Pelat Kaca Kuarsa Transparan Dipoles Kemurnian Tinggi Khusus untuk Semikonduktor

Definisi pelat kaca kuarsa:

Pelat kuarsa adalah material industri khusus yang terbuat dari silikon dioksida berkadar tinggi (dengan kemurnian ≥ 99,99%). Pelat ini diproduksi melalui proses peleburan, pemotongan, dan penggilingan. Pelat ini memiliki kekerasan Mohs 7, tahan terhadap suhu tinggi (dengan suhu penggunaan jangka panjang mencapai 1100 ℃), memiliki ekspansi termal rendah, stabilitas termal tinggi, serta sifat insulasi listrik yang sangat baik. Dalam kondisi normal, pelat ini tidak berwarna dan transparan, dengan transmitansi cahaya tampak lebih dari 85%.

Keunggulan pelat kaca kuarsa:

Pelat kuarsa adalah kaca teknis industri khusus yang terbuat dari silikon dioksida. Mereka merupakan bahan dasar yang sangat unggul. Pelat kuarsa memiliki serangkaian sifat fisik dan kimia yang sangat baik, seperti:

• Tahan suhu tinggi. Titik suhu pelunakan kaca kuarsa sekitar 1730 ℃, dan dapat digunakan dalam jangka panjang pada suhu 1100 ℃. Suhu pemakaian jangka pendek maksimum dapat mencapai 1450 ℃.
• Tahan korosi. Kecuali asam fluorida, kaca kuarsa hampir tidak bereaksi secara kimia dengan zat asam lainnya. Ketahanan terhadap asamnya 30 kali lipat dibanding keramik dan 150 kali lipat dibanding baja tahan karat. Terutama dalam hal stabilitas kimia pada suhu tinggi, tidak ada bahan teknik lain yang dapat menandinginya.
• Stabilitas termal yang baik. Memiliki koefisien ekspansi termal yang sangat kecil dibanding kaca lainnya, serta mampu menahan perubahan suhu yang drastis. Jika kaca kuarsa dipanaskan hingga sekitar 1100 ℃ kemudian ditempatkan di air dingin, ia tidak akan retak.
• Kinerja transmisi cahaya yang baik. Lembaran kuarsa memiliki kinerja transmisi cahaya yang sangat baik di seluruh rentang spektrum cahaya, dengan transmittansi cahaya tampak lebih dari 93%. Terutama pada daerah spektrum cahaya ultraviolet, transmittansi maksimum dapat mencapai lebih dari 80%.

Karakteristik pelat kaca kuarsa:

• Kemurnian Luar Biasa dan Sifat Kimia yang Inert: Wafer kuarsa berkelimpahan tinggi hampir tidak reaktif. Mereka tidak bereaksi dengan sebagian besar bahan kimia, termasuk asam agresif dan plasma yang digunakan dalam proses etsa semikonduktor. Hal ini memastikan mereka tidak mencemari proses atau material sensitif.
• Stabilitas Termal Tinggi dan Ekspansi Termal Rendah: Kuarsa memiliki salah satu koefisien ekspansi termal terendah dibandingkan bahan komersial lainnya. Ini berarti kuarsa mengalami perubahan dimensi yang minimal ketika mengalami fluktuasi suhu ekstrem, yang sering terjadi dalam proses seperti oksidasi termal dan deposisi uap kimia pada fabrikasi semikonduktor. Stabilitas ini mencegah pelengkungan, ketidakselarasan, dan kegagalan akibat tegangan.
• Sifat Optik Sangat Baik: Wafer kuarsa transparan dalam rentang spektrum yang sangat luas, dari ultraviolet dalam (DUV) hingga dekat inframerah (NIR). Transparansi ini, terutama terhadap cahaya UV dengan panjang gelombang pendek, sangat penting untuk substrat fotomask dalam fotolitografi, yaitu proses yang digunakan untuk membuat pola sirkuit terpadu. Hal ini memungkinkan pemolaan resolusi tinggi yang esensial untuk menciptakan transistor berskala nano saat ini.
• Isolasi Listrik Tinggi: Sebagai isolator listrik yang sangat baik, wafer kuarsa sangat ideal digunakan sebagai pembawa atau spacer dalam proses dan peralatan elektronik, mencegah korsleting dan gangguan listrik.
• Kekakuan dan Kekerasan Mekanis yang Luar Biasa: Meskipun rapuh, kuarsa lebur merupakan material yang sangat keras dan kaku, memberikan platform yang stabil dan tahan lama untuk proses-proses halus.

Penerapan pelat kaca kuarsa:

Pelat kuarsa banyak digunakan dalam manufaktur semikonduktor, instrumen optik, peralatan medis, serta perlindungan lingkungan bersuhu tinggi, antara lain. Pelat ini memiliki karakteristik seperti ketahanan terhadap suhu tinggi, ketahanan terhadap korosi, dan transmisi cahaya yang tinggi.

• Pembuatan semikonduktor

Untuk pertumbuhan silikon kristal tunggal, dan pengolahan wafer (seperti proses etsa, difusi, oksidasi, dan lainnya), sebagai konsumsi utama seperti krus kuarsa dan perahu kuarsa, diperlukan kemurnian tinggi (di atas 99,99%) untuk menghindari kontaminasi impuritas.

• Bidang Optik dan Laser

Instrumen Optik: Lensa, kolorimeter, film pelindung berlapis, dll. Transmisi cahaya tampak lebih dari 93%, dan transparan dalam kisaran panjang gelombang ultraviolet hingga inframerah dekat.

Peralatan Laser: Jendela pelindung, jendela pengamatan suhu tinggi, mampu menahan suhu hingga 1100 ℃ suhu dan memiliki koefisien ekspansi termal rendah.

• Peralatan Medis

Perangkat sterilisasi ultraviolet: Memanfaatkan transmisi ultraviolet kuarsa untuk desinfeksi.

Endoskop: Memenuhi persyaratan transmisi cahaya yang presisi.

Lingkungan bersuhu tinggi dan korosif

Peralatan kimia: Tahan terhadap korosi asam fluorida, cocok untuk instrumen kimia dan reaktor suhu tinggi.

Aerospace: Kaca kuarsa lebur digunakan sebagai bahan jendela tahan suhu tinggi.

• Aplikasi Industri Lainnya

Keramik dan bahan bangunan: Sebagai bahan baku inti dan cangkang keramik, meningkatkan kekuatan mekanis.

Komponen elektronik: Pelat kuarsa piezoelektrik digunakan dalam jam kuarsa, sensor, dll.

Spesifikasi Teknis