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Produktdetails
1. Definition der Quarzglasrohre
Quarzglasrohre sind zylindrische Gefäße, die hauptsächlich aus geschmolzenem Quarz bestehen – einem Material, das für seine außergewöhnlichen Eigenschaften bekannt ist. Ihre auffälligste Eigenschaft ist eine extrem hoher Schmelzpunkt hohe Temperaturbeständigkeit und eine überlegene Beständigkeit gegen thermischen Schock, wodurch sie schnelle Temperaturwechsel ohne Rissbildung aushalten können. Zudem bieten sie hohe Reinheit, ausgezeichnete optische Durchlässigkeit (vom UV- bis zum IR-Bereich) sowie hervorragende elektrische Isolierung.
Diese Eigenschaften machen Quarzglasrohre in zahlreichen Branchen unverzichtbar. Sie werden häufig als Schutzhüllen für Thermoelemente, als Auskleidungen in Hochtemperaturofen, als Prozesskammern für die Halbleiter-Wafer-Bearbeitung sowie als komponenten in Beleuchtungssystemen (z. B. Halogen- und UV-Lampen) eingesetzt. Ihre chemische Inertheit macht sie zudem ideal für den Umgang mit korrosiven Stoffen in Labor- und Industrieanwendungen. .
2. Herstellungsverfahren für Quarzglasrohre
Quarzglasrohre werden durch kontinuierliche Schmelz- und Ziehverfahren hergestellt. Der Rohstoff wird in einen Hochtemperaturofen eingegeben, wo er geschmolzen wird. Die geschmolzene Quarzmasse wird dann über einen Dorn gezogen, um ein kontinuierliches Rohr mit einem bestimmten Durchmesser und einer bestimmten Wandstärke zu bilden. Der Prozess erfordert eine präzise Steuerung, um die Maßgenauigkeit sicherzustellen und die Bildung von Blasen sowie Verunreinigungen zu verhindern. Folgeschritte können das Schneiden, feuerpolitur die Enden, um Rissbildung zu vermeiden, sowie verschiedene mechanische Bearbeitungsoperationen umfassen.
3. Eigenschaften von Quarzglasrohren
3.1 Außergewöhnliche thermische Eigenschaften
Hohe Temperaturbeständigkeit: Quarzglasrohre weisen einen extrem hohen Erweichungspunkt auf und können kontinuierlich bis zu 1100 °C eingesetzt werden . Dadurch eignen sie sich ideal für Öfen, Diffusionsprozesse und den Schutz hochtemperaturfester Thermoelemente.
Hervorragende Beständigkeit gegen thermischen Schock: Sie vertragen schnelle und extreme Temperaturwechsel, ohne zu brechen , eine Eigenschaft, die sich aus ihrem sehr niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten ergibt.
3.2 Hervorragende optische Durchsichtigkeit
Quarzglasrohre, insbesondere solche aus hochreinem geschmolzenem Quarz, bieten eine ausgezeichnete Transmission über ein breites Lichtspektrum . Sie weisen eine hohe Durchlässigkeit für ultraviolettes (UV), sichtbares und infrarotes (IR) Licht auf. Dadurch eignen sie sich hervorragend für UV-Beleuchtung (z. B. Quecksilberdampflampen), die Halbleiter-Photolithographie sowie verschiedene optische Instrumente.
3.3 Hohe Reinheit und chemische Stabilität
Quarz ist von Natur aus chemisch inert. Quarz-Glasrohre weisen eine hohe Beständigkeit gegenüber den meisten Säuren, Salzen und Halogenen (wie Chlor und Brom) auch bei erhöhten Temperaturen auf. Diese hohe Reinheit verhindert Kontaminationen in empfindlichen Prozessen wie der Halbleiter-Waferfertigung und der pharmazeutischen Produktion.
3.4 Gute elektrische Isolierung
Aufgrund ihrer hohen elektrischen Widerstandsfähigkeit und geringen dielektrischen Verluste sind Quarzglasrohre ausgezeichnete elektrische Isolatoren auch bei sehr hohen Temperaturen hochtemperatur-Elektheizkörper .
3.5 Mechanische und physikalische Eigenschaften
Eine hohe Druckfestigkeit gute mechanische Festigkeit und Steifigkeit unter Druckbelastung. Wie die meisten Glasgegenstände sind sie jedoch spröde und können bei unsachgemäßer Handhabung durch Stoß oder mechanische Beanspruchung beschädigt werden.
3.6 Hohe Reinheit und chemische Beständigkeit
Inertheit: Quarzglasrohr ist gegenüber den meisten Säuren, Salzen und Metallen hochgradig korrosionsbeständig . Diese chemische Inertheit gewährleistet die Produktreinheit bei empfindlichen Prozessen.
3.7 Geringe Wärmeleitfähigkeit:
Es wirkt als hervorragender Hochtemperatur-Isolator.

4. Anwendung des Quarzglasrohrs
Quarzglasrohre sind aufgrund ihrer einzigartigen Kombination aus physikalischen und chemischen Eigenschaften entscheidende Komponenten in zahlreichen High-Tech- und industriellen Verfahren.
4.1 Halbleiterindustrie:
Bei der Herstellung von Mikrochips dienen ultrareine Quarzglasrohre als diffusionsrohre , Oxidationskammern und ofenauskleidungen in Wafer-Verarbeitungsanlagen. Ihre Reinheit verhindert die Kontamination von Siliziumwafern, während ihre thermische Stabilität für Hochtemperatur-Dotier- und Glühprozesse unerlässlich ist.
4.2 Beleuchtung:
Quarzglasrohre sind das bevorzugte Hüllmaterial für halogenlampen , Hochdruckentladungslampen (HID-Lampen) und UV-Sterilisationslampen . Ihre Fähigkeit, hohen Temperaturen und Drücken standzuhalten, kombiniert mit UV-Transparenz , ist entscheidend für die Effizienz und Lebensdauer dieser Lichtquellen.
4.3 Labor- und chemische Verfahren:
Ihre Beständigkeit gegenüber thermischem Schock und korrosiven Chemikalien macht Quarzglasrohre ideal für Laborgeräte wie Reaktoren, Kondensatoren und Probenträger. Sie werden bei der Säureverdauung eingesetzt, CVD-Systemen (Chemical Vapor Deposition) , und präzisen optischen Experimenten.
4.4 Heizelemente:
Quarzrohre werden weit verbreitet als schützende Mantel isolierrohre für metallummantelte Heizelemente sowie als Strahlkörper für Infrarot-Heizgeräte verwendet, wodurch eine effiziente und saubere Wärmeübertragung gewährleistet wird.
5. Häufige Quarzsorten glas rohr
Durchsichtiger Fused Quartz: Standardqualität für allgemeine Hochtemperaturanwendungen.
Undurchsichtiges geschmolzenes Quarz: Enthält zahlreiche kleine Luftporen und bietet daher bessere Lichtstreuung sowie eine leicht geringere Wärmeleitfähigkeit.
Synthetisches Quarzglas: Hergestellt aus chemisch synthetisiertem Siliciumtetrachlorid, bietet die höchstmögliche Reinheit und UV-Durchlässigkeit für kritische Anwendungen wie die Halbleiter-Lithographie.
Technische Spezifikationen von Quarzglasrohr
Eigenschaftsinhalt |
Eigenschaftskennwert |
Dichte |
2,2g/cm³ |
Festigkeit |
570KHN 100 |
Zugfestigkeit |
4.8×107Pa (N/m²) 2) |
Druckfestigkeit |
>1.1×109Pa |
Koeffizient der thermischen Ausdehnung |
5.5×10-7cm/cm℃ |
Wärmeleitfähigkeit |
1,4W/m℃ |
Spezifische Wärme |
660 J/(kg·°C) |
Weichpunkt |
1630℃ |
Rücklaufpunkt |
1180℃ |
Entwicklungsgeschichte

Patente und Zertifizierungen

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Häufig gestellte Fragen