Pielāgotas augstas tīrības polētās caurspīdīgās kvartsa stikla plāksnes

Produkta tehniskie dati

1. Kvartsa stikla plāksnes definīcija:

Kvartsa plāksnes ir īpaši rūpnieciskie materiāli, kas izgatavoti no augstas tīrības silīcija dioksīda ( ar tīrību ≥ 99.99%). Tās ražo, izmantojot kausēšanas, griešanas un slīpēšanas procesus. To Mohsa cietība ir 7, un tās iztur augstas temperatūras (ilgstošas lietošanas temperatūra sasniedz 1100 ℃), tām piemīt zema termiskā izplešanās, augsta termiskā stabilitāte un izcili elektriskās izolācijas īpašības. Parastā stāvoklī tās ir bezkrāsainas un caurspīdīgas, redzamās gaismas caurlaidība pārsniedz 85%.

2. Kvartsa stikla plāksnes priekšrocības:

Kvarts plāksnes ir speciāls rūpnieciskais tehniskais stikls, kas izgatavots no silīcija dioksīda. Tās ir ļoti labas kvalitātes pamatmateriāls. Kvarts plāksnēm piemīt vairākas izcilas fizikālas un ķīmiskas īpašības, piemēram:

2.1 Augstas temperatūras izturība.

Kvartsa stikla mīkstināšanās temperatūra ir aptuveni 1730 ℃, un to var izmantot ilgstoši pie 1100 ℃. Maksimālā īslaicīgā izmantošanas temperatūra var sasniegt 1450 ℃.

2.2 Korozijas izturība.

Izņemot fluorskābi, kvartsstikls gandrīz neietver ķīmiskas reakcijas ar citām skābēm. Tā skābju izturība ir 30 reizes lielāka nekā keramikai un 150 reizes lielāka nekā nerūsējošajam tēraudam. Īpaši augstās temperatūrās ķīmiskā stabilitāte ir neiespējami laba salīdzinājumā ar jebkuru citu inženierijas materiālu.

2.3 Laba termiskā stabilitāte.

Tam ir ļoti mazs stikla termiskās izplešanās koeficients, un tas var izturēt straujas temperatūras izmaiņas. Ja kvartsstiklu uzsilda līdz aptuveni 1100 ℃ un pēc tam ievieto aukstā ūdenī, tas nesaplīsīs.

2.4 Laba gaismas caurlaidības īpašība.

Kvarts plāksnes ir ļoti labi caurlaidīgas visā gaismas spektra diapazonā, redzamās gaismas caurlaidība pārsniedz 93 %. Īpaši ultravioletās gaismas spektra reģionā maksimālā caurlaidība var sasniegt vairāk nekā 80 %.

3. Kvartsstikla plāksnes īpašības:

3.1 Izcilta tīrība un ķīmiskā neaktīvitate:

Augstas tīrības kvartsa plāksnītes ir gandrīz neaktīvas. Tās nereaģē ar vairumā ķīmisko vielu, tostarp agresīvajām skābēm un plazmu, ko izmanto pusvadītāju traipīšanas procesos. Tas nodrošina, ka tās nekontaminē jutīgus procesus vai materiālus.

3.2 Augsta termiskā stabilitāte un zema termiskā izplešanās:

Kvarts ir viens no komerciāli pieejamajiem materiāliem ar zemāko termiskās izplešanās koeficientu. Tas nozīmē, ka tam rodas minimālas izmēru izmaiņas, kad tas tiek pakļauts ekstrēmām temperatūras svārstībām, kas bieži notiek procesos, piemēram, termiskajā oksidēšanā un ķīmiskajā tvaika nogulsnēšanā pusvadītāju ražošanā. Šī stabilitāte novērš izliekšanos, nobīdi un sprieguma izraisītu atteici.

3.3 Izcilas optiskās īpašības:

Kvarca plāksnītes ir caurspīdīgas ļoti plašā spektrā, sākot no dziļā ultravioletā (DUV) līdz tuvajam infrasarkanajam (NIR). Šī caurspīdība, īpaši īsvilnīgajam UV starojumam, ir būtiska fotomasku pamatnei fotolitogrāfijā — procesā, ko izmanto integrēto shēmu veidošanai. Tā ļauj iegūt augstas izšķirtspējas raksturus, kas ir nepieciešami mūsdienu nanomēroga tranzistoru izveidošanai.

3.4 Augsta elektriskā izolācija:

Kā lielisks elektriskais izolators kvarca plāksnītes ir ideālas kā nesējplāksnes vai atstarpes elektronikas procesos un aprīkojumā, novēršot īssavienojumus un elektriskās traucējumus.

3.5 Izcilā mehāniskā stingrība un cietība:

Lai arī kvarcs ir trausls, kausētais kvarcs ir ļoti ciets un stingrs materiāls, nodrošinot stabila un izturīga pamata virsmu delikātiem procesiem.

4. Kvarca stikla plāksnes pielietojums:

Kvarca plāksnes ir plaši izmantotas pusvadītāju ražošanā, optiskajos instrumentos, medicīnas aprīkojumā un augstas temperatūras vides aizsardzībā , starp citiem. Tiem piemīt augstas temperatūras izturība, korozijas izturība un augsta gaismas caurlaidība.

4.1 Pusvadītāju ražošana

Vienkristāla kremnija audzēšanai un plākšņu apstrādei (piemēram, ķīmiskajam rūdījumam, difūzijai, oksidācijai un citiem procesiem) kā galvenie patēriņa materiāli, piemēram, kvarcas krucibolas un kvarcas kuģi, nepieciešama augsta tīrība (vairāk nekā 99,99 %) , lai novērstu piesārņojumu ar piemaisījumiem.

4.2 Optika un lāzera joma

Optiskās ierīces: lēcas, krāsomēri, pārklāti aizsargkārtas pārklājumi utt. Redzamās gaismas caurlaidība ir vairāk nekā 93 %, un tā ir caurspīdīga ultravioletā un tuvās infrasarkanās gaismas viļņu garuma diapazonā.

Lāzera iekārtas: aizsargvaļņi, augstas temperatūras novērošanas logi, kas izturamas līdz 1100 ℃ temperatūrai un ar zemu termisko izplešanās koeficientu.

4.3 Medicīnas aprīkojums

Ultravioletā sterilizācijas ierīce: izmanto kvarca ultravioletā starojuma caurlaidību dezinfekcijai.

Endoskops: atbilst precīziem gaismas pārraides nosacījumiem.

Augsta temperatūra un agresīva vide

Ķīmiskās iekārtas: izturīgas pret fluorūdeņražskābes koroziju, piemērotas ķīmiskajiem instrumentiem un augstas temperatūras reaktoriem.

Aeronautika un kosmonautika: kausētais kvarca stikls tiek izmantots kā augstas temperatūras loga materiāls.

4.4 Citas rūpnieciskās lietojumprogrammas

Keramika un būvmateriāli: kā izejmateriāli keramikas kodoliem un čaumalām, uzlabo mehānisko izturību.

Elektroniskie komponenti: pjezoelektriskās kvarca plāksnes tiek izmantotas kvēlspuldžu pulkstenos, sensoros utt.

Tehniskās specifikācijas