Aangepaste, hoogzuivere gepolijste transparante kwartsplaat

Productgegevens

1. Definitie van kwarts-glasplaat:

Kwarsplaten zijn speciale industriële materialen gemaakt van hoogzuiver siliciumdioxide ( met een zuiverheid van ≥ 99.99%). Ze worden vervaardigd via smelt-, snij- en slijpprocessen. Ze hebben een Mohs-hardheid van 7 en kunnen hoge temperaturen weerstaan (met een langdurige gebruikstemperatuur tot 1100 ℃), hebben een lage thermische uitzetting, hoge thermische stabiliteit en uitstekende elektrische isolerende eigenschappen. In hun normale toestand zijn ze kleurloos en transparant, met een zichtbaar lichttransmissiepercentage van meer dan 85%.

2. Voordelen van kwarts-glasplaat:

Kwartsplaten zijn speciale industriële technische glazen gemaakt van siliciumdioxide. Ze zijn een zeer uitstekend basis materiaal. Kwartsplaten bezitten een reeks uitstekende fysische en chemische eigenschappen, zoals:

2.1 Hoge temperatuurbestendigheid.

Het verzachtingspunt van kwarts-glas ligt ongeveer op 1730 ℃, en het kan worden gebruikt voor lang tijd op 1100 ℃. De maximale kortdurende gebruikstemperatuur kan oplopen tot 1450 ℃.

2.2 Corrosiebestendigheid.

Behalve waterstoffluoride ondergaat kwartsglas nauwelijks chemische reacties met andere zure stoffen. Zijn zuurbestendigheid is 30 keer zo groot als die van keramiek en 150 keer zo groot als die van roestvrij staal. Vooral wat betreft chemische stabiliteit bij hoge temperaturen, is het ongeëvenaard door welk ander technisch materiaal dan ook.

2.3 Goede thermische stabiliteit.

Het heeft een uiterst kleine lineaire uitzettingscoëfficiënt van glas en kan plotselinge temperatuurwisselingen weerstaan. Als kwartsglas wordt verhit tot ongeveer 1100 ℃ en vervolgens in koud water wordt geplaatst, zal het niet barsten.

2.4 Goede lichttransmissieprestaties.

Kwartsplaten hebben uitstekende lichttransmissieprestaties over het gehele lichtspectrum, met een zichtbare lichttransmissie van meer dan 93%. Vooral in het ultraviolette lichtspectrumgebied kan de maximale transmissie meer dan 80% bereiken.

3. Kenmerken van kwartsglasplaten:

3.1 Uitzonderlijke zuiverheid en chemische inertie:

Quartzschijven met hoge zuiverheid zijn vrijwel inert. Ze reageren niet met de meeste chemicaliën, inclusief de agressieve zuren en plasma’s die worden gebruikt in halfgeleider-etchprocessen. Dit zorgt ervoor dat ze gevoelige processen of materialen niet verontreinigen.

3.2 Hoge thermische stabiliteit en lage thermische uitzettingscoëfficiënt:

Quartz heeft een van de laagste thermische uitzettingscoëfficiënten van alle commerciële materialen. Dit betekent dat het minimale afmetingsveranderingen ondergaat bij extreme temperatuurschommelingen, een veelvoorkomend verschijnsel bij processen zoals thermische oxidatie en chemische dampafzetting (CVD) in de fabricage van halfgeleiders. Deze stabiliteit voorkomt vervorming, uitlijningsfouten en door spanning veroorzaakte storingen.

3.3 Uitstekende optische eigenschappen:

Kwartschijven zijn transparant over een zeer breed spectraal bereik, van het diepe ultraviolet (DUV) tot het nabije infrarood (NIR). Deze transparantie, met name voor UV-licht met korte golflengte, is cruciaal voor fotomaskersubstraten in fotolitografie, de methode die wordt gebruikt om geïntegreerde schakelingen te structureren. Hierdoor is hoge-resolutie structurering mogelijk, wat essentieel is voor de productie van hedendaagse nanoschaaltransistors.

3.4 Hoge elektrische isolatie:

Als uitstekende elektrische isolator zijn kwartschijven ideaal als dragers of afstandhouders in elektronische processen en apparatuur, waardoor kortsluitingen en elektrische interferentie worden voorkomen.

3.5 Opmerkelijke mechanische stijfheid en hardheid:

Hoewel broos is gevoegd kwarts een zeer hard en stijf materiaal, wat een stabiel en duurzaam platform biedt voor delicate processen.

4. Toepassing van kwartsglasplaten:

Kwartsplaten worden veelvuldig gebruikt in de productie van halfgeleiders, optische instrumenten, medische apparatuur en bescherming in omgevingen met hoge temperaturen , onder andere. Ze bezitten eigenschappen zoals hoge temperatuurbestendigheid, corrosiebestendigheid en hoge lichtdoorlatendheid.

4.1 Halfgeleiderproductie

Voor de groei van eencristallijn silicium en de bewerking van wafers (zoals etsen, diffusie, oxidatie en andere processen), als essentiële verbruiksartikelen zoals kwartskroezen en kwartsboten, is zeer hoge zuiverheid (boven 99,99%) vereist om verontreiniging door onzuiverheden te voorkomen.

4.2 Optica en lasergebied

Optische instrumenten: lenzen, colorimeters, gecoate beschermende folies, enz. De zichtbare lichtdoorlatendheid is hoger dan 93%, en het materiaal is transparant in het ultraviolette tot nabij-infrarode golflengtebereik.

Laserapparatuur: Beschermend venster, observatievenster voor hoge temperaturen, bestand tegen 1100 ℃ temperatuur en met een lage thermische uitzettingscoëfficiënt.

4.3 Medische apparatuur

Ultraviolette sterilisatieapparatuur: Maakt gebruik van de ultraviolette doorlaat van kwarts voor ontsmetting.

Endoscoop: Voldoet aan de precisie-eisen voor lichttransmissie.

Hoge temperatuur en corrosieve omgeving

Chemische apparatuur: Bestand tegen hydrofluorzuurcorrosie, geschikt voor chemische instrumenten en reactors bij hoge temperatuur.

Lucht- en ruimtevaart: Gesmolten kwartsglas wordt gebruikt als materiaal voor vensters bij hoge temperaturen.

4.4 Andere industriële toepassingen

Ceramiek en bouwmaterialen: Als grondstof voor keramische kernen en mantels, verhogen zij de mechanische sterkte.

Elektronische componenten: Piezoelektrische kwartsplaten worden gebruikt in kwartsklokken, sensoren, enz.

Technische specificaties