Egyedi nagytisztaságú, polírozott átlátszó kvarcüveg lemez félvezetőkhöz

A kvarcüveg lemez meghatározása:

A kvarc lemezek különleges ipari anyagok, amelyek nagyon tiszta szilícium-dioxidból (99,99%-os tisztaságú) készülnek. ≥ 99,99%). Olvasztási, vágási és csiszolási eljárások során készülnek. Mohs-keménységük 7, hőállóak (hosszú távú használati hőmérsékletük elérheti a 1100 °C-ot), alacsony hőtágulásuk van, kiváló hőstabilitással és kitűnő elektromos szigetelő tulajdonságokkal rendelkeznek. ℃normál állapotukban színtelenek és átlátszóak, a látható fényáteresztésük pedig meghaladja a 85%-ot.

A kvarcüveg lemez előnyei:

A kvarclemezek szilícium-dioxidból készült speciális ipari technikai üvegek. Kiváló alapanyagok. A kvarclemezek számos kiváló fizikai és kémiai tulajdonsággal rendelkeznek, például:

• Magas hőállóság. A kvarcüveg lágyulási pontja körülbelül 1730 ℃, és hosszú ideig használható 1100 ℃-on. A maximális rövid távú használati hőmérséklet elérheti a 1450 ℃.
• Korrózióállóság. A hidrogén-fluoridos sav kivételével a kvarcüveg alig lép kémiai reakcióba más savakkal. Savállósága 30-szorosa a kerámiának és 150-szerese az rozsdamentes acélnak. Különösen a magas hőmérsékleten mutatott kémiai stabilitás tekintetében nincs más mérnöki anyag, amely felérne vele.
• Jó hőállóság. Rendkívül alacsony a hőtágulási együtthatója, így ellenáll a hirtelen hőmérsékletváltozásoknak. Ha a kvarcüveget kb. 1100 ℃ -ra hevítik, majd hideg vízbe helyezik, nem reped szét.
• Jó fényáteresztő képesség. A kvarclapok kiváló fényáteresztő teljesítményt nyújtanak az egész fénytartományban, a látható fény áteresztése meghaladja a 93%-ot. Különösen az ultraviola tartományban a maximális áteresztés elérheti a 80% feletti értéket.

A kvarcüveg lemez jellemzői:

• Kiváló tisztaság és kémiai inaktivitás: A nagy tisztaságú kvarclemek gyakorlatilag inaktívak. Nem reagálnak a legtöbb vegyszerrel, beleértve a félvezető marási folyamatokban használt erős savakat és plazmákat is. Ez biztosítja, hogy ne szennyezzék a érzékeny folyamatokat vagy anyagokat.
• Magas hőállóság és alacsony hőtágulás: A kvarcnak egyike a legalacsonyabb hőtágulási együtthatónak bármely kereskedelmi anyag közül. Ez azt jelenti, hogy extrém hőmérséklet-ingadozások hatására minimális a méretváltozása, ami gyakori jelenség például a félvezetőgyártásban alkalmazott termikus oxidáció vagy kémiai gőzleválasztás során. Ez az állapotmegőrzés megakadályozza az alakváltozást, a helytelen igazítást és a hőfeszültségből eredő meghibásodásokat.
• Kiváló optikai tulajdonságok: A kvarc lemezek nagyon széles spektrális tartományban átlátszóak, a mély-ultraibolya (DUV) tartománytól a közeli-infravörös (NIR) tartományig. Ez az áttetszőség, különösen a rövidhullámhosszú UV-fényre, kritikus fontosságú a fotolitográfia során használt fotomaszk-alapanyagoknál, amellyel az integrált áramköröket mintázhatjuk. Lehetővé teszi a magas felbontású mintázást, amely elengedhetetlen a mai nano-méretű tranzisztorok gyártásához.
• Kiváló elektromos szigetelés: Kiváló elektromos szigetelőként a kvartc lemezek ideálisak hordozó vagy távtartó elemként az elektronikai folyamatokban és berendezésekben, megelőzve ezzel rövidzárlatokat és elektromos zavarokat.
• Kiemelkedő mechanikai merevség és keménység: Habár rideg anyag, az olvasztott kvarc nagyon kemény és merev, így stabil és tartós alapot biztosít érzékeny folyamatokhoz.

Kvarcüveg lemez alkalmazása:

A kvartc lemezeket széles körben használják félvezetőgyártásban, optikai műszerekben, orvosi berendezésekben és magas hőmérsékletű környezet védelemben egyebek mellett. Olyan tulajdonságokkal rendelkeznek, mint például hőállóság, korrózióállóság és magas fényáteresztés.

• Félvezetőgyártás

Egykristályos szilícium növesztéséhez, valamint lemezek feldolgozásához (pl. maratás, diffúzió, oxidáció és egyéb eljárások), mint például kvartc tégelyek és kvartc hajók, amelyek kulcsfontosságú fogyóeszközök, nagy tisztaságú anyag (99,99% feletti) szükséges a szennyeződések elkerülése érdekében.

• Optika és lézerterület

Optikai eszközök: Lencsék, koloriméterek, bevonatos védőfóliák stb. A látható fény áteresztése meghaladja a 93%-ot, és átlátszó az ultraibolya-tartománytól a közeli infravörös hullámhossz- tartományig.

Lézeres berendezések: Védőablak, magas hőmérsékleten történő megfigyelésre szolgáló ablak, amely ellenáll 1100 ℃ hőmérsékletnek és alacsony hőtágulási együtthatóval rendelkezik.

• Orvosi berendezések

Ultraibolya sterilizáló készülék: A kvarc ultraibolya áteresztőképességét használja fertőtlenítésre.

Endoszkóp: Kielégíti a pontos fényátviteli követelményeket.

Magas hőmérsékletű és korróziós környezet

Kémiai berendezések: Ellenáll a hidrogén-fluorid-sav korróziójának, alkalmas kémiai eszközök és magas hőmérsékletű reaktorok gyártásához.

Űrtechnológia: Az olvadt kvarcüveget magas hőmérsékletű ablakanyagként használják.

• Egyéb Ipari Alkalmazások

Kerámiák és építőanyagok: Alapanyagként kerámia magokhoz és burkokhoz, növelve a mechanikai szilárdságot.

Elektronikus alkatrészek: Piezoelektromos kvarclemezeket használnak kvarcórákban, szenzorokban stb.

Műszaki specifikációk