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기본 재료 구성:
실리콘 나이트라이드 판은 실리콘 나이트라이드(Si₃N₄) 세라믹 매트릭스를 주성분으로 하는 것으로, 고성능 구조용 및 기능 통합 세라믹 소재.
핵심 산업 포지셔닝:
이는 핵심적인 역할을 하며 첨단 반도체 세라믹 기판 및 박막 웨이퍼 원료로서, 여러 첨단 기술 산업에서 대체 불가능한 기본 부품입니다.
주요 하류 응용 분야:
이 웨이퍼는 현대 마이크로일렉트로닉스, 파워 일렉트로닉스, MEMS, 광전자 산업의 제조 공정 전반에 걸쳐 광범위하게 사용됩니다.
기존 웨이퍼 제품과의 비교:
표준 실리콘 판 및 실리콘 산화물 판과 달리, 실리콘 질화물 판은 독특한 종합적인 소재 장점을 갖추고 있어 기존 기판 단일 소재로는 따라잡을 수 없습니다.
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| 항목 | 가스 압력 소결 | 열간 가압 소결 | 반응 소결 | 가압없는 소결 |
| 록웰 경도 (HRA) | ≥75 | - | > 80 | 91-92 |
| 부피 밀도(g/cm3) | 3.25 | > 3.25 | 1.8-2.7 | 3.0-3.2 |
| 유전율 (ε r20℃, 1MHz) | - | 8.0(1MHz) | - | - |
| 체적 저항률(Ω.cm) | 10¹⁴ | 10⁸ | - | - |
| 파단 인성 (Mpa m1/2) | 6-9 | 6-8 | 2.8 | 5-6 |
| 탄성 계수 (GPa) | 300-320 | 300-320 | 160-200 | 290-320 |
| 열팽창 계수 (m/K *10⁻⁶/℃) | 3.1-3.3 | 3.4 | 2.53 | 600 |
| 열전도 (w/mk) | 15-20 | 34 | 15 | - |
| 바이불 계수 (m) | 12-15 | 15-20 | 15-20 | 10-18 |
개발 역사
특허 및 인증
포장
서비스
자주 묻는 질문(FAQ)
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