Хагас дамжуулагчид зориулсан өндөр цэвэршилттэй, полировкын хийгдсэн тунгалаг кварц шилэн хавтан

Кварцын хавтны тодорхойлолт:

Кварцын хавтнууд нь өндөр цэвэрлэгээтэй цахиур диоксид (99.99%-ийн цэвэрлэгээтэй) агуулсан тусгай үйлдвэрлэлийн материал юм. Тэдгээрийг хайлуулах, огтлох, шүргэх аргаар үйлдвэрлэдэг. Тэдгээрийн Моосын хатуулаг нь 7 бөгөөд өндөр температурыг тэсвэрлэж чадна (урт хугацааны ашиглах температур нь 1100 ≥ хүртэл), бага дулааны томролт, өндөр дулааны тогтвортой байдал, гайхалтай цахилгаан тусгаарлалтын шинж чанартай. Энгийн байдлаараа өнгөгүй, тунгалаг бөгөөд харагдах гэрлийн нэвтрүүлэх чадвар нь 85%-иас дээш байдаг. ℃кварцын шилэн хавтны давуу тал:

Кварцын шилэн хавтны давуу тал:

Кварцийн хавтас нь цахиур диоксидоос үйлдвэрлэсэн тусгай үйлдвэрлэлийн техникийн шил юм. Эдгээр нь маш сайн анхдагч материал юм. Кварцийн хавтас нь дараах идэвхжүүлэгч физик, химийн чанартай байдаг:

• Өндөр температурт тэсвэртэй. Кварцийн шилний зөөлрөх цэгийн температур ойролцоогоор 1730 ℃, урт хугацаанд 1100-д ашиглах боломжтой. ℃хамгийн их богино хугацааны ашиглалтын температур 1450 хүрч болно ℃.
• Химийн задралаас хамгаалах чадвар. Фторын хүчилээс бусад бүх хүчилтэй харилцан үйлчлэхгүй. Түүний хүчилд тэсвэрт чанар нь керамикаас 30 дахин, цэвэрхий сталиас 150 дахин илүү. Тулахдаа өндөр температурт химийн тогтвортой байдал нь бусад инженерийн материалтай харьцуулахад давамгайлдаг.
• Дулаан тэсвэрт чанар сайтай. Шилийн дулааны халуунд өргөсөх коэффициент маш бага байдаг бөгөөд энэ нь хурдан температурын өөрчлөлтийг тэсвэрлэх чадвартай болгодог. Хэрэв кварцийн шилийг ойролцоогоор 1100 хүртэл халааж дараа нь хүйтэн усанд хийвэл трещин үүсэхгүй. ℃ бол трещин үүсэхгүй.
• Сайн гэрлийн нэвтрүүлэх чанартай. Цахиурлын хавтас бүх гэрлийн спектрийн муж дахь гэрлийг маш сайн нэвтрүүлдэг бөгөөд харагдах гэрлийн нэвтрэлт 93%-иас дээш байдаг. Тусгайлан ягаан туяаны спектрийн мужид нэвтрэлтийн хамгийн их утга нь 80%-иас дээш хүрч болно.

Цахиурлын шилэн хавтасны онцлог:

• Гайхалтай цэвэр байдал ба химийн идэвхгүй байдал: Өндөр цэвэршилттэй цахиурлын пластинууд бараг л идэвхгүй байдаг. Тэдгээр нь хагалгааны процессын үед хэрэглэдэг хүчтэй хүчил, плазма зэрэг ихэнх бодисуудтай урвалд орохгүй. Энэ нь мэдрэг процессыг эсвэл материалыг бохирлохгүй байхыг баталгаажуулдаг.
• Өндөр дулааны тогтвортой байдал, бага халалтаар өргөсөх чадвар: Кварц нь аливаа худалдааны материалтай харьцуулахад хамгийн бага дулааны өргөсөлтийн коэффициенттэй. Энэ нь кварцын хэмжээст өөрчлөлт маш бага байдаг гэсэн үг юм. Ийм өөрчлөлт нь дулааны исэлдэлт, химийн уурны нунтагжуулалт зэрэг хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд түгээмэл тохиолддог экстрем температурын хэлбэлзэлд орох үед ивээж, жигд бус болох, байрлалаа алдах, стресстэй холбоотой эвдрэлээс сэргийлдэг.
• Гайхалтай оптик шинж чанар: Кварцын пластинууд гүн хэт ягаан туяанаас (DUV) хүртэл ойролцоо инфра улаан туяанд (NIR) хүртэлх өргөн спектрийн мужид тунгалаг байдаг. Энэ тунгалаг чанар, ялангуяа богино долгионтой хэт ягаан туяанд тунгалаг байдал нь интеграл хэлхээний загварыг гаргах фотолитографийн процесст фотомаскны суурь материалд маш чухал. Энэ нь өнөөгийн нано хэмжээний транзисторуудыг үйлдвэрлэхэд шаардлагатай өндөр нарийвчлалын загварыг бий болгох боломжийг олгодог.
• Өндөр цахилгаан тусгаарлалт: Яагаас гэвэл кварцын пластин нь цахилгааныг сайн тусгаарлагч бөгөөд электрон процессын болон тоног төхөөрөмжийн зөөвөр, зайгургуур болгон ашиглахад тохиромжтой байдаг тул богино холболт, цахилгааны саатлыг устгана.
• Гайхалтай механик хатуу чанар ба хатуувчлал: Хэрэв ч хүхэрхий ч ч боловч цувуу кварц нь маш хатуу, хатуувчлагдсан материал бөгөөд мэдрэг процессын тулд тогтвортой, бат бөх платформ өгдөг.

Кварц шилний хавтгайн хэрэглээ:

Кварцын хавчуудыг хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл, оптикийн багаж, эмнэлгийн тоног төхөөрөмж, өндөр температуртай орчны хамгаалалт зэрэг олон салбарт өргөнөөр ашигладаг. Эдгээр нь өндөр температурт тэсвэртэй, исэлдэхгүй, гэрлийг сайн нэвтрүүлэх зэрэг шинж чанартай.

• Семикондукторын Боловсруулалт

Нэг кристалтай цахиур боловсруулах, пластинуудыг боловсруулах (жишээ нь идэмхийжүүлэх, диффузи, исэлдэлт гэх мэт процессууд) үед кварцын криблиц, кварцын завь зэрэг үндсэн хэрэглээний материалуудад цэвэр байдал (99.99% ба түүнээс дээш) шаардлагатай бөгөөд энэ нь хольцоос үүдэлтэй бохирдлыг саатуулна.

• Оптик ба лазерын салбар

Оптик багаж: Линз, өнгөний хэмжигч, давхаргаар хучсан хамгаалалтын цаас гэх мэт. Харах гэрлийн нэвтрүүлэлт 93%-иас дээш бөгөөд ультра ягаан туяа болон ойролцоо инфра улаан туяаны долгионы мужид тунгалаг байдаг.

Лазерын тоног төхөөрөмж: Хамгаалалтын цонх, өндөр температуртай үед ажиглалт хийх цонх, 1100 ℃ температур тэсвэрлэх чадвартай бөгөөд дулааны бага хөргөлттэй.

• Эмнэлгийн тоног төхөөрөмж

Ультра ягаан туяагаар ариутгах төхөөрөмж: Цахиурлаг шилний ультра ягаан туяа нэвтрүүлэх чадварыг ашиглан ариутгал хийдэг.

Эндоскоп: Нарийн гэрлийн дамжуулалтын шаардлагыг хангана.

Өндөр температур ба идэвхитэй орчин

Химийн тоног төхөөрөмж: Хөнгөн хүчилд тэсвэртэй, химийн багаж, өндөр температурт ажиллах реакторуудад тохиромжтой.

Нисэх онгоцны технологи: Цахиурлаг шилнийг өндөр температурт ашиглах цонхны материал болгон ашигладаг.

• Бусад үйлдвэрлэлийн хэрэглээ

Керамик ба барилгын материал: Керамик зүрх, бүрхүүлийн эх материалын хэлбэрээр ашигладаг бөгөөд механик хүчийг нэмэгдүүлдэг.

Цахилгаан бүрэлдэхүүн хэсгүүд: Пьезо цахилгаан кварцын пластинуудыг кварцын цаг, мэдрэгч гэх мэт зүйлсэд ашигладаг.

Техникийн үзүүлэлтүүд