9F、建物A 東聖明都プラザ、朝陽東路21番地、江蘇省連雲港市 +86-13951255589 [email protected]
表面粗さ
内面/外面の滑らかさは通常 ra ≤0.2 μm
バブルコンテンツ
数およびサイズ マイクロバブル 半導体用途において極めて重要
製品仕様
1. はじめに 二酸化ケイ素(シリカ)石英ガラス棒:
石英ロッドは、水晶または合成シリカを原料として作られる円柱状の固体です。 使用される石英または合成シリカ は、天然水晶や合成原料を溶融して製造された高純度二酸化ケイ素(SiO₂)からなります。
溶融石英ロッドは、優れた熱的・光学的・化学的特性を兼ね備えた先端技術用石英材料です。 熱的・光学的・化学的特性 により、ハイテク産業および科学的研究において不可欠な材料となっています。
2.特徴
2.1 極めて高い耐熱性: 熱膨張係数が極めて低く、急激な温度変化にもひび割れることなく耐えることができます(耐熱衝撃性)。軟化点は 約1630°Cに近いです。 、連続使用温度は1050~1100°Cに達します。
2.2 優れた光学特性: 紫外域、可視域、赤外域の広い波長範囲で高い透過率を示します。特に、 短波長紫外光 .
2.3 高純度および化学的不活性: 純度 99.9%以上の 二酸化ケイ素から構成されており、フッ化水素酸および高温のリン酸を除くほとんどの酸に対して優れた耐食性を有します。高温下においても感光性環境を汚染しません。
2.4 高い電気絶縁性: 優れた電気絶縁体であり、高温および高周波数条件下でも安定した電気特性を維持します。
2.5 優れた機械的特性: 高剛性・高硬度を有し、常温で良好な機械的強度を示します。長期使用寿命は使用温度、環境、および表面処理の品質に影響を受けます。
3.製造工程
3.1 原料の準備: 高純度の天然水晶または合成シリコン系材料を選定します。
3.2 溶融: 原料を 高温電気炉 で、真空または不活性ガス雰囲気下(通常2000℃以上)で溶融します。
3.3 成形: 溶融した石英を、厳密に制御された工程で、所定の直径および長さを持つ均一な円筒状ロッドに引き延ばします。
3.4 アニーリング(応力除去熱処理): 成形された石英ロッドは、内部応力を除去し、材質の安定性および機械的強度を確保するために、慎重に制御されたアニーリング処理を経ます。
3.5 冷間加工: 必要な精度寸法、滑らかな表面仕上げ、または特定の形状を得るために、切断、研削、研磨、ファイアポリッシュなどの後続加工を実施できます。
4. 主要な種類
4.1 透明石英ロッド: 標準タイプで、可視光域における光学透過率が最も高く、光学・照明用途に適しています。
4.2 不透明石英ロッド: 多数の微小気泡を含むため可視光に対して不透明ですが、通常は赤外線を透過します。耐熱衝撃性に優れ、コストも比較的安価です。
4.3 溶融石英ロッド: 化学気相堆積法(CVD)で製造され、純度が最も高く、紫外線透過性能に優れており、半導体や光学機器など、最も厳しい要求を満たす用途に適しています。
4.4 優れた機械的強度 その長期使用寿命は、使用温度、周囲環境および表面処理の品質に影響を受けます。
5.石英ロッドの特長:
5.1 高純度: 主成分は二酸化ケイ素 (SiO₂)です。
5.2 耐熱性に優れる: 短時間であれば1100°C(2012°F)まで耐えられ、連続使用可能な温度は 1000°C(1832°F)
5.3 低熱膨張率: 熱衝撃に非常に強く、急激な温度変化を受けてもひび割れしにくい。
5.4 優れた光学的透明性: 紫外線(UV)から可視光、赤外線(IR)に至る広範囲の光を透過する。
5.5 高い電気絶縁性: 常温下でも優れた電気絶縁体であり、 高温環境下での .
5.6 優れた耐化学薬品性: ほとんどの酸に対して不活性で、腐食にも耐えるため、過酷な化学環境での使用に適している。

6.主な用途:
産業別に分類された石英棒の主な用途:
6.1 ウェーハ処理: 拡散炉およびCVD(化学気相成長)装置において、高温処理中のシリコンウェーハを保持するためのウェーハボート、支持ロッド、パドルとして使用されます。
光学用途:半導体製造装置内の紫外線(UV)の導光路または通路として使用されます。
6.2 ランプエンベロープ/シース: ハロゲンランプ、UVランプ、高強度放電ランプに使用されます。石英はフィラメントを保護しつつ、高温での光放射を透過させます。
支持構造:高温ランプ内のフィラメントや電極の内部サポートとして機能します。
6.3 実験器具: 高温炉や化学実験において、攪拌棒、試料ホルダー、熱電対保護管の製造に使用されます。
光学ベンチおよび部品:レンズ、鏡、レーザーの取り付けなど、高精度光学装置における堅牢で安定し、熱変化の影響を受けにくい支持構造として利用されます。
分光法:優れた光学特性を持つため、UV-VisおよびIR分光器における試料ホルダーや窓材として使用されます。
6.4 観察窓: 高温炉、ボイラー、反応槽の観察ポートとして使用され、内部プロセスの目視監視を可能にします。
熱電対保護管:熱電対を腐食性環境および高温環境から保護し、正確な温度測定を確保します。
熱処理:ガラスおよび金属の熱処理プロセスにおけるコンベアベルト用治具、固定具、ローラーとして使用されます。
6.5 プレフォーム取扱い: 光ファイバープレフォームの製造工程において、取扱いロッドや支持構造体として使用されます。
技術仕様
| 特性内容 | 単位 | 特性指標 |
| 画素密度 | kg/cm³ | 2.2×10³ |
| 強度 | KHN₁₀₀ | 570 |
| 引張強さ | Pa(N/m²) | 4.8×10⁷ |
| 圧縮強度 | Pa | >1.1×10⁹ |
| 熱膨張係数(20℃-300℃) | cm/cm·℃ | 5.5×10⁻⁷ |
| 熱伝導率(20℃) | W/m·℃ | 1.4 |
| 比熱(20℃) | J/kg·℃ | 660 |
| 軟化点 | ℃ | 1630 |
| 焼戻し点 | ℃ | 1180 |
沿革

特許と認証

パッケージ

サービス
よくある質問