Індивідуальна полірована прозора кварцова скляна пластина високої чистоти для напівпровідників

Визначення кварцової пластини:

Кварцові пластини — це спеціальні промислові матеріали, виготовлені з діоксиду кремнію високої чистоти (чистота ≥ 99,99%). Вони виробляються шляхом плавлення, різання та шліфування. Мають твердість за Моосом 7, витримують високі температури (температура тривалого використання досягає 1100 ℃), мають низький коефіцієнт теплового розширення, високу термостійкість і відмінні властивості електричної ізоляції. У звичайних умовах вони безбарвні та прозорі, з коефіцієнтом пропускання видимого світла понад 85%.

Переваги кварцової пластини:

Кварцові пластини — це спеціальне промислове технічне скло, виготовлене з діоксиду кремнію. Вони є дуже високоякісним основним матеріалом. Кварцові пластини мають низку чудових фізичних і хімічних властивостей, таких як:

• Висока термостійкість. Температура точки розм'якшення кварцового скла становить приблизно 1730 ℃, і його можна довго використовувати при 1100 ℃. Максимальна короткочасна температура використання може досягати 1450 ℃.
• Стійкість до корозії. Окрім плавикової кислоти, кварцове скло майже не вступає в хімічні реакції з іншими кислотами. Його стійкість до кислот у 30 разів вища, ніж у кераміки, і в 150 разів вища, ніж у нержавіючої сталі. Особливо вражає хімічна стабільність при високих температурах, яку не може зрівнятися жоден інший інженерний матеріал.
• Добре теплостійкість. Має надзвичайно низький коефіцієнт теплового розширення серед склоподібних матеріалів і витримує різкі перепади температур. Якщо кварцове скло нагріти до приблизно 1100 ℃ і потім помістити у холодну воду, воно не потріскається.
• Добра пропускна здатність світла. Кварцові пластини мають відмінні показники пропускання світла по всьому спектральному діапазоні, коефіцієнт пропускання видимого світла перевищує 93%. Особливо в ультрафіолетовій області спектра максимальний коефіцієнт пропускання може досягати понад 80%.

Характеристики кварцового скляного листа:

• Винятково висока чистота та хімічна інертність: кварцові пластини високої чистоти практично інертні. Вони не реагують з більшістю хімічних речовин, включаючи агресивні кислоти та плазму, що використовуються в процесах травлення напівпровідників. Це гарантує, що вони не забруднюють чутливі процеси чи матеріали.
• Висока термічна стабільність і низьке термічне розширення: кремнезем має один з найнижчих коефіцієнтів термічного розширення серед будь-яких комерційних матеріалів. Це означає, що він майже не змінює своїх розмірів під впливом різких коливань температури, що часто трапляється під час процесів, таких як термічне окиснення та хімічне осадження пари в виробництві напівпровідників. Така стабільність запобігає деформації, зміщенню та руйнуванню через механічні напруження.
• Чудові оптичні властивості: кремнеземні пластини прозорі в дуже широкому спектральному діапазоні — від глибокого ультрафіолету (DUV) до ближнього інфрачервоного (NIR). Ця прозорість, особливо для короткохвильового ультрафіолетового світла, є критично важливою для підкладок фотомасок у фотолітографії — процесу, що використовується для формування інтегральних схем. Вона дозволяє виконувати високоякісне топологічне розміщення, необхідне для створення сучасних нанометрових транзисторів.
• Висока електрична ізоляція: Як чудовий електричний ізолятор, кварцові пластики ідеально підходять для використання як носії або прокладки в електронних процесах та обладнанні, запобігаючи коротким замиканням та електричним перешкодам.
• Виняткова механічна жорсткість і твердість: Хоча сплавлений кварц є крихким, це дуже твердий і жорсткий матеріал, що забезпечує стабільну та довговічну основу для делікатних процесів.

Застосування кварцової скляної пластини:

Кварцові пластини широко використовуються у виробництві напівпровідників, оптичних приладах, медичному обладнанні та захисті в умовах високих температур. Вони мають такі характеристики, як стійкість до високих температур, корозійна стійкість і висока світлопроникність.

• Виробництва напівпровідників

Для вирощування монокристалічного кремнію та обробки пластин (таких як травлення, дифузія, окиснення тощо), як ключові ресурсні матеріали — кварцові тиглі та кварцові човни — потрібна висока чистота (понад 99,99%), щоб уникнути забруднення домішками.

• Оптика та лазерна галузь

Оптичні інструменти: лінзи, колориметри, покриті захисні плівки тощо. Коефіцієнт пропускання видимого світла перевищує 93%, матеріал прозорий у діапазоні від ультрафіолетового до ближнього інфрачервоного випромінювання.

Лазерне обладнання: захисне вікно, вікно для спостереження при високій температурі, здатне витримувати 1100 ℃ температуру та має низький коефіцієнт термічного розширення.

• Медичне обладнання

Установка ультрафіолетового знезараження: використовує ультрафіолетову проникність кварцу для дезінфекції.

Ендоскоп: відповідає точним вимогам щодо передачі світла.

Висока температура та агресивне середовище

Хімічне обладнання: стійке до корозії гідрофторидною кислотою, підходить для хімічних приладів та реакторів з високою температурою.

Аерокосмічна галузь: сплавлений кварцовий скло використовується як матеріал вікон для високих температур.

• Інші промислові застосування

Кераміка та будівельні матеріали: як сировина для керамічних сердечників і оболонок, підвищує механічну міцність.

Електронні компоненти: п'єзоелектричні кварцові пластини використовуються в кварцових годинниках, сенсорах тощо.

Технічні специфікації