nhiệt độ cao (lên tới trên 500°C), và chống lại sự ăn mòn của nhiều loại axit và kiềm. Tuổi thọ sử dụng dài, gấp 3 đến 5 lần so với các loại đế hút truyền thống.
• (2) Khả năng chống hóa chất tuyệt vời trong cả điều kiện axit và kiềm, độ cản thấp đối với dòng khí và dòng lỏng đi qua ứng dụng. Cấu trúc xốp ở cấp độ micron đảm bảo phân bố lực hút đồng đều. Ngay cả khi bề mặt vật liệu có độ gồ ghề nhẹ, vẫn có thể bám dính chắc chắn. Đặc biệt phù hợp với các vật liệu siêu mỏng và dễ vỡ như kính và tấm silicon.
• (3) Kích thước lỗ xốp đồng đều và diện tích bề mặt cao, khả năng chịu axit và kiềm tốt. Bề mặt nhẵn, không dễ bị bám dính vật liệu hay tắc nghẽn, giảm đáng kể tần suất vệ sinh và bảo trì dừng máy, từ đó hạ thấp chi phí vận hành

Thông số kỹ thuật

Các kịch bản ứng dụng

• Đóng gói chip: Các đế cố định chip và đế gốm, phù hợp với yêu cầu chuyển đổi và định vị tốc độ cao của các dây chuyền sản xuất tự động
• Xử lý thấu kính quang học: Hút giữ thủy tinh thạch anh và thấu kính quang học, sử dụng trong các quá trình đánh bóng, phủ lớp và các công đoạn khác để ngăn biến dạng hoặc nhiễm bẩn thấu kính
• Đánh bóng khuôn: Cố định buồng khuôn độ chính xác cao để đảm bảo sự ổn định vị trí trong quá trình đánh bóng và cải thiện độ hoàn thiện bề mặt.
• Sản xuất màn hình: Cố định các tấm nền kính OLED và LCD để đáp ứng yêu cầu xử lý và gia công không gây hư hại đối với các tấm nền siêu mỏng.
• Xử lý silicon wafer/wafer: Trong quá trình quang khắc, cắt, mài và các quy trình khác, hút chân không chính xác các wafer silicon kích thước 2-12 inch để ngăn ngừa trầy xước bề mặt và đảm bảo độ chính xác gia công.
• Thiết bị y tế: Được sử dụng trong sản xuất và kiểm tra chip vi lưu chất, chip sinh học và các thành phần gốm chính xác.
• Sản xuất pin: Được sử dụng để xử lý và gia công chính xác các tấm điện cực pin lithium, chất điện phân rắn và các tấm lưỡng cực của pin nhiên liệu.
• PCB/FPC: Cung cấp lực hút chân không đáng tin cậy trong quá trình lắp ráp SMT, kiểm tra AOI, khoan laser và tách bảng mạch
• Hàng không vũ trụ và Quốc phòng: Nó đóng một vai trò trong sản xuất siêu chính xác các thiết bị điện tử hàng không, thiết bị quán tính và các thành phần dẫn đường.