Халаах зориулалттай захисан өндөр температурт тэсвэртэй тунгалаг кварц шилэн хоолой

Кварцын шилэн хоолойн тодорхойлолт

Кварц шилэн хоолойнууд нь ихэвчлэн цугласан кварцаас хийдэг цилиндр хэлбэрт сав бөгөөд өндөр чанарын шинж чанараараа алдаршсан материал юм. Тэдгээрийн хамгийн тод илүү тал бол маш өндөр хайлах цэг болон дулааны гэнэт өөрчлөлтөнд тэсвэрт чанар бөгөөд ингэснээр температур хурдан өөрчлөгдөх үед трещин үүсэхгүйгээр тэсвэрлэх чадвартай. Мөн өндөр цэвэршилт, гайхалтай оптик нэвтрэх чадвар (УВ-с ХА хүртэл), гайхалтай цахилгааныг тусгаарлагч чанартай.

Эдгээр шинж чанарууд нь кварцын шилэн хоолойг олон салбарт маш чухал болгодог. Ихэвчлэн термопарын хамгаалалтын гильз, өндөр температуртай печений доторх давхарга, хагас дамжуулагчийн пластинц боловсруулах камер, гэрлийн системийн (жишээ нь галоген ба УВ ламп) компонентуудад ашигладаг. Тэдгээрийн химийн инерт чанар нь лаборатори, үйлдвэрийн нөхцөлд идэмхий материалтай ажиллахад тэдгээрийг онцгой тохиромжтой болгодог.

Кварцын хоолой үйлдвэрлэх технологийн процесс шилэн труба

Кварц шилэн хоолимогуудыг тасралтгүй хайлах, таталтын аргаар үйлдвэрлэдэг. Анхдагч материал өндөр температуртай зууханд оруулан хайлуулдаг. Хайлсан кварцыг дараа нь тодорхой диаметр, ханын зузаантай тасралтгүй хоолимог үүсгэхийн тулд мандрель дээгүүр татах замаар гарган авдаг. Энэхүү процесс нь хэмжээний нарийвчлалыг хангах, пузыр, бохирдлын үүсэлтийг саатуулахын тулд нарийн удирдлага шаарддаг. Дараагийн алхмуудад трещин үүсэхээс сэргийлэхийн тулд ирмэгийг гартлаа цэвэрлэх, хэсэгчлэн огтлох, мөн янз бүрийн машинлаг ажиллагааны үйл явцууд орох боломжтой  таазтай асуудлуудад нэвтрэх боломжтой , болон янз бүрийн машинлаг ажиллагааны үйл явц.

Кварцын шилэн хоолимогийн онцлог

• Олон тооны уур ам

Өндөр температурт тэсвэртэй: Кварц шилэн хоолимогууд маш өндөр зууралтын цэгтэй бөгөөд 1100 хүртэлх температурт тасралтгүй ашиглах боломжтой °C. Энэ нь тэдгээрийг зуух, диффузи, өндөр температурт ажилладаг термопарыг хамгаалахад тохиромжтой болгодог.

Гайхалтай дулааны цохилтын тэсвэрт чанар: Эдгээр нь хурдан ба хэт температурын өөрчлөлтийг хагаралгүй тэсвэрлэж чадах бөгөөд энэ чанар нь тэдний маш бага дулааны задралын коеффициентоос шалтгаална.

• Гайхалтай оптик тод чангар

Кварц шилэн трубууд, ялангуяа өндөр цэвэршилттэй нэгдсэн кварцаас хийсэн нь гэрлийн өргөн спектр дэх трансмисси буюу гэрлийг дамжуулах чанартай. Тэдгээр нь ультра ягаан (УЯ), харагдах болон инфра улаан (ИУ) гэрэлд маш ихээр прозрачны. Энэ нь тэдгээрийг УЯ гэрлүүр (жишээ нь ртутений ууртай ламп), хагас дамжуулагчийн фотолитографи, мөн олон төрлийн оптик багаж хэрэгслэлд тохиромжтой болгодог.

• Өндөр цэвэршилт ба химийн тогтвортой байдал

Кварц нь анхнаасаа химийн идэвхгүй байдаг. Кварц шилэн трубууд нь их температурт хүчил, давс, галоген (хлор, бром гэх мэт) зэрэг ихэнх бодисын эсрэг тэсвэртэй байдаг. Энэ өндөр цэвэршилт нь хагас дамжуулагчийн пластин боловсруулах, эмийн бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэх зэрэг мэдрэг процессыг бохирдуулахаас сэргийлдэг.

• Сайн цахилгаан тусгаарлалт

Өндөр цахилгаан эсэргүүцэл, бага диэлектрик алдагдалтай байдлаар кварц шилэн трубууд маш өндөр температурт ч гэсэн онцгой цахилгаан тусгаарлагч бөгөөд гэрэлтүүлэг, лазерын систем, өндөр температурт ажилладаг цахилгаан халаагуур зэрэг хэрэглээнд маш чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.

• Механик ба физик шинж чанар

Тэдний шахагдсан ачаалал дор сайн механик хүч чадал, хатуулаг шинж чанартай. Гэсэн хэдий ч ихэнх шилэн зүйл шиг тэд хялбархан хугарч, тохиромжгүй ашиглавал огт хүчтэй мулдрах, механик гэмтэлд өртөмтгий.

• Өндөр цэвэршилт ба химийн эсэргүүцэл

Инерт чанар: Кварц шилэн хоолой нь ихэнх хүчил, давс, болон металлуудаас үүсэх коррозид маш их эсэргүүцдэг.  Энэ  химийн  инерт чанар  үр дүнтэй  бүтээгдэхүүний цэвэршилт  -д  сэрэмжтэй  процессүүдийг мониторлох.

Бага дулаан дамжуулалт: Энэ нь өндөр температур дахь онцгой дулааны тусгаарлагч болно .

Кварцийн шилэн хоолимогийн хэрэглээ

Кварц шилэн шинэчийн физик ба химийн шинж чанаруудын онцлог хослолын улмаас кварцын хоолойнууд нь олон өндөр технологийн болон үйлдвэрлэлийн процессуудад чухал бүрэлдэхүүн хэсэг болдог.

• Хоёр дамжуулагчийн үйлдвэр:

Микрочипийг үйлдвэрлэх явцад, тунгалаг кварцын шилэн хоолойнууд нь пластинийг боловсруулах тоноглогоны диффузийн хоолой, исэлдэлтийн камерын болон дулааны агшлын гильзийн материал болдог. Тэдгээрийн цэвэршилт нь цахиуртай пластинийг бохирлохоос сэргийлдэг бөгөөд дулааны тогтвортой байдал нь өндөр температурт легирование болон термик анигилах процессын тулд чухал.

• Гариг:

Кварц шилэн хоолойнууд нь галоген лампын, өндөр интенсивт электронд (HID) ламп, мөн УВ-шаардсан стерилизацийн лампуудын хамгаалалтын материал болдог. Эдгээр гэрлийн эх үүсвэрүүдийн үр ашгийг болон үйлчилгээний хугацааг илүү сайжруулахын тулд өндөр температур, даралт тэсвэртэй байх чадвар, мөн УВ-туяаг нэвтрүүлэх чадвар нь маш чухал.

• Лаборатори, химийн боловсруулалт:

Дулааны гэнэт өөрчлөлт ба шүлт, хүчил шиг нэгдлүүдтэй харилцан үйлчлэх тэсвэрт чанар нь кварцыг шилэн реактор, конденсатор, загвар хадгалах төхөөрөмж зэрэг лабораторийн төхөөрөмжид тохиромжтой болгоно. Кварц ууршуулалт, CVD (Химийн уурны нунтагжуулалт) систем, нарийвчлалтай оптикийн туршилтуудад ашиглагддаг.

• Халаах элементүүд:

Кварц хоолойнуудыг метал цахилгаан дамжуулах элементийг хамгаалах гильз болон инфра улаан туяаны халаагчийн цацрагч биет болгон өргөн ашигладаг бөгөөд үр дүнтэй, цэвэр дулаан дамжуулалтыг хангана.

Кварцын үндсэн төрлүүд шилэн труба

Тунгалаг хайлуулсан кварц: Ерөнхий өндөр температурт ашиглах стандарт ангилал.

Тунгалаг бус хайлуулсан кварц: Олон жижиг агаарын бохирдууртай бөгөөд гэрлийг илүү сайн тархалтанд оруулж, дулаан дамжуулах чанар нь бага зэрэг буурсан байдаг.

Хиймэл хайлуулсан шил: Химийн замаар нийлэгжсэн цахиур тетрахлоридоос үйлдвэрлэдэг бөгөөд хагас дамжуулагчийн литографий зэрэг чухал хэрэглээнд хамгийн өндөр цэвэршилт, хэт ягаан туяаны нэвтрэлтийг хангана.

Техникийн үзүүлэлтүүд  кварц шилэн хоолой