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製品仕様
1. 石英ガラス管の定義
石英ガラス管は、主に溶融石英から作られる円筒形の容器であり、その優れた特性で知られています。最も顕著な特徴は、極めて高い 高い融点 耐熱衝撃性であり、急激な温度変化にもひび割れることなく耐えることができます。さらに、高純度・ 優れた光学的透明性 (紫外域から赤外域まで)・優れた電気絶縁性を備えています。
これらの特性により、石英ガラス管はさまざまな産業分野で不可欠な存在となっています。たとえば、熱電対の保護被覆材、高温炉の内張り材、半導体ウエハー処理用チャンバー、および 照明装置の構成部品 (ハロゲンランプや紫外線ランプなど)として広く使用されています。また、化学的に不活性であるため、実験室や産業現場における腐食性物質の取扱いにも最適です。 .
2. 石英ガラス管の製造工程
石英ガラス管は、連続溶融・引抜き工程によって製造されます。原料を高温炉に投入し、溶融させます。溶融した石英をマンドレル上で引き延ばして、所定の外径および肉厚を有する連続的な管状に成形します。この工程では、寸法精度を確保し、気泡や不純物の混入を防ぐため、厳密な制御が求められます。その後、切断などの工程が行われます。 炎で表面を滑らかにする処理(ファイア・ポリッシング) 端面処理を行い、亀裂の発生を防止します。また、各種機械加工も行います。
3.石英ガラス管の特長
3.1 優れた耐熱性
耐熱性に優れる:石英ガラス管は極めて高い軟化点を有しており、 連続使用温度が1100℃まで可能です。 この特性により、炉内部材、拡散プロセス、高温用熱電対の保護管などに最適です。
優れた耐熱衝撃性:急激かつ著しい温度変化にも耐え、 破損することなく使用できます。 これは、極めて小さい熱膨張係数に由来する特性です。
3.2 高い光学的透明性
石英ガラス管、特に高純度溶融石英から製造されたものは、 広範囲の光スペクトルにおいて優れた透過性を示します 紫外線(UV)、可視光、赤外線(IR)のすべてに対して極めて高い透過性を有します。この特性により、UV照明(例:水銀灯)、半導体のフォトリソグラフィー、および各種光学機器などに最適です。
3.3 高純度および化学的安定性
石英は本質的に化学的に不活性であり、石英ガラス管は高温下でもほとんどの酸、塩類、ハロゲン(塩素や臭素など)に対して高い耐食性を示します。この高純度特性により、半導体ウエハー製造や医薬品生産といった感度の高い工程における汚染を防ぐことができます。
3.4 優れた電気絶縁性
高い電気抵抗率と低い誘電損失を備えており、石英ガラス管は 優れた電気絶縁体です 高温下でも優れた絶縁体として機能します。これは、照明器具、レーザー装置、および 高温用電気加熱素子 .
3.5 機械的・物理的特性
優れた耐熱性および圧縮荷重に対する剛性を 優れた機械的強度 持ちます。ただし、他のガラス製品と同様、衝撃や不適切な取扱いに対して脆く、機械的損傷を受けやすいため、取り扱いには十分な注意が必要です。
3.6 高純度および耐薬品性
不活性:石英ガラス管は ほとんどの酸、塩類、金属に対して非常に高い耐食性を有し 、このような化学的不活性により、感度の高いプロセスにおける製品純度が確保されます。
3.7 低い熱伝導率:
高温絶縁体として優れた性能を発揮します。

4.石英ガラス管の用途
石英ガラス管は、その特有の物理的・化学的特性の組み合わせにより、多くのハイテクおよび産業用プロセスにおいて不可欠な部品です。
4.1 半導体産業:
半導体チップの製造工程において、超高純度の石英ガラス管は 拡散管 、酸化炉、および 炉内ライナー としてウエハー加工装置に使用されます。その高純度によりシリコンウエハーへの汚染が防止され、また耐熱性は高温でのドーピングやアニール工程に不可欠です。
4.2 照明:
石英ガラス管は ハロゲンランプ 、高強度放電(HID)ランプ、および UV殺菌ランプ の封止材として最もよく用いられます。高い耐熱性と耐圧性に加え uV透過性を備える は、これらの光源の効率性および寿命にとって極めて重要です。
4.3 実験室・化学プロセス用途:
耐熱衝撃性および耐腐食性に優れているため、石英ガラス管は反応器、凝縮器、試料ホルダーなどの実験室用装置に最適です。酸分解処理にも使用されます。 CVD(化学気相成長)装置 および高精度光学実験に用いられます。
4.4 発熱体:
石英管は広く 保護カバー 金属被覆ヒーター用の保護管および赤外線ヒーターの発熱体として使用され、効率的かつ清浄な熱伝達を実現します。
5.代表的な石英ガラスの種類 ガラス チューブ
透明溶融石英:一般的な高温用途向けの標準グレード。
不透明溶融石英:多数の微小な気泡を含み、 光の拡散性が向上し 、熱伝導率がやや低くなります。
合成融解シリカ:化学的に合成された四塩化ケイ素から製造され、 可能な限り最高の純度と紫外線透過率を実現します。 半導体リソグラフィーなどの重要用途に適しています。
技術仕様 石英ガラス管の
特性内容 |
特性指標 |
画素密度 |
2.2g/cm³ |
強度 |
570KHN 100 |
引張強さ |
4.8×107Pa(N/m²) 2) |
圧縮強度 |
>1.1×109Pa |
熱膨張係数 |
5.5×10-7cm/cm℃ |
熱伝導性 |
1.4W/m℃ |
特定熱量 |
660J/kg・℃ |
軟化点 |
1630℃ |
焼戻し点 |
1180℃ |
沿革

特許と認証

パッケージ

サービス
よくある質問