સેમિકન્ડક્ટર માટે કસ્ટમાઇઝ્ડ હાઇ પ્યુરિટી પૉલિશ્ડ ટ્રાન્સપેરન્ટ ક્વાર્ટઝ ગ્લાસ પ્લેટ

ક્વાર્ટઝ ગ્લાસ પ્લેટની વ્યાખ્યા:

ક્વાર્ટઝ પ્લેટ ઉચ્ચ શુદ્ધતાવાળા સિલિકોન ડાયોક્સાઇડ ( ≥ 99.99%) માંથી બનાવેલ ખાસ ઔદ્યોગિક સામગ્રી છે. તેમનું ઉત્પાદન ઓગાળવા, કાપવા અને ઘસવાની પ્રક્રિયા દ્વારા કરવામાં આવે છે. તેમની મોહસ કઠિનતા 7 છે, ઉચ્ચ તાપમાન સહન કરી શકે છે (લાંબા ગાળાના ઉપયોગના તાપમાનની મર્યાદા 1100°C સુધી) ℃), ઓછું તાપમાન પ્રસરણ, ઉચ્ચ તાપમાન સ્થિરતા અને ઉત્કૃષ્ટ વિદ્યુત અવરોધક ગુણધર્મો ધરાવે છે. તેમની સામાન્ય સ્થિતિમાં, તેઓ રંગહીન અને પારદર્શક હોય છે, જેમાં 85% થી વધુ દૃશ્યમાન પ્રકાશ પારગમ્યતા હોય છે.

ક્વોર્ટઝ ગ્લાસ પ્લેટના ફાયદા:

ક્વોર્ટઝ પ્લેટ એ સિલિકોન ડાયોક્સાઇડમાંથી બનાવેલી ખાસ ઔદ્યોગિક તકનીકી કાચ છે. તેઓ ખૂબ જ ઉત્કૃષ્ટ મૂળભૂત સામગ્રી છે. ક્વોર્ટઝ પ્લેટમાં ભૌતિક અને રાસાયણિક ગુણધર્મોની શ્રેણી છે, જેમ કે:

• ઉચ્ચ તાપમાન પ્રતિકાર. ક્વોર્ટઝ ગ્લાસનું નરમ પડવાનું તાપમાન લગભગ 1730 ℃, અને તે 1100 પર લાંબા સમય સુધી વાપરી શકાય છે ℃. મહત્તમ અલ્પકાલિન ઉપયોગનું તાપમાન 1450 સુધી પહોંચી શકે છે ℃.
• કાટ પ્રતિકાર. હાઇડ્રોફ્લોરિક એસિડ સિવાય, ક્વોર્ટઝ ગ્લાસ લગભગ અન્ય કોઈ પણ એસિડ પદાર્થો સાથે રાસાયણિક પ્રતિક્રિયા કરતું નથી. તેની એસિડ પ્રતિકારકતા સેરેમિક કરતાં 30 ગણી અને સ્ટેનલેસ સ્ટીલ કરતાં 150 ગણી છે. ખાસ કરીને ઊંચા તાપમાને રાસાયણિક સ્થિરતાની દૃષ્ટિએ, તેની સરખામણી કોઈ પણ અન્ય એન્જિનિયરિંગ સામગ્રી કરી શકતી નથી.
• સારી થર્મલ સ્થિરતા. તેનો કાચનો અત્યંત નાનો થર્મલ પ્રસરણ ગુણાંક છે, અને તે તાપમાનમાં આવેલા અચાનક ફેરફારો સહન કરી શકે છે. જો ક્વાર્ટઝ કાચને લગભગ 1100 ℃ અને પછી ઠંડા પાણીમાં મૂકવામાં આવે, તો તે ફાટશે નહીં.
• સારી પ્રકાશ પારગમ્યતાની કામગીરી. ક્વાર્ટઝ શીટમાં સંપૂર્ણ પ્રકાશ સ્પેક્ટ્રમ બેન્ડમાં ઉત્તમ પ્રકાશ પારગમ્યતાની કામગીરી છે, જેમાં દૃશ્યમાન પ્રકાશની પારગમ્યતા 93% થી વધુ છે. ખાસ કરીને પરાબૈંગની પ્રકાશ સ્પેક્ટ્રમ વિસ્તારમાં, મહત્તમ પારગમ્યતા 80% થી વધુ પહોંચી શકે છે.

ક્વાર્ટઝ ગ્લાસ પ્લેટની લાક્ષણિકતાઓ:

• અસાધારણ શુદ્ધતા અને રાસાયણિક નિષ્ક્રિયતા: ઉચ્ચ શુદ્ધતાવાળા ક્વાર્ટઝ વેફર્સ લગભગ નિષ્ક્રિય હોય છે. તેઓ મોટાભાગના રસાયણો સાથે, સેમિકન્ડક્ટર એચિંગ પ્રક્રિયાઓમાં વપરાતા તીવ્ર એસિડ અને પ્લાઝ્મા સહિત, પ્રતિક્રિયા કરતા નથી. આનાથી સંવેદનશીલ પ્રક્રિયાઓ અથવા સામગ્રીને દૂષિત કરાય છે કે કેમ તેની ખાતરી મળે છે.
• ઉચ્ચ ઉષ્મા સ્થિરતા અને ઓછું ઉષ્મા પ્રસરણ: ક્વાર્ટઝ કોઈપણ વાણિજ્યિક સામગ્રી કરતાં ઉષ્મા પ્રસરણનો એક ઓછો ગુણાંક ધરાવે છે. આનો અર્થ એ થાય છે કે તેને અતિશય તાપમાન ફેરફારને કારણે લગભગ કોઈ પરિમાણીય ફેરફાર અનુભવાતો નથી, જે અર્ધવાહક ઉત્પાદનમાં ઉષ્મા ઓક્સિડેશન અને રાસાયણિક બાષ્પ જમાવટ જેવી પ્રક્રિયાઓમાં સામાન્ય ઘટના છે. આ સ્થિરતા વિકૃતિ, ખામીયુક્ત ગોઠવણી અને તણાવ-આધારિત નિષ્ફળતાને રોકે છે.
• ઉત્તમ ઑપ્ટિકલ ગુણધર્મો: ક્વાર્ટઝ વેફર્સ ઊંડા પરાબૈંગની (DUV) થી લઈને નજીકના ઇન્ફ્રારેડ (NIR) સુધીની ખૂબ વિશાળ સ્પેક્ટ્રલ રેન્જમાં પારદર્શક હોય છે. આ પારદર્શકતા, ખાસ કરીને ટૂંકી તરંગલંબાઈના UV પ્રકાશ માટે, ફોટોલિથોગ્રાફીમાં ફોટોમાસ્ક સબસ્ટ્રેટ્સ માટે મહત્વપૂર્ણ છે, જે ઇન્ટિગ્રેટેડ સર્કિટ્સને પેટર્ન કરવા માટે વપરાય છે. આનાથી આજના નેનો-સ્કેલ ટ્રાન્ઝિસ્ટર્સ બનાવવા માટે જરૂરી ઉચ્ચ-રિઝોલ્યુશન પેટર્નિંગ શક્ય બને છે.
• ઉચ્ચ વિદ્યુત ઇન્સ્યુલેશન: એક ઉત્કૃષ્ટ વિદ્યુત ઇન્સ્યુલેટર તરીકે, ક્વોર્ટઝ વેફર્સ ઇલેક્ટ્રોનિક પ્રક્રિયાઓ અને સાધનોમાં કેરિયર અથવા સ્પેસર તરીકે ઉપયોગ માટે આદર્શ છે, જે શોર્ટ સર્કિટ અને વિદ્યુત હસ્તક્ષેપને રોકે છે.
• નોંધપાત્ર યાંત્રિક કઠિનતા અને કઠોરતા: ભાંગુડાળા હોવા છતાં, ફ્યુઝ્ડ ક્વોર્ટઝ ખૂબ જ કઠિન અને કઠિન સામગ્રી છે, જે નાજુક પ્રક્રિયાઓ માટે સ્થિર અને ટકાઉ પ્લેટફોર્મ પૂરું પાડે છે.

ક્વાર્ટ્ઝ ગ્લાસ પ્લેટનો ઉપયોગ:

ક્વોર્ટઝ પ્લેટ્સનો ઉપયોગ સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન, ઑપ્ટિકલ સાધનો, મેડિકલ સાધનો અને ઉચ્ચ તાપમાનના વાતાવરણમાં રક્ષણ વગેરેમાં વ્યાપકપણે થાય છે. તેમાં ઉચ્ચ તાપમાન પ્રતિકાર, કાટ પ્રતિકાર અને ઉચ્ચ પ્રકાશ પારદર્શિતા જેવી લાક્ષણિકતાઓ હોય છે.

• અર્ધવાહક ઉત્પાદન

સિંગલ-ક્રિસ્ટલ સિલિકોનના વિકાસ માટે, અને વેફર્સની પ્રક્રિયા (જેમ કે એચિંગ, ડિફ્યુઝન, ઑક્સિડેશન વગેરે) માટે), ક્વોર્ટઝ ક્રૂસિબલ્સ અને ક્વોર્ટઝ બોટ્સ જેવી મુખ્ય વપરાશ સામગ્રી તરીકે, અશુદ્ધિના દૂષણને ટાળવા માટે ઉચ્ચ શુદ્ધતા (99.99% કરતાં વધુ) જરૂરી છે.

• ઑપ્ટિક્સ અને લેઝર ક્ષેત્ર

ઑપ્ટિકલ સાધનો: લેન્સ, કલરીમીટર, કોટેડ પ્રોટેક્ટિવ ફિલ્મ્સ, વગેરે. દૃશ્યમાન પ્રકાશ પારગમ્યતા 93% થી વધુ છે, અને તે પરાબૈંગળીથી નજીકના ઇન્ફ્રારેડ તરંગલંબાઈ શ્રેણીમાં પારદર્શક છે.

લેઝર સાધનો: પ્રોટેક્ટિવ વિન્ડો, ઉચ્ચ તાપમાન નિરીક્ષણ વિન્ડો, 1100 ℃ તાપમાન સહન કરવા સક્ષમ અને ઓછો ઉષ્મીય પ્રસરણ ગુણાંક ધરાવે છે.

• ચિકિત્સકીય સાધન

પરાબૈંગડી સેનિટાઇઝેશન ઉપકરણ: ડિસઇન્ફેક્શન માટે ક્વોર્ટ્ઝની પરાબૈંગડી પારગમ્યતાનો ઉપયોગ કરે છે.

એન્ડોસ્કોપ: ચોક્કસ પ્રકાશ ટ્રાન્સમિશન જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરે છે.

ઉચ્ચ તાપમાન અને ક્ષારક વાતાવરણ

રાસાયણિક સાધનો: હાઇડ્રોફલોરિક ઍસિડ ક્ષારણ સામે પ્રતિરોધક, રાસાયણિક સાધનો અને ઉચ્ચ તાપમાન રિએક્ટર માટે યોગ્ય.

એરોસ્પેસ: ઉચ્ચ તાપમાન વિન્ડો સામગ્રી તરીકે ફ્યુઝ્ડ ક્વોર્ટ્ઝ ગ્લાસનો ઉપયોગ થાય છે.

• અન્ય ઔદ્યોગિક એપ્લિકેશન્સ

સેરામિક્સ અને બિલ્ડિંગ મટિરિયલ્સ: સેરામિક કોર અને શેલ માટે કાચા માલ તરીકે, તેઓ યાંત્રિક મજબૂતી વધારે છે.

ઇલેક્ટ્રોનિક ઘટકો: ક્વાર્ટ્ઝ ઘડિયાળો, સેન્સરો વગેરેમાં પાઇઝોઇલેક્ટ્રિક ક્વાર્ટ્ઝ પ્લેટોનો ઉપયોગ થાય છે.

ટેક્નિકલ સ્પેક્સ