Individuali didelės grynumo poliruota skaidri kvarcinė stiklo plokštė puslaidininkių pramonei

Kvarcinio stiklo plokštės apibrėžimas:

Kvarco plokštės yra specialios pramonės medžiagos, pagamintos iš aukšto grynumo silicio dioksido (grynumas ≥ 99,99 %). Jos gaminamos lydymo, pjovimo ir šlifavimo procesais. Jų Mohso kietumas yra 7, gali atlaikyti aukštą temperatūrą (ilgalaikio naudojimo temperatūra siekia 1100 ℃), turi mažą šiluminį plėtimąsi, aukštą šiluminę stabilumą ir puikias elektrines izoliacines savybes. Normaliomis sąlygomis jos yra bespalvės ir skaidrios, matomosios šviesos sklidumo koeficientas viršija 85 %.

Kvarcinio stiklo plokštės privalumai:

Kvarcinė plokštė yra specialus pramoninis techninis stiklas, pagamintas iš silicio dioksido. Tai labai puikus bazinis medžiaga. Kvarcinė plokštė turi eilę puikių fizinės ir cheminės savybių, tokių kaip:

• Aukštos temperatūros atsparumas. Kvarcinio stiklo minkštėjimo taško temperatūra yra apie 1730 ℃, ir jis gali būti ilgą laiką naudojamas 1100 ℃. Trumpalaikė maksimali naudojimo temperatūra gali pasiekti 1450 ℃.
• Atsparumas korozijai. Išskyrus fluoro rūgštį, kvarcinis stiklas beveik neįeina į chemines reakcijas su kitomis rūgštimis. Jo atsparumas rūgščiai yra 30 kartų didesnis už keramiką ir 150 kartų didesnis už nerūdijantį plieną. Ypač chemine stabilumu aukštose temperatūrose jis neturi lygių tarp kitų inžinerinių medžiagų.
• Gera terminė stabilumas. Jis turi itin mažą stiklo šiluminio plėtimosi koeficientą ir gali išlaikyti staigius temperatūros pokyčius. Jei kvarcinis stiklas būtų pašildytas iki apie 1100 ℃ ir tada įdėtas į šaltą vandenį, jis neatplyš.
• Geras šviesos sklidinimo našumas. Kvarco plokštės turi puikų šviesos sklidinimo našumą visame šviesos spektro diapazone, matomosios šviesos skaidrumas siekia daugiau nei 93 %. Ypač ultravioletiniame šviesos spektre maksimalus skaidrumas gali pasiekti daugiau nei 80 %.

Kvarcinio stiklo plokštės charakteristikos:

• Išskirtinė grynuma ir cheminis inertumas: aukštos grynumo kvarco plokštelės yra praktiškai inertinės. Jos nereaguoja su daugeliu chemikalų, įskaitant agresyvias rūgštis ir plazmas, naudojamas puslaidininkų etnimo procesuose. Tai užtikrina, kad jos nekontaminuotų jautrių procesų ar medžiagų.
• Didelis terminis stabilumas ir mažas terminis plėtimasis: Kvarcas turi vieną mažiausių terminio plėtimosi koeficientų iš visų komercinių medžiagų. Tai reiškia, kad esant ekstremaliems temperatūros svyravimams, kurie dažnai pasitaiko puslaidininkių gamybos procesuose, tokiuose kaip šiluminė oksidacija ir cheminė garų nusodinimo, jis patiria minimalius matmenų pokyčius. Šis stabilumas neleidžia išsikreipti, susidėti netikslumams bei įtempių sukeltiems gedimams.
• Puikios optinės savybės: Kvarco plokštelės yra permatomos labai plačiame spektriniame diapazone – nuo gilaus ultravioletinio (DUV) iki artimojo infraraudonojo (NIR) spinduliavimo. Ši permatomumas, ypač trumpabangiams UV spinduliams, yra būtinas fotomaskų pagrindams fotolitografijoje – procese, naudojamame integrinių grandynų piešimui. Tai leidžia aukštos raiškos piešimą, kuris būtinas šiandienos nano mastelio tranzistorių kūrimui.
• Aukšta elektrinė izoliacija: kaip puikus elektrinis izoliatorius, kvartiniai plokštelės yra idealios naudoti kaip nešikliai ar atstumtuvai elektroniniuose procesuose ir įrangose, neleidžianti trumpųjų jungimų ir elektros trikdžių.
• Išskirtinė mechaninė standumas ir kietumas: nors ir trapi, sulankstytoji kvarcas yra labai kietas ir standus medžiaga, užtikrinanti stabilų ir ilgaamžį pagrindą jautriems procesams.

Kvarco stiklo plokštės taikymas:

Kvartcinės plokštės plačiai naudojamos puslaidininkų gamyboje, optiniuose prietaisuose, medicinos įrangose ir aukštos temperatūros aplinkos apsaugoje. Jos pasižymi tokiais bruožais kaip aukštas atsparumas karščiui, korozijos atsparumas ir didelis šviesos pralaidumas.

• Poluprovodnikų Gamyba

Vienakryščio silicio augimui ir plokštelių apdorojimui (pvz., riebalavimui, difuzijai, oksidacijai ir kitiems procesams), kaip svarbioms sunaudojamoms medžiagoms – kvartiniams tiekliams ir kvartiniams laiveliams – reikalingas aukštas grynumas (virš 99,99 %), kad būtų išvengta teršalų užteršimo.

• Optika ir lazerių sritis

Optiniai prietaisai: Lęšiai, spalvotyvininkai, dengtos apsauginės plėvelės ir kt. Matomos šviesos sklidinumas viršija 93 %, taip pat yra skaidrus ultravioletiniame ir artimajame infraraudonajame bangos ilgių diapazone.

Lazerio įranga: Apsauginis langas, aukštos temperatūros stebėjimo langas, atsparus iki 1100 ℃ temperatūrai ir turintis žemą šiluminio plėtimosi koeficientą.

• Gamyklinis apranga

Ultravioletinio dezinfekavimo įrenginys: Naudoja kvarco ultravioletinį sklidinumą dezinfekcijai.

Endoskopas: Atitinka tikslų šviesos sklaidos reikalavimą.

Aukštos temperatūros ir agresyvi aplinka

Chemikalių įranga: Atspari vandenilio fluoridui, tinka cheminiams prietaisams ir aukštos temperatūros reaktoriams.

Aviacijos ir kosmoso pramonė: Lydytas kvarcas naudojamas kaip aukštos temperatūros lango medžiaga.

• Kitos pramonės paskirtys

Keramika ir statybinės medžiagos: Kaip žaliava keramikos šerdims ir apvalkalams, padidina mechaninį stiprumą.

Elektroniniai komponentai: piezoelektrinės kvarto plokštelės naudojamos kvarto laikrodžiuose, jutikliuose ir pan.

Techninės specifikacijos