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石英ガラス管の定義
クォーツ ガラス 石英ガラス管は主に溶融石英から作られた円筒形の容器であり、その優れた特性で知られる素材である。最も顕著な特徴は非常に高い融点と卓越した耐熱衝撃性であり、急激な温度変化が生じても割れることなく使用できる。さらに、高純度、紫外線から赤外線領域にわたる優れた光学的透明性、並外れた電気絶縁性を備えている。
これらの特性により、石英 ガラス ガラス管はさまざまな産業分野で不可欠なものとなっている。熱電対の保護シース、高温炉内のライナー、半導体ウェーハ処理用チャンバー、照明システム(ハロゲンランプやUVランプなど)の部品として広く使用されている。また、化学的に不活性であるため、実験室や工業用途で腐食性物質を扱う際にも最適である。
石英ガラス管の製造工程 ガラス チューブ
クォーツ ガラス チューブは連続溶融および引抜きプロセスによって製造されます。原料が高温炉に投入され、そこで溶融されます。溶けた石英はその後、所定の直径および肉厚の連続チューブを形成するためにマンドレル上を引き抜かれます。このプロセスでは、寸法精度を確保し、気泡や不純物の発生を防ぐために精密な制御が必要です。その後の工程には、切断、割れを防ぐための端部の火炎研磨などが含まれる場合があります 状況 、および各種の機械加工工程。
石英ガラス管の特性
耐高温性:石英 ガラス 管は非常に高い軟化点を持ち、最大1100 °℃の温度範囲で連続使用が可能です。このため、炉、拡散プロセス、高温用熱電対の保護などに最適です。
優れた熱衝撃耐性:非常に低い熱膨張係数に由来する特性により、急激かつ極端な温度変化が生じても破損せずに耐えることができます。
クォーツ ガラス 特に高純度溶融石英で作られたチューブは、広範な光スペクトルにわたり優れた透過性を示します。紫外線(UV)、可視光、および赤外線(IR)に対して非常に透明です。このため、UV照明(例:水銀灯)、半導体フォトリソグラフィ、およびさまざまな光学機器に最適です。
石英は本質的に化学的に不活性です。石英 ガラス チューブは高温下でもほとんどの酸、塩類、およびハロゲン(塩素や臭素など)に対して非常に耐性があります。この高純度は、半導体ウェーハ製造や医薬品生産などの敏感なプロセスにおける汚染を防ぎます。
高い電気抵抗率と低い誘電損失を持つため、石英 ガラス チューブは非常に高温下でも優れた電気絶縁体です。これは照明、レーザーシステム、高温用電気ヒーターなどの用途において極めて重要です。
圧縮荷重に対して良好な機械的強度と剛性を持っています。ただし、ほとんどのガラス製品と同様に脆く、取り扱いが不適切である場合、衝撃や機械的な損傷を受けやすいです。
不活性:石英 ガラス管は ほとんどの酸、塩類および金属による腐食に対して非常に耐性があります。 これ 化学 不活性性 保証する 製品純度 ~に 敏感 プロセス
低熱伝導率:高温絶縁体として優れた性能を発揮します .

石英ガラス管の用途
クォーツ ガラス 管は、その独特な物理的および化学的性質の組み合わせにより、多くの高度技術産業および工業プロセスにおいて重要な構成部品です。
マイクロチップの製造において、超高純度石英 ガラス 管はウェーハ処理装置内の拡散管、酸化 chamber、炉内ライナーとして機能します。その高純度はシリコンウェーハの汚染を防ぎ、また熱的安定性は高温ドーピングおよびアニール工程に不可欠です。
クォーツ ガラス 管はハロゲンランプ、高強度放電(HID)ランプ、UV殺菌ランプにおいて最も適した封止材料です。高い温度と圧力に耐えられる性質に加え、紫外線透過性を持つことは、これらの光源の効率性と長寿命にとって極めて重要です。
熱衝撃および腐食性化学物質に対する耐性から、石英は ガラス 反応装置、凝縮器、試料ホルダーなどの実験室装置に最適なチューブ。酸消化、CVD(化学気相成長)装置、高精度光学実験で使用されます。
石英管は、金属被覆加熱素子の保護シースや赤外線ヒーターの放射体として広く使用され、効率的で清浄な熱伝達を提供します。
石英の一般的な種類 ガラス チューブ
透明溶融石英:一般的な高温用途向けの標準グレード。
不透明溶融石英:多数の微小気泡を含み、光の拡散性が優れ、若干低い熱伝導性を持ちます。
合成溶融シリカ:化学的に合成された四塩化ケイ素から製造され、半導体リソグラフィーなどの重要用途において最高純度と紫外線透過性を提供します。
技術仕様 石英ガラス管の
財産 内容 |
財産 インデックス |
密度 |
2.2×103kg/cm³ |
強度 |
570KHN100 |
引張 強度 |
4.8×107Pa(N/ ㎡) |
圧縮 強度 |
>1.1×109Pa |
係数 の 熱的 膨張 |
5.5×10-7cm/cm℃ |
熱的 導電性 |
1.4W/m℃ |
特定 熱 |
660J/kg℃ |
軟化 ポイント |
1630℃ |
焼却 ポイント |
1180℃ |