Na mieru vyrobená vysokočistá leštená priehľadná sklenená doska z kremeňa pre polovodiče

Definícia kremennej sklenej dosky:

Kremenné dosky sú špeciálne priemyselné materiály vyrobené z kysličníka kremičitého vysokéj čistoty (s čistotou ≥ 99,99 %). Vyrábajú sa procesom tavenia, rezania a brúsenia. Majú tvrdosť podľa Mohsa 7, odolávajú vysokým teplotám (dlhodobá prevádzková teplota až do 1100 ℃), majú nízku tepelnú rozťažnosť, vysokú tepelnú stabilitu a vynikajúce elektrické izolačné vlastnosti. Vo svojom bežnom stave sú bezfarebné a priehľadné, s prepustnosťou viditeľného svetla vyššou ako 85 %.

Výhody kremennej sklenej dosky:

Kremenné dosky sú špeciálne priemyselné technické sklo vyrobené z oxidu kremičitého. Sú veľmi vynikajúcim základným materiálom. Kremenné dosky majú radu vynikajúcich fyzikálnych a chemických vlastností, ako napríklad:

• Odolnosť voči vysokým teplotám. Teplota mäkknutia kremennej skloviny je približne 1730 ℃, a môže byť dlhodobo používaná pri teplote 1100 ℃. Maximálna krátkodobá prevádzková teplota môže dosiahnuť 1450 ℃.
• Odolnosť voči korózii. Okrem kyseliny fluorovodíkovej prakticky nevstupuje kremenné sklo do chemických reakcií s inými kyselinami. Jeho odolnosť voči kyselinám je 30-násobná oproti keramike a 150-násobná oproti nehrdzavejúcej ocele. Obzvlášť čo sa týka chemickej stability pri vysokých teplotách, nemá žiadny iný konštrukčný materiál rovnocenné vlastnosti.
• Dobrá tepelná stabilita. Má extrémne malý koeficient tepelnej rozťažnosti skla a odoláva prudkým zmenám teploty. Ak sa kremenné sklo zahreje na približne 1100 ℃ a potom sa umiestni do studenej vody, nepotrhlí.
• Dobré vlastnosti prenosu svetla. Kremenné dosky majú vynikajúce vlastnosti prenosu svetla po celom spektrálnom pásme svetla, pričom priepustnosť viditeľného svetla je vyššia ako 93 %. Obzvlášť v oblasti ultrafialového svetelného spektra môže byť maximálna priepustnosť vyššia ako 80 %.

Vlastnosti kremenného skleneného plechu:

• Výnimočná čistota a chemická inertnosť: Kremenné platne vysoké čistoty sú prakticky inertné. Nerozkladajú sa s väčšinou chemikálií vrátane agresívnych kyselín a plazmy používaných pri procesoch leptania polovodičov. Tým sa zabezpečuje, že neznečisťujú citlivé procesy ani materiály.
• Vysoká tepelná stabilita a nízka tepelná rozťažnosť: Kremeň má jednu z najnižších hodnôt koeficientu tepelnej rozťažnosti zo všetkých komerčných materiálov. To znamená, že pri extrémnych kolísaniach teploty, ktoré sa bežne vyskytujú napríklad pri procesoch tepelnej oxidácie alebo depozície chemických pár vo výrobe polovodičov, dochádza k minimálnym zmenám rozmerov. Táto stabilita zabraňuje deformácii, nesprávnemu zarovnaniu a poruchám spôsobeným mechanickým namáhaním.
• Vynikajúce optické vlastnosti: Kremenné platne sú priehľadné v veľmi širokom spektrálnom rozsahu, od hlbokého ultrafialového (DUV) po blízke infračervené (NIR) svetlo. Táto priehľadnosť, najmä pre krátkovlnné UV svetlo, je kritická pre substráty fotomaskí používané v litografii – procese tvorby obrazcov integrovaných obvodov. Umožňuje vysoké rozlíšenie potrebné na výrobu dnešných tranzistorov v nano-rozmeroch.
• Vysoká elektrická izolácia: Ako vynikajúci elektrický izolant sú kremenné platne ideálnymi nosičmi alebo medzery v elektronických procesoch a zariadeniach, čím sa zabráňa skratom a elektrickému rušeniu.
• Výrazná mechanická tuhosť a tvrdosť: Hoci je tavlený kremeň krehký, ide o veľmi tvrdý a tuhý materiál, ktorý poskytuje stabilnú a trvanlivú platformu pre jemné procesy.

Použitie kremičitej sklenej dosky:

Kremenné platne sa široko používajú pri výrobe polovodičov, optických prístrojov, lekárskych zariadení a pri ochrane v prostredí s vysokou teplotou. Majú vlastnosti ako odolnosť voči vysokým teplotám, odolnosť voči korózii a vysokú priepustnosť svetla.

• Výroba polovodičov

Pre rast monokryštalického kremíka a spracovanie platní (ako leptanie, difúzia, oxidácia a iné procesy), ako kľúčové spotrebné materiály, ako sú kremenné tigle a kremenné člny, je vyžadovaná vysoká čistota (nad 99,99 %), aby sa predišlo kontaminácii nečistotami.

• Optika a laserové pole

Optické prístroje: Objektívy, colorimetre, povlakované ochranné fólie atď. Priepustnosť viditeľného svetla je vyššia ako 93 % a je priehľadný v rozsahu vlnových dĺžok od ultrafialového po blízke infračervené spektrum.

Laserové zariadenia: Ochranné okno, pozorovacie okno pre vysoké teploty, schopné odolávať teplote 1100 ℃ teplota a malý koeficient tepelnej rozťažnosti.

• Lekárske zariadenia

Zariadenie na dezinfekciu ultrafialovým žiarením: Využíva priepustnosť kremeňa pre ultrafialové žiarenie na dezinfekciu.

Endoskop: Spĺňa presné požiadavky na prenos svetla.

Vysoká teplota a agresívne prostredie

Chemické zariadenia: Odolné voči korózii kyseliny fluorovodíkovej, vhodné pre chemické prístroje a reaktory pracujúce za vysokých teplôt.

Aerospace: Zosilnené kremeňové sklo sa používa ako materiál pre okná odolávajúce vysokým teplôtam.

• Iné priemyselné aplikácie

Keramika a stavebné materiály: Ako suroviny pre keramické jadrá a plášte zvyšujú mechanickú pevnosť.

Elektronické súčiastky: Piezoelektrické kremeňové platne sa používajú v kremenných hodinách, senzoroch atď.

Technické špecifikácie