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窒化ホウ素セラミックネジ付きブッシング BNセラミック部品

熱性

  • 異方性熱伝導率:高精度熱制御部品向けに優れた方向性断熱性能。
  • ヘリウム透過率が極めて低い( 1×10⁻¹⁰ cm³/s) 、真空および密閉型高温処理環境に最適。

電気絶縁特性

  • 体積抵抗率は 3.11×10¹¹ Ω・cm 広範囲の温度条件下でも安定した絶縁性能を維持します。
  • 常温での誘電破壊強度は最大56 kV/mmと極めて高く、超高電圧作業条件下でも信頼性の高い絶縁性能を発揮します。
  • 誘電損失が低く、高周波電流下でも電気的特性が一貫して優れており、従来の絶縁用プラスチックやアルミナセラミックスを大幅に上回ります。

物理的表面性能

  • 見かけ密度: 2.10~2.15 g/cm³ 板状品の場合、 2.15~2.19 g/cm³ 坩堝の場合。吸水性がなく、軽量かつ緻密な結晶構造です。
  • 成形直後の表面が滑らかで、超微細な粗さまで容易に研磨可能。管壁は均一で、カーブ(湾曲)が極めて小さいため、金属封止に適しています。
  • クヌープ微硬さ 691.88 N/mm²。やや硬めではあるが、 工具の摩耗を伴わず、容易に切断可能である 、穴あけおよび旋削加工が可能。

はじめに

製品詳細

パイロリティック窒化ホウ素(PBN)セラミックチューブの概要

1.1 一般紹介
パイロリティック窒化ホウ素(PBN)セラミックチューブは、 高性能な中空円筒状セラミックであり、 顕著な異方性、超高真空密封性、優れた高電圧絶縁性および方向性熱伝導性を備えています。これにより、精密な方向性熱制御、放射線耐性、低ガス放出が実現され、超高真空装置、半導体製造装置、高温精密試験装置などに広く採用されています。アルミナ、AlN、熱間圧縮成形窒化ホウ素とは一線を画す、代替不可能な先進セラミックです。

1.2 化学組成および微細構造

  • 単相純粋窒化ホウ素セラミックで、気相堆積法により形成された超高純度結晶構造を持ち、不純物元素が極めて少ない。
  • 明確な層状六方晶格構造を有し、a軸方向とc軸方向における熱的・機械的特性に顕著な異方性が見られます。
  • 見かけ密度:プレートブランクで2.10~2.15 g/cm³、るつぼチューブで2.15~2.19 g/cm³。完全に緻密で気孔のない構造を有する。 ヘリウム透過率が極めて低い .

製造プロセス

2.1 蒸着用原料の調製

高純度ホウ素源と窒素キャリアガスを正確な比率で混合し、粒子状不純物を除去するための精製を行い、ガス流量を厳密に制御して、均一な結晶蒸着および安定した層状格子成長を確保します。
ステップA:制御された温度勾配のもと、密閉炉内で高温蒸気反応を行います。
ステップB:ゆっくりとした層状結晶蒸着により、完全かつ均一な六方晶系BN層を形成します。
ステップC:内部空孔や微小亀裂のない、一体型で高密度なPBNチューブ素形材を形成します。
ステップ D: 厳密に一定の温度 蒸着中に変形および内部応力を回避するための曲線制御

2.2 精密切断および制御可能な機械加工

ステップA:蒸着後に、独自設計の治具を用いて中空管状素形材を成形します。
ステップ B: 低速プログラム切断 チューブ本体内部の不均一な内応力を除去するため。
ステップC:冷却されたチューブブランクは、後工程処理前に変形を起こさず、完全な円形形状を維持します。
残留成形応力を緩和し、チューブ本体の靭性を向上させ、高精度機械加工時の亀裂発生を防止するための二次アニール処理。

2.3 素材切断および在庫形状加工
焼結PBNブランクを大型鋸で標準的な半製品チューブ状素材に切断;商業用検査チューブ(内部欠陥検出用)の寸法規格に合わせてチューブ内外表面を研削;アニール処理により表面残留応力を除去;外観検査で不良ブランクを除外。これらの半製品チューブ状素材は 原材料 部品メーカーへ供給される。

3. 主要性能プロファイル(特徴的機能)

3.1 明確な異方性熱性能

  • 方向依存性熱伝導率 :200℃において、a軸方向で60 W/m・K、c軸方向でわずか2.60 W/m・Kであり、一方向熱伝導および垂直方向断熱を実現し、高精度温度制御用途に対応。
  • 高温・低温の交互サイクル下でも安定した長期使用が可能で、優れた耐熱衝撃性を有します。 耐性 亀裂や変形が発生しません。
  • ヘリウム透過率が極めて低く(1×10⁻¹⁰ cm³/s)、超高真空(UHV)チャンバーとの完全な互換性を実現します。

3.2 優れた電気絶縁性

  • 体積抵抗率は3.11×10¹¹ Ω·cmに達し、広範囲の温度および周波数領域において安定した絶縁性を維持します。
  • 極高誘電 強度は常温で最大56 KV/mmに達し、 超高電圧下でも信頼性の高い絶縁性能を発揮します。 使用条件。
  • 連続的な高周波放射下でも絶縁特性が安定しており、高温および放射線下で急速に劣化するポリマー系プラスチックと比較して、はるかに優れた耐性を示します。

3.3 化学薬品および真空環境への適合性

  • ほとんどの酸、 アルカリ、有機溶媒および油類に対して不活性であり、フッ化水素酸および高温融解状態の強アルカリ金属に対してのみわずかに腐食されます。
  • 超高真空下でのガス放出がゼロであり、半導体ウエハーおよび光学部品の加工環境を汚染しません。
  • X線、ガンマ線および粒子線照射に対する優れた耐放射線性を有し、原子力および航空宇宙分野の高精度治具に適しています。

3.4 機械的・安全性性能

  • 異方的な機械的強度:曲げ強度はc軸に平行な方向で243.63 N/mm²、c軸に垂直な方向で197.76 N/mm²であり、複雑な管形状への柔軟な機械加工が可能です。
  • クヌープ微小硬度は691.88 N/mm² 適度な硬度により、工具の過度な摩耗を引き起こさず、容易に切断、穴あけおよび旋盤加工が可能です。
  • 揮発性有機物を含まない非毒性無機材料であり、電子・医療・原子力産業向け機器への使用が安全です。
  • 密実で継ぎ目なしの管壁構造を有し、真空炉内における連続的な流体またはガスによる洗浄条件下でも長寿命を実現します。

   

BN ceramic parts 主图.jpgBN ceramic parts (1).jpgBN ceramic parts (2).jpg

 

4. 主な制限事項

  • 溶融強アルカリ金属環境下での長期使用には適しておらず、表面にわずかな腐食が生じます。
  • 熱伝導率は、2つの結晶方向間で大きく異なるため、治具図面には方向性を考慮した配置設計を必ず明記する必要があります。
  • 高級材料 よりコストが ホットプレス窒化ホウ素は、低コストの一般的な高温絶縁部品としては第一選択肢ではありません。

5. 主な産業用途
5.1 真空・半導体分野
超高真空(UHV)チャンバー用遮断 sleeves、ウェーハ加熱用方向性熱遮断材、電子ビーム装置用絶縁チューブ、半導体薄膜堆積用るつぼライナー。
5.2 航空宇宙・放射線試験分野
人工衛星用高精度熱遮断 sleeves、宇宙放射線遮蔽構造ブラケット、粒子加速器用高電圧絶縁チューブ。
5.3 高電圧精密電子機器分野
高周波コイル用絶縁 sleeves、高周波電源用絶縁ライナー、レーザー共振腔用温度制御チューブ。
5.4 光学機器および精密計測機器
光学ベース加熱 sleeves、電子顕微鏡内部用遮断部品、精密計測機器用温度制御治具チューブ。
5.5 医療・原子力産業
放射線遮蔽試験用治具、非汚染型実験室用位置決めスリーブ、原子炉向け低損失放射線防護絶縁チューブ。

6. 材料の位置決め
熱分解窒化ホウ素(PBN)セラミックチューブは、従来の熱間圧縮成形窒化ホウ素(BN)および窒化アルミニウム(AlN)セラミックスの性能ギャップを埋めます。この材料は 超高真空密閉性 、異方性熱制御、および優れた放射線耐性を提供します。熱間圧縮成形BNと比較して、PBNは空気透過性がゼロであり、誘電強度も大幅に向上しています。また、AlNと比較すると、PBNは単方向の熱遮断を実現しつつ、高周波絶縁安定性を完全に維持します。PBNは、超高真空・高放射線・精密な温度勾配という厳しい環境下で動作するカスタマイズ可能な高精度部品向けに、最適な高性能中空チューブ材料です。

 

仕様

  

アイテム 単位 インデックス
熱伝導率(常温) ワ/m·k 45 - 50
熱膨張係数(25 - 700℃) 10⁻⁶/℃ 6.5 - 7.5
体積抵抗率(常温) ω・m >10¹²
耐電圧 10⁶ kV/m 2.5 - 4.0
モース硬度 - 2
誘電定数(Σ) - 3.8 - 4.3
曲げ強度(常温) mPa >35
圧縮強度(常温) mPa >200
密度 g/cm3 1.9 - 2.2
化学組成 B + N % 99.5
酸素含有量 % <0.4
炭素含有量 % <0.02
働き環境温度 酸化雰囲気 850
真空 1800
慣性 2300

 

開発の歴史

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特許と認証

さまざまな認証を取得しました。 グローバル認証 含む CE、EMC、LVD、RoHS、FDA、MSDS、ISO 9001、SGS、TUV 。また、当社は 登録商標8件および技術特許40件を保有しています 当社独自のコア技術を支えるため、 独立した研究開発 .
当社の 独自のコア技術 は全製品ラインに貫徹されています: 多孔質セラミックス、産業用セラミック部品、特殊ガラス、金属化セラミックス、液体吸収綿、オゾン発生装置、シリコーン製品 。すべての製品は、 国際的な品質基準を厳格に遵守して製造されています。 、配信 信頼性と高性能を兼ね備えたソリューション は、世界中で広く認められ、市場からの信頼も厚いものです。                    

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パッケージ

当社は、 科学的かつ標準化された包装ソリューションを採用しており、 製品の特性に応じて最適化され、衝撃・圧迫・粉塵・湿気による損傷を効果的に防止します。また、 成熟したグローバル輸送システム および厳格な出荷検査手順により、長距離輸送中の製品が完全無欠かつ安定した状態で届くことを保証し、顧客へ 安全・効率・信頼性の高いワンストップ物流サービスを提供しています。 .

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サービス                                                                         

お問い合わせおよびカスタマイズ

すべてのお問い合わせに対し、迅速かつ正確な見積もり対応を提供いたします。柔軟な OEM&ODMカスタマイズ ソリューションにより、お客様独自の製品設計、包装、ブランド戦略の要件を満たします。

注文品質管理

当社は、注文全体の生産工程において、クライアントに最新の進捗状況を随時ご報告いたします。当社の品質管理(QC)チームが厳格かつ包括的な 出荷前検査 検査を実施し、出荷前にすべての商品がお客様の品質基準を満たしていることを保証します。

通関書類サポート

商業インボイス、パッキングリスト、原産地証明書およびその他の認証書類を含む、標準的な輸出書類一式を準備いたします。これにより、 世界中のあらゆる宛先への貨物の円滑な通関手続きを確実にサポートします。 世界中のあらゆる宛先への貨物の円滑な通関手続きを確実にサポートします。

ワンストップ物流サービス

お客様のスケジュールおよび予算に合わせて、海上輸送、航空輸送、および迅速な宅配便を含む複数の配送方法をご提供しています。当社は リアルタイム貨物追跡 サービスを提供しており、お客様はいつでも出荷状況を確認できます。

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当社は、T/T(電信振替)、L/C(信用状)、ウェスタン・ユニオンなど、幅広い安全な国際支払条件およびその他の主要な越境決済方法に対応しており、お客様の 越境取引リスクを低減します。 .

アフターサービス支援

当社の専門的なアフターサービスチームは、年間を通じて迅速な技術的およびビジネスサポートを提供いたします。当社は安定した 長期的かつ安定した供給能力 を維持しており、お客様の継続的な市場販売およびプロジェクト要件を十分にバックアップいたします。

よくあるご質問

01

質問:お客様がご提供された図面または実物サンプルに基づいて製品を製造することは可能ですか?

回答:はい、可能です。当社では、すべての主流ファイル形式の技術図面および実物サンプルの両方を承っております。正式な生産開始前に、当社のエンジニアリングチームが、お客様向けに包括的な専門的DFM(設計製造性)適合性評価を実施いたします。

02 

質問:カスタム注文の生産リードタイムはどのくらいですか?

回答:サンプルの納期:3~7営業日。カスタム金型の納期:5~10営業日(複雑な金型については、別途サイクルを確認させていただきます)。量産納期:製品構造の複雑さおよび発注数量により異なり、7~20営業日です。

03 

質問:カスタム製品の最小発注数量(MOQ)はいくらですか?

回答:すべてのカスタマイズ製品について、柔軟なMOQソリューションを提供しています。小ロットの試作注文を支援するため、可能な限り低い最小発注数量を設定いたします。同時に、長期的な大量需要にも応える安定した量産対応が可能です。

04 

質問:どのようなカスタマイズサービスをご提供できますか?

回答:製品のサイズ、形状、外観、精密公差、表面処理、穴・溝加工、曲げ、切断、耐高温性パラメータの調整など、包括的なワンストップカスタマイズをサポートしています。さらに、ご要望に応じて、カスタム刻印ロゴおよび専用カスタマイズ包装も追加のパーソナライズオプションとしてご提供可能です。

05 

質問:完成品の第三者検査を受け入れますか?

回答:はい、当社はすべての主要な公認第三者試験機関と全面的に協力いたします。SGS、BVなどの国際的に認められた著名な検査機関もすべて対応可能です。ご要望に応じて、正式な検査報告書および材料証明書類を完全にご提供いたします。

06 

質問:製品の原材料オプションをカスタマイズできますか?

回答:はい、可能です。お客様の用途、使用環境および性能要件に応じて、アルミナ、ジルコニア、石英、シリコーンなどの特殊エンジニアリング材料を含む適切な原材料を選定・組み合わせし、関連する性能パラメータを調整して、お客様の使用基準を満たすよう対応いたします。

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