Индивидуально изготовленная полированная прозрачная кварцевая пластина высокой чистоты

Технические характеристики продукта

1. Определение кварцевой стеклянной пластины:

Кварцевые пластины — это специальные промышленные материалы, изготовленные из высокочистого диоксида кремния ( степень чистоты ≥ 99.99%). Их производят путём плавления, резки и шлифовки. Твёрдость по шкале Мооса составляет 7; они устойчивы к высоким температурам (температура длительного применения достигает 1100 ℃), обладают низким коэффициентом теплового расширения, высокой термостойкостью и отличными диэлектрическими свойствами. В обычном состоянии они бесцветны и прозрачны, коэффициент пропускания видимого света превышает 85%.

2. Преимущества кварцевой стеклянной пластины:

Кварцевые пластины — это специальное промышленное техническое стекло, изготовленное из двуокиси кремния. Они являются очень высококачественным базовым материалом. Кварцевые пластины обладают рядом превосходных физических и химических свойств, таких как:

2.1 Устойчивость к высоким температурам.

Температура размягчения кварцевого стекла составляет приблизительно 1730 ℃и может применяться для долгое время при 1100 ℃. Максимальная кратковременная температура использования может достигать 1450 ℃.

2.2 Стойкость к коррозии.

Кварцевое стекло вступает в химические реакции практически только с плавиковой кислотой, с остальными кислотами оно почти не реагирует. Его стойкость к кислотам в 30 раз выше, чем у керамики, и в 150 раз выше, чем у нержавеющей стали. Особенно по химической стабильности при высоких температурах оно превосходит все другие инженерные материалы.

2.3 Хорошая термостойкость.

Оно обладает чрезвычайно низким коэффициентом теплового расширения стекла и способно выдерживать резкие перепады температур. Если кварцевое стекло нагреть до примерно 1100 ℃ и затем поместить в холодную воду, оно не потрескается.

2.4 Хорошие оптические пропускные свойства.

Кварцевые пластины обладают превосходной светопропускной способностью по всему спектральному диапазону света, коэффициент пропускания видимого света превышает 93 %. Особенно в ультрафиолетовом спектральном диапазоне максимальный коэффициент пропускания может превышать 80 %.

3. Характеристики кварцевой стеклянной пластины:

3.1 Исключительная чистота и химическая инертность:

Кварцевые пластины высокой чистоты практически инертны. Они не вступают в реакцию с большинством химических веществ, включая агрессивные кислоты и плазмы, используемые в процессах травления полупроводников. Это гарантирует, что они не загрязняют чувствительные процессы или материалы.

3.2 Высокая термостойкость и низкий коэффициент теплового расширения:

У кварца один из самых низких коэффициентов теплового расширения среди всех промышленных материалов. Это означает, что при воздействии резких перепадов температуры — типичном явлении в таких процессах, как термическое окисление и осаждение химических паров при производстве полупроводников, — его геометрические размеры изменяются минимально. Такая стабильность предотвращает коробление, рассогласование и разрушение, вызванное термическими напряжениями.

3.3 Превосходные оптические свойства:

Кварцевые пластины прозрачны в очень широком спектральном диапазоне — от дальнего ультрафиолета (DUV) до ближнего инфракрасного излучения (NIR). Эта прозрачность, особенно для ультрафиолетового излучения коротких длин волн, имеет решающее значение для подложек фотомасок в фотолитографии — процессе, используемом для формирования рисунка интегральных схем. Она обеспечивает высокоточное нанесение рисунка, необходимое для создания современных транзисторов нанометрового масштаба.

3.4 Высокая электрическая изоляция:

Будучи превосходным электрическим изолятором, кварцевые пластины идеально подходят в качестве несущих элементов или прокладок в электронных процессах и оборудовании, предотвращая короткие замыкания и электрические помехи.

3.5 Выдающаяся механическая жёсткость и твёрдость:

Хотя кварц плавленый хрупок, он обладает высокой твёрдостью и жёсткостью, обеспечивая стабильную и долговечную основу для тонких технологических процессов.

4. Применение кварцевых стеклянных пластин:

Кварцевые пластины широко применяются в производстве полупроводников, оптических приборов, медицинского оборудования, а также в защите в условиях высоких температур , в том числе. Они обладают такими характеристиками, как высокая термостойкость, коррозионная стойкость и высокая светопропускание.

4.1 Производство полупроводников

Для выращивания монокристаллического кремния и обработки пластин (например, травление, диффузия, окисление и другие процессы), в качестве ключевых расходных материалов — кварцевые тигли и кварцевые лодочки — требуется высокая чистота (свыше 99,99 %) для предотвращения загрязнения примесями.

4.2 Оптика и лазерная техника

Оптические приборы: линзы, колориметры, покрытые защитные плёнки и др. Коэффициент пропускания видимого света превышает 93 %, а материал прозрачен в диапазоне ультрафиолетового до ближнего инфракрасного излучения.

Лазерное оборудование: защитное окно, окно для наблюдения при высокой температуре, способное выдерживать 1100 ℃ температуру и обладающее низким коэффициентом теплового расширения.

4.3 Медицинское оборудование

Устройство ультрафиолетовой стерилизации: использует ультрафиолетовую прозрачность кварца для дезинфекции.

Эндоскоп: соответствует точным требованиям по передаче света.

Высокая температура и агрессивная среда

Химическое оборудование: устойчиво к коррозии плавиковой кислотой, подходит для химических приборов и реакторов при высоких температурах.

Авиакосмическая отрасль: сплавленное кварцевое стекло используется в качестве материала для окон при высоких температурах.

4.4 Другие промышленные применения

Керамика и строительные материалы: в качестве сырья для керамических сердечников и оболочек повышают механическую прочность.

Электронные компоненты: пьезоэлектрические кварцевые пластины используются в кварцевых часах, датчиках и т.д.

Технические характеристики