सेमीकंडक्टरसाठी सानुकूल उच्च शुद्धता पॉलिश केलेली पारदर्शक क्वार्ट्झ ग्लास प्लेट

क्वार्टझ काचेच्या पट्टीची व्याख्या:

क्वार्टझ प्लेट्स हे उच्च-शुद्धतेच्या सिलिकॉन डायऑक्साइडपासून ( ≥ 99.99%) बनवलेले विशिष्ट औद्योगिक साहित्य आहे. त्यांची निर्मिती वितळवणे, कापणे आणि घासणे या प्रक्रियांद्वारे होते. त्यांची मोहस कठोरता 7 आहे, उच्च तापमान सहन करू शकतात (दीर्घकालीन वापराचे तापमान 1100 पर्यंत पोहोचू शकते) ℃), कमी उष्णता प्रसरण, उच्च उष्णता स्थिरता आणि उत्कृष्ट विद्युत इन्सुलेशन गुणधर्म असतात. सामान्य अवस्थेत, ते रंगहीन आणि पारदर्शक असतात, ज्यामध्ये 85% पेक्षा जास्त दृश्य प्रकाश पारगम्यता असते.

क्वार्टझ काचेच्या पट्टीचे फायदे:

क्वार्टझ पट्टी ही सिलिकॉन डायऑक्साइडपासून बनवलेली विशेष औद्योगिक तांत्रिक काच आहे. ती एक अत्यंत उत्कृष्ट मूलभूत सामग्री आहे. क्वार्टझ पट्टीमध्ये अनेक उत्कृष्ट भौतिक आणि रासायनिक गुणधर्म असतात, जसे की:

• उच्च तापमान सहनशीलता. क्वार्टझ काचेचा मऊ होण्याचा बिंदू तापमान अंदाजे 1730 ℃, आणि त्याचा वापर 1100 वर दीर्घकाळासाठी करता येतो ℃. अल्पकालीन वापराचे कमाल तापमान 1450 पर्यंत पोहोचू शकते ℃.
• क्षरण प्रतिरोधकता. हायड्रोफ्लोरिक ऍसिड वगळता, क्वार्टझ काच इतर कोणत्याही ऍसिड पदार्थांसोबत रासायनिक प्रतिक्रिया करत नाही. त्याची ऍसिड प्रतिरोधकता मातीच्या भांड्यांच्या 30 पट आणि रुसनाशक पोलादाच्या 150 पट आहे. विशेषत: उच्च तापमानात रासायनिक स्थिरतेच्या बाबतीत, इतर कोणत्याही अभियांत्रिकी सामग्रीद्वारे त्याची तुलना करता येत नाही.
• उत्तम उष्णता स्थिरता. त्याचे काचेचे अत्यंत कमी उष्मा प्रसरण गुणांक आहे, आणि ते तापमानातील अचानक बदल सहन करू शकते. जर क्वार्टझ काच 1100 च्या सुमारास तापवली जाते ℃ आणि नंतर थंड पाण्यात ठेवली जाते, तर तिला फुटणार नाही.
• उत्तम प्रकाश पारगम्यता कार्यक्षमता. क्वार्टझ पट्ट्यांची संपूर्ण प्रकाश स्पेक्ट्रम बँडमध्ये उत्तम प्रकाश पारगम्यता कार्यक्षमता आहे, ज्यामध्ये दृश्य प्रकाश पारगम्यता 93% पेक्षा जास्त आहे. विशेषत: अल्ट्राव्हायोलेट प्रकाश स्पेक्ट्रम क्षेत्रात, कमाल पारगम्यता 80% पेक्षा जास्त असू शकते.

क्वार्टझ काच पट्टीची वैशिष्ट्ये:

• अतुलनीय शुद्धता आणि रासायनिक निष्क्रियता: उच्च शुद्धतेच्या क्वार्टझ वेफर्स खरोखरच निष्क्रिय असतात. ते अधिकांश रसायनांशी प्रतिक्रिया दर्शवत नाहीत, ज्यामध्ये सेमीकंडक्टर एचिंग प्रक्रियेमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या तीव्र अम्ल आणि प्लाझमा यांचा समावेश आहे. हे सुनिश्चित करते की ते संवेदनशील प्रक्रिया किंवा सामग्रीला दूषित करत नाहीत.
• उच्च उष्णता स्थिरता आणि कमी उष्णता प्रसरण: क्वार्टझ याचे व्यावसायिक स्तरावरील कोणत्याही सामग्रीपेक्षा एक अत्यंत कमी उष्मा प्रसरण गुणांक आहे. अर्थात, अत्यंत तापमानातील बदलांना सामोरे जाताना, जे अर्धवाहक निर्मितीमधील उष्णता ऑक्सिडेशन आणि रासायनिक वाफ जमा करणे यासारख्या प्रक्रियांमध्ये सामान्य असते, तेव्हा त्याचे आकारमान किमान प्रमाणात बदलते. ही स्थिरता विकृती, मिसलाइनमेंट आणि ताणामुळे होणाऱ्या अपयशापासून बचाव करते.
• उत्कृष्ट ऑप्टिकल गुणधर्म: क्वार्टझ वेफर्स खोल अल्ट्राव्हायोलेट (DUV) पासून जवळच्या इन्फ्रारेड (NIR) पर्यंत अत्यंत विस्तृत स्पेक्ट्रल श्रेणीत पारदर्शक असतात. फोटोलिथोग्राफीमध्ये फोटोमास्क सब्स्ट्रेट्ससाठी, ज्यामध्ये इंटिग्रेटेड सर्किट्सचे पॅटर्न केले जाते, विशेषत: लहान तरंगलांबीच्या यूव्ही प्रकाशासाठी ही पारदर्शकता अत्यंत महत्त्वाची आहे. आजच्या नॅनो-स्तरावरील ट्रान्झिस्टर्स तयार करण्यासाठी आवश्यक असलेल्या उच्च-रिझोल्यूशन पॅटर्निंगची ही परवानगी देते.
• उच्च विद्युत निरोधन: एक उत्कृष्ट विद्युत निरोधक म्हणून, क्वार्टस वेफर्स इलेक्ट्रॉनिक प्रक्रिया आणि उपकरणांमध्ये वाहक किंवा स्पेसर म्हणून वापरण्यासाठी आदर्श आहेत, ज्यामुळे लघुपरिपथ आणि विद्युत हस्तक्षेप टाळला जातो.
• उल्लेखनीय यांत्रिक कठोरता आणि कठिनता: भंगुर असले तरी, फ्यूज्ड क्वार्टस खूप कठीण आणि कठोर सामग्री आहे, जी सूक्ष्म प्रक्रियांसाठी स्थिर आणि टिकाऊ व्यासपीठ प्रदान करते.

क्वार्ट्झ काचेच्या पट्टीचा उपयोग:

क्वार्टस प्लेट्स अर्धसंवाहक उत्पादन, ऑप्टिकल उपकरणे, वैद्यकीय उपकरणे आणि उच्च तापमानाच्या वातावरणातील संरक्षण इत्यादींमध्ये व्यापकपणे वापरल्या जातात. उच्च तापमान सहनशीलता, दुर्गंधीप्रतिरोधकता आणि उच्च प्रकाश पारदर्शकता अशा गुणधर्म त्यांच्याकडे असतात.

• सॅमिकोन्डक्टर निर्माण

एकल-क्रिस्टल सिलिकॉनच्या वाढीसाठी आणि वेफर्सच्या प्रक्रियेसाठी (जसे की एटिंग, डिफ्यूजन, ऑक्सिडेशन इत्यादी प्रक्रिया), क्वार्टस क्रूसिबल्स आणि क्वार्टस बोट्स सारख्या महत्त्वाच्या वापरल्या जाणार्‍या घटकांसाठी, अशुद्धींचे दूषण टाळण्यासाठी उच्च शुद्धता (99.99% पेक्षा जास्त) आवश्यक असते.

• ऑप्टिक्स आणि लेझर क्षेत्र

ऑप्टिकल उपकरणे: लेन्स, रंगमापक, आवरित संरक्षक फिल्म्स, इत्यादी. दृश्य प्रकाश पारगम्यता 93% पेक्षा जास्त आहे आणि हे अल्ट्राव्हायोलेट ते जवळच्या इन्फ्रारेड तरंगलांबी श्रेणीत पारदर्शक आहे.

लेझर उपकरणे: संरक्षक खिडकी, उच्च तापमान निरीक्षण खिडकी, 1100 ℃ तापमान सहन करण्यास सक्षम आणि कमी उष्णता प्रसरण गुणांक आहे.

• चिकित्सा उपकरण

अल्ट्राव्हायोलेट निर्जंतुकीकरण उपकरण: निर्जंतुकीकरणासाठी क्वार्ट्सच्या अल्ट्राव्हायोलेट पारगम्यतेचा वापर करते.

एंडोस्कोप: अचूक प्रकाश पारगमन आवश्यकता पूर्ण करणे.

उच्च तापमान आणि संक्षारक वातावरण

रासायनिक उपकरणे: हायड्रोफ्लोरिक ऍसिड संक्षारणास प्रतिरोधक, रासायनिक उपकरणे आणि उच्च तापमान प्रतिक्रियाशीलकरिता योग्य.

एअरोस्पेस: वितळलेल्या क्वार्ट्स ग्लासचा उच्च तापमान खिडकी सामग्री म्हणून वापर केला जातो.

• इतर औद्योगिक अनुप्रयोग

सिरॅमिक्स आणि इमारती साहित्य: सिरॅमिक कोर आणि शेल्ससाठी कच्चा माल म्हणून, यामुळे यांत्रिक बळ वाढते.

इलेक्ट्रॉनिक घटक: पिझोइलेक्ट्रिक क्वार्टस प्लेट्स क्वार्टस घड्याळे, सेन्सर इत्यादींमध्ये वापरल्या जातात.

तंत्रज्ञान प्रमाण