پلاک 21، خیابان چائویانگ شرقی، ساختمان A، پلازا دونگشنگمینگدو، لیانیونگانگ جیانگسو، چین +86-13951255589 [email protected]
زیرلایههای مربعی نیترید سیلیسیوم، که بهطور رایج به آنها ویفرهای مربعی یا صفحات نیز گفته میشود، مواد سرامیکی با عملکرد بالا در قالب ورقهای تخت و مستطیلی شکل هستند. این مواد به گونهای طراحی شدهاند که ترکیبی منحصربهفرد از خواص مکانیکی، حرارتی و الکتریکی داشته باشند و در نتیجه در انواع کاربردهای صنعتی و الکترونیکی پیچیده و طولانیمدت ضروری محسوب میشوند.
کوتاه
نیترید سیلیسیوم از سایر سرامیکها در مقاومت در برابر ضربه حرارتی پیشی میگیرد. استحکام آن در دماهای بالا کاهش نمییابد؛ بنابراین برای قطعات موتور و توربین گازی از جمله روتورهای توربوشارژر، گلوپلاگهای موتور دیزلی و پلاگهای داغ مناسبترین گزینه است.
ویژگیهای سرامیک نیترید سیلیسیوم عبارتند از:
کاربرد نیترید سیلیسیوم:
به عنوان لایه عایق یا ساختار نگهدارنده برای محافظت از قطعات حساس در حین فرآیندهای دمای بالا در تولید نیمههادیها و سایر قطعات الکترونیکی استفاده میشود.
برای ساختار داخلی کورههای دمای بالا، مانند پایهها یا سد حرارتی، به منظور بهبود یکنواختی دما در داخل کوره و کاهش تلفات انرژی استفاده میشود.
به عنوان قطعه مقاوم در برابر خوردگی و عایق دمای بالا در راکتورهای شیمیایی یا سیستمهای فرآوری استفاده میشود.
کاربردهای هوافضا و مهندسی پیشرفته
در محیطهایی که مقاومت بسیار بالایی در برابر دما و استحکام مکانیکی مورد نیاز است، مانند سیستمهای محافظ حرارتی فضاپیماها یا قطعات ماشینآلات با سرعت بالا.
زیرلایههای مربعی نیترید سیلیسیوم مواد مهندسی پیشرفتهای هستند که به دلیل استحکام مکانیکی برجسته، مقاومت عالی در برابر ضربه حرارتی و عایقبندی الکتریکی ممتاز ارزشمند شناخته میشوند. شکل مربع آنها بهویژه از مزایای مهمی در کاشیکاری و پردازش چندین واحد به صورت کارآمد در تجهیزات صنعتی برخوردار است. این خواص باعث میشود آنها به ماده انتخابی برای کاربردهای چالشبرانگیز در الکترونیک قدرت، تولید نیمههادیها و فرآیندهای صنعتی با دمای بالا تبدیل شوند.
پارامتر
| مورد | سرمایش گازی سینترینگ | سینترینگ با فشار داغ | سینترینگ واکنشی | سینترینگ بدون فشار |
| سختی راکول (HRA) | ≥75 | - | > 80 | 91-92 |
| چگالی حجمی (g/cm3) | 3.25 | > 3.25 | 1.8-2.7 | 3.0-3.2 |
| ثابت دیالکتریک (εr20℃, 1MHz) | - | 8.0(1MHz) | - | - |
| مقاومت حجمی الکتریکی (Ω.cm) | 10¹⁴ | 10⁸ | - | - |
| استحکام شکست (Mpa m1/2) | 6-9 | 6-8 | 2.8 | 5-6 |
| مدول الاستيسيته (GPa) | 300-320 | 300-320 | 160-200 | 290-320 |
| ضريب انبساط حرارتي (m/K *10⁻⁶/℃) | 3.1-3.3 | 3.4 | 2.53 | 600 |
| رسانندگی گرمایی (W/mK) | 15-20 | 34 | 15 | - |
| مدول ويبول (m) | 12-15 | 15-20 | 15-20 | 10-18 |