Персонализирана полирена прозрачна кварцова стъклена плоча с висока чистота за полупроводници

Определение на кварцова плоча:

Кварцовите плочи са специални индустриални материали, изработени от високочист силициев диоксид (с чистота ≥ 99,99%). Произвеждат се чрез процеси на топене, рязане и шлифоване. Те имат твърдост по Моос 7, могат да издържат високи температури (с дългосрочна работна температура до 1100 ℃), имат ниско топлинно разширение, висока топлоустойчивост и отлични електроизолационни свойства. В нормалното си състояние са безцветни и прозрачни, с пропускливост за видимата светлина над 85%.

Предимства на кварцовата стъклена плоча:

Кварцовите плочи са специално промишлено техническо стъкло, изработено от силициев диоксид. Те са много добър основен материал. Кварцовите плочи притежават редица отлични физически и химически свойства, като например:

• Топлоустойчивост. Температурата на омекване на кварцовото стъкло е приблизително 1730 ℃, и може да се използва продължително време при 1100 ℃. Максималната краткосрочна температура на употреба може да достигне 1450 ℃.
• Устойчивост на корозия. С изключение на флуороводородната киселина, кварцовото стъкло едва ли встъпва в химични реакции с други киселини. Устойчивостта му към киселини е 30 пъти по-голяма от тази на керамиката и 150 пъти по-голяма от тази на неръждаемата стомана. Особено по отношение на химическата стабилност при високи температури, никой друг инженерен материал не може да я надмине.
• Добра топлинна стабилност. Има изключително малък коефициент на топлинно разширение на стъклото и може да издържи рязка промяна на температурата. Ако кварцовото стъкло се загрее до около 1100 ℃ и след това се потопи в студена вода, няма да се напука.
• Добра производителност при пренос на светлина. Кварцовите листове имат отлична производителност при пренос на светлина в целия спектрален диапазон, с пропускане на видимата светлина над 93%. Особено в ултравиолетовата спектрална област, максималното пропускане може да достигне над 80%.

Характеристики на кварцовата стъклена плоча:

• Изключителна чистота и химическа инертност: Високочистите кварцови пласти са практически инертни. Те не реагират с повечето химикали, включително агресивните киселини и плазми, използвани в процесите за травене на полупроводници. Това гарантира, че те няма да замърсяват чувствителни процеси или материали.
• Висока топлинна стабилност и ниско топлинно разширение: Кварцът има един от най-ниските коефициенти на топлинно разширение сред всички търговски материали. Това означава, че промените в размерите му са минимални при екстремни температурни колебания, които често се срещат при процеси като термично оксидиране и отлагане на химически пари в производството на полупроводници. Тази стабилност предотвратява деформация, несъосност и повреди вследствие на напрежение.
• Отлични оптични свойства: Кварцовите пластини са прозрачни в много широк спектрален диапазон – от дълбокия ултравиолет (DUV) до близкия инфрачервен (NIR). Тази прозрачност, особено към ултравиолетовата светлина с къса вълнова дължина, е от решаващо значение за подложките на фотомаски при фотолитографията – процеса за оформяне на интегрални схеми. Тя осигурява висока разделителна способност, необходима за създаването на съвременните наномащабни транзистори.
• Висока електрическа изолация: Като отличен електрически изолатор, кварцовите пластинаци са идеални за употреба като носители или разстоятелни в електронни процеси и оборудване, предотвратявайки къси съединения и електрически смущения.
• Забележителна механична твърдост и огъваемост: Въпреки че са крехки, сплавените кварци са много твърди и стабилни материали, осигуряващи здрава и дълготрайна платформа за чувствителни процеси.

Приложение на кварцова стъклена плоча:

Кварцовите плочи се използват широко в производството на полупроводници, оптични уреди, медицинско оборудване и защита в среди с висока температура, както и в други приложения. Те притежават характеристики като устойчивост на висока температура, корозионна устойчивост и висока светлинна пропускливост.

• Производство на полупроводници

За отглеждане на монокристален силиций и обработка на пластинаци (като етковане, дифузия, оксидация и други процеси), като ключови разходни материали – кварцови тигли и кварцови лодки, се изисква висока чистота (над 99,99%), за да се избегне замърсяване с примеси.

• Оптика и лазерна област

Оптични инструменти: Лещи, колориметри, покрити защитни филми и др. Пропускането на видимата светлина е над 93%, прозрачно в диапазона от ултравиолетово до близко инфрачервено.

Лазерно оборудване: Защитен прозорец, прозорец за наблюдение при висока температура, издържащ до 1100 ℃ температура и с нисък коефициент на топлинно разширение.

• Медицинско оборудване

Ултравиолетово стерилизационно устройство: Използва ултравиолетовото пропускане на кварца за дезинфекция.

Ендоскоп: Отговаря на изискванията за прецизна светлинна проводимост.

Висока температура и корозивна среда

Химическо оборудване: Устойчиво на корозия от флуороводородна киселина, подходящо за химически уреди и реактори при висока температура.

Авиационно-космическа промишленост: Сплавеният кварцов стъкло се използва като материал за прозорци при високи температури.

• Други индустриални приложения

Керамика и строителни материали: Като суровина за керамични ядра и черупки, повишават механичната якост.

Електронни компоненти: Пиезоелектрични кварцови плочи се използват в кварцови часовници, сензори и др.

Технически спецификации