Placa de Vidro de Quartzo Transparente Polida de Alta Pureza Personalizada para Semicondutores

Definição de placa de vidro de quartzo:

As placas de quartzo são materiais industriais especiais feitos de dióxido de silício de alta pureza (com pureza de ≥ 99,99%). São produzidas por meio de processos de fusão, corte e retificação. Têm dureza Mohs 7, suportam altas temperaturas (com temperatura de uso contínuo alcançando 1100 ℃), possuem baixa expansão térmica, alta estabilidade térmica e excelentes propriedades de isolamento elétrico. Em seu estado normal, são incolores e transparentes, com transmitância à luz visível superior a 85%.

Vantagens da placa de vidro de quartzo:

As placas de quartzo são vidros técnicos industriais especiais feitos de dióxido de silício. São um material básico muito excelente. As placas de quartzo possuem uma série de excelentes propriedades físicas e químicas, tais como:

• Alta resistência térmica. A temperatura do ponto de amolecimento do vidro de quartzo é aproximadamente 1730 ℃, e pode ser utilizada por longo tempo a 1100 ℃. A temperatura máxima de uso em curto prazo pode atingir 1450 ℃.
• Resistência à corrosão. Além do ácido fluorídrico, o vidro de quartzo dificilmente entra em reação química com outras substâncias ácidas. Sua resistência a ácidos é 30 vezes maior que a da cerâmica e 150 vezes maior que a do aço inoxidável. Especialmente em termos de estabilidade química em altas temperaturas, não é superada por nenhum outro material de engenharia.
• Boa estabilidade térmica. Possui um coeficiente de expansão térmica extremamente baixo, comparado ao vidro comum, e pode suportar variações bruscas de temperatura. Se o vidro de quartzo for aquecido até cerca de 1100 ℃ e depois colocado em água fria, não se romperá.
• Boa performance de transmissão de luz. As chapas de quartzo possuem excelente desempenho de transmissão de luz em toda a faixa espectral, com uma transmitância à luz visível superior a 93%. Especialmente na região do espectro ultravioleta, a transmitância máxima pode atingir mais de 80%.

Características da placa de vidro de quartzo:

• Pureza Excepcional e Inércia Química: Os waferes de quartzo de alta pureza são virtualmente inertes. Eles não reagem com a maioria dos produtos químicos, incluindo ácidos agressivos e plasmas utilizados nos processos de gravação semicondutora. Isso garante que não contaminem processos ou materiais sensíveis.
• Alta Estabilidade Térmica e Baixa Expansão Térmica: O quartzo possui um dos menores coeficientes de expansão térmica entre todos os materiais comerciais. Isso significa que sofre mudanças dimensionais mínimas quando submetido a flutuações extremas de temperatura, uma ocorrência comum em processos como oxidação térmica e deposição química de vapor na fabricação de semicondutores. Essa estabilidade evita deformações, desalinhamentos e falhas induzidas por tensões.
• Excelentes Propriedades Ópticas: Os discos de quartzo são transparentes em uma faixa espectral muito ampla, desde o ultravioleta profundo (DUV) até o infravermelho próximo (NIR). Essa transparência, particularmente à luz UV de comprimento de onda curto, é fundamental para substratos de fotomáscaras na fotolitografia, o processo utilizado para definir padrões em circuitos integrados. Permite o delineamento de alta resolução, essencial para a criação dos atuais transistores em escala nanométrica.
• Alta Isolação Elétrica: Por ser um excelente isolante elétrico, as lâminas de quartzo são ideais para uso como suportes ou espaçadores em processos e equipamentos eletrônicos, evitando curtos-circuitos e interferências elétricas.
• Notável Rigidez Mecânica e Dureza: Embora frágil, o quartzo fundido é um material muito duro e rígido, proporcionando uma plataforma estável e durável para processos delicados.

Aplicação da placa de vidro de quartzo:

As placas de quartzo são amplamente utilizadas na fabricação de semicondutores, instrumentos ópticos, equipamentos médicos e proteção em ambientes de alta temperatura, entre outros. Possuem características como resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão e alta transmitância luminosa.

• Fabricação de semicondutores

Para o crescimento de silício monocristalino e o processamento de wafers (como etching, difusão, oxidação e outros processos), como consumíveis essenciais tais como cadinhos de quartzo e barcos de quartzo, é exigida alta pureza (acima de 99,99%) para evitar contaminação por impurezas.

• Óptica e Campo de Laser

Instrumentos ópticos: Lentes, colorímetros, filmes protetores revestidos, etc. A transmitância de luz visível é superior a 93%, sendo transparente na faixa de comprimento de onda do ultravioleta ao infravermelho próximo.

Equipamento a laser: Janela de proteção, janela de observação em alta temperatura, capaz de suportar 1100 ℃ temperatura e com baixo coeficiente de expansão térmica.

• Equipamento Médico

Dispositivo de esterilização por ultravioleta: Utiliza a transmitância de ultravioleta do quartzo para desinfecção.

Endoscópio: Atende aos requisitos precisos de transmissão de luz.

Ambiente de alta temperatura e corrosivo

Equipamento químico: Resistente à corrosão por ácido fluorídrico, adequado para instrumentos químicos e reatores de alta temperatura.

Aeroespacial: O vidro de quartzo fundido é usado como material de janela em altas temperaturas.

• Outras Aplicações Industriais

Cerâmicas e materiais de construção: Como matéria-prima para núcleos e revestimentos cerâmicos, aumentam a resistência mecânica.

Componentes eletrônicos: Placas de quartzo piezoelétricas são usadas em relógios de quartzo, sensores, etc.

Especificações Técnicas