맞춤형 고순도 광택 처리 투명 석영 유리 판

제품 상세 정보

1. 석영 유리 판의 정의:

석영 판은 고순도 이산화규소( 순도 ≥ 99.99%)로 제조된 특수 산업용 소재입니다. 용융, 절단, 연마 공정을 거쳐 생산되며, 모스 경도는 7이고 고온에 견딜 수 있습니다(장기 사용 온도는 1100 ℃) 열팽창 계수가 낮고, 열 안정성이 뛰어나며 우수한 전기 절연 특성을 가집니다. 일반 상태에서 무색 투명하며 가시광선 투과율은 85% 이상입니다.

2. 석영 유리 판의 장점:

석영판은 이산화규소로 만들어진 특수 산업용 기술 유리입니다. 매우 우수한 기본 소재이며, 뛰어난 물리적·화학적 특성을 여러 가지 가지고 있습니다. 예를 들어:

2.1 고온 저항성.

석영 유리의 연화점 온도는 약 1730 ℃이며, 다음과 같이 사용할 수 있습니다. 1100도에서 오랜 시간 동안 ℃ 단기적으로 최대 사용 온도는 1450℃까지 가능합니다. ℃.

2.2 부식 저항성.

불소화수소산을 제외하면, 석영 유리는 다른 산성 물질과 거의 화학 반응을 일으키지 않는다. 그 산 저항성은 도자기의 30배, 스테인리스강의 150배에 달한다. 특히 고온에서의 화학적 안정성 측면에서는 어떤 공학 재료와도 견줄 수 없다.

2.3 우수한 열 안정성.

석영 유리는 유리 중에서도 극히 낮은 열팽창 계수를 가지며, 급격한 온도 변화에도 견딜 수 있다. 석영 유리를 약 1100도까지 가열하더라도 ℃ 균열이 생기지 않습니다.

2.4 우수한 광 투과 성능.

석영 시트는 전체 광 스펙트럼 대역에서 뛰어난 광 투과 성능을 보이며, 가시광선 투과율은 93% 이상이다. 특히 자외선 영역에서는 최대 투과율이 80% 이상에 이른다.

3. 석영 유리 판의 특성:

3.1 뛰어난 순도 및 화학적 비활성성:

고순도 석영 웨이퍼는 거의 비활성이다. 이들은 반도체 식각 공정에서 사용되는 강력한 산 및 플라스마를 포함한 대부분의 화학물질과 반응하지 않는다. 따라서 민감한 공정이나 재료가 오염되지 않도록 보장한다.

3.2 높은 열 안정성 및 낮은 열 팽창률:

석영은 상용 재료 중 가장 낮은 열 팽창 계수를 가진 물질 중 하나이다. 이는 열 산화 및 화학 기상 증착과 같은 반도체 제조 공정에서 흔히 발생하는 극단적인 온도 변화에도 거의 차원 변화가 없음을 의미한다. 이러한 안정성은 왜곡, 정렬 오류, 응력 유발 파손을 방지한다.

3.3 뛰어난 광학적 특성:

석영 웨이퍼는 심자외선(DUV)에서 근적외선(NIR)에 이르기까지 매우 넓은 스펙트럼 범위에서 투명하다. 특히 짧은 파장의 자외선에 대한 이 투명성은 집적회로 패턴을 형성하는 광리소그래피 공정에서 포토마스크 기판으로서 필수적이다. 이를 통해 오늘날 나노 규모 트랜지스터 제작에 필요한 고해상도 패터닝이 가능하다.

3.4 높은 전기 절연성:

탁월한 전기 절연체로서, 석영 웨이퍼는 전자 공정 및 장비에서 캐리어 또는 스페이서로 사용하기에 이상적이며, 단락 및 전기 간섭을 방지한다.

3.5 뛰어난 기계적 강성과 경도:

취성은 있으나, 용융 석영은 매우 단단하고 강성 있는 재료로, 정밀한 공정을 위한 안정적이고 내구성 있는 플랫폼을 제공한다.

4. 석영 유리 판의 응용:

석영 판은 반도체 제조, 광학 기기, 의료 기기 등에서 널리 사용되며, 고온 환경 보호에도 활용된다 , 기타 등등입니다. 이들은 고온 저항성, 부식 저항성, 높은 광 투과율 등의 특성을 지닙니다.

4.1 반도체 제조

단결정 실리콘 성장 및 웨이퍼 가공(에칭, 확산, 산화 등 공정)에 사용되는 석영 크루시블, 석영 보트와 같은 핵심 소모품으로서, 불순물 오염을 방지하기 위해 고순도 (99.99% 이상) 가 요구됩니다.

4.2 광학 및 레이저 분야

광학 기기: 렌즈, 색도계, 코팅 보호 필름 등. 가시광선 투과율은 93%를 넘으며, 자외선에서 근적외선 파장 영역까지 투명합니다.

레이저 장비: 보호 창, 고온 관찰 창으로, 1100 ℃ 의 온도를 견딜 수 있으며 낮은 열팽창 계수를 가짐.

4.3 의료 기기

자외선 살균 장치: 석영의 자외선 투과성을 이용하여 소독.

내시경: 정밀한 광전달 요구 조건을 충족함.

고온 및 부식성 환경

화학 장비: 불화수소산 부식에 저항 가능하며 화학 기기 및 고온 반응기에 적합함.

항공우주: 용융석영 유리를 고온 창 재료로 사용.

4.4 기타 산업용 응용 분야

세라믹 및 건축 자재: 세라믹 코어 및 쉘의 원자재로 사용되어 기계적 강도를 향상시킴.

전자 부품: 압전석영판이 석영 시계, 센서 등에 사용됨.

기술 사양