高純度鏡面仕上げ透明石英ガラス板（カスタマイズ対応）

製品詳細

1．石英ガラス板の定義：

石英板は、高純度二酸化ケイ素（ 純度 ≥ 99.99%）を原料として製造される特殊工業用材料です。溶融・切断・研削などの工程を経て作られます。モース硬度は7で、高温に耐える特性を持ち、長期使用可能な温度は1100 ℃まで可能）、熱膨張が低く、高い熱安定性と優れた電気絶縁特性を持っています。通常状態では無色透明で、可視光透過率は85%以上です。

2．石英ガラス板の特長：

石英板は二酸化ケイ素から作られる特殊な工業用技術ガラスです。非常に優れた基本材料であり、一連の優れた物理的および化学的性質を持っています。例えば：

2.1 高温耐性。

石英ガラスの軟化点温度は約1730 ℃と、長時間使用が可能です。 約1100℃で長時間使用可能 ℃℃では長期間使用できます。短期間の最大使用温度は1450 ℃.

2.2 耐腐食性

フッ化水素酸を除けば、石英ガラスは他の酸類とはほとんど反応しません。 その耐酸性はセラミックスの約30倍、ステンレス鋼の約150倍に相当します。 特に高温における化学的安定性においては、他のいかなるエンジニアリング材料にも比類がありません。

2.3 優れた耐熱衝撃性

石英ガラスはガラスの中でも極めて小さい熱膨張係数を有しており、急激な温度変化にも耐えられます。石英ガラスを約1100℃まで加熱した後、急冷しても割れません。 ℃ ℃まで加熱した後、冷水に浸しても割れることはありません。

2.4 優れた光透過性

石英板は可視光域から紫外光域にわたる広帯域で優れた光透過性を示し、可視光の透過率は93％以上です。特に紫外光域では、最大透過率が80％以上に達します。

3．石英ガラス板の特長：

3.1 非常に高い純度と化学的不活性：

高純度石英ウェーハは実質的に不活性であり、半導体のエッチング工程で用いられる強力な酸やプラズマを含むほとんどの化学薬品と反応しません。このため、感光性プロセスや材料への汚染を防ぐことができます。

3.2 高い耐熱性と低い熱膨張率：

石英は市販材料の中で最も低い熱膨張係数の一つを有しています。このため、半導体製造における熱酸化や化学気相成長（CVD）などの工程で頻繁に生じる急激な温度変化に対しても、寸法変化が極めて小さく、歪みや位置ずれ、熱応力による破損を防ぎます。

3.3 優れた光学特性：

石英ウェーハは、真空紫外（VUV）から近赤外（NIR）にわたる非常に広い波長帯域で透明です。この透明性、特に短波長紫外光に対する透明性は、集積回路のパターン形成に用いられるフォトリソグラフィ工程におけるフォトマスク基板にとって極めて重要です。これにより、今日のナノスケールトランジスタを製造するために不可欠な高解像度パターン形成が可能になります。

3.4 高い電気絶縁性：

優れた電気絶縁体であるため、石英ウェーハは電子デバイスの製造プロセスや装置においてキャリアやスペーサーとして最適であり、短絡や電気的干渉を防止します。

3.5 優れた機械的剛性および硬度：

もろさはあるものの、溶融石英は非常に硬く剛性の高い材料であり、微細なプロセスを支える安定性と耐久性を提供します。

4. 石英ガラス板の用途：

石英板は、半導体製造、光学機器、医療機器など幅広い分野で使用されています。また、 高温環境下での保護用途にも用いられます。 などがあります。耐熱性、耐食性、高透過率などの特性を有しています。

4.1 半導体製造

単結晶シリコンの成長およびウェーハ加工（エッチング、拡散、酸化などの工程）において、石英るつぼや石英ボートなどの主要な消耗品として使用されます。不純物による汚染を防ぐため、高純度（ 99.99％以上） が求められます。

4.2 光学・レーザー分野

光学機器：レンズ、色差計、コーティング保護フィルムなど。可視光透過率は 93％以上で、 紫外域から近赤外域にわたって透明です。

レーザー装置：保護窓、高温観察窓として使用可能で、1100 ℃ の温度に耐えられ、熱膨張係数が低いです。

4.3 医療機器

紫外線殺菌装置：石英の紫外線透過性を活用して消毒を行います。

内視鏡：精密な光伝導要件を満たします。

高温および腐食性環境

化学装置：フッ化水素酸の腐食に耐性があり、化学器具や高温反応装置に適しています。

航空宇宙：溶融石英ガラスは高温窓材として使用されます。

4.4 その他の産業用途

セラミックスおよび建材：セラミックのコアやシェルの原料として使用され、機械的強度を向上させます。

電子部品：圧電性石英板はクオーツ時計、センサーなどに使用されます。

技術仕様