Yarı İletkenler İçin Özel Yüksek Saflıkta Parlatılmış Şeffaf Kuvars Cam Plakası

Kuvars cam plakanın tanımı:

Kuvars plakalar, yüksek saflıkta silisyum dioksitten (safiyeti ≥ 99,99%) yapılan özel endüstriyel malzemelerdir. Ergitme, kesme ve öğütme süreçleriyle üretilirler. Mohs sertliği 7'dir, yüksek sıcaklıklara dayanabilirler (uzun süreli kullanım sıcaklığı 1100 ℃dereceye kadar çıkabilir), düşük termal genleşme, yüksek termal kararlılık ve mükemmel elektrik yalıtım özellikleri vardır. Normal durumlarında renksiz ve şeffaftırlar ve görünür ışık geçirgenlikleri %85'in üzerindedir.

Kuvars cam plakanın avantajları:

Kuvars plaka, silikon dioksitten yapılan özel endüstriyel teknik camdır. Çok iyi bir temel malzemedir. Kuvars plaka, şu gibi birçok üstün fiziksel ve kimyasal özelliğe sahiptir:

• Yüksek sıcaklık direnci. Kuvars camın yumuşama noktası sıcaklığı yaklaşık 1730 ℃, uzun süreli kullanım sıcaklığı 1100'de olabilir. ℃maksimum kısa süreli kullanım sıcaklığı 1450'ye ulaşabilir. ℃.
• Korozyon direnci. Hidroflorik aside ek olarak kuvars cam neredeyse diğer asitlerle kimyasal reaksiyona girmez. Asit direnci seramiğin 30 katı, paslanmaz çeliğin ise 150 katıdır. Özellikle yüksek sıcaklıklarda kimyasal kararlılık açısından başka hiçbir mühendislik malzemesi onunla kıyaslanamaz.
• İyi termal stabilite. Camların en düşük termal genleşme katsayısına sahiptir ve ani sıcaklık değişimlerine dayanabilir. Eğer kuvars cam yaklaşık 1100'a kadar ısıtılıp ardından soğuk suya konulursa, çatlamaz. ℃ ve ardından soğuk suya konulursa, çatlamaz.
• İyi ışık geçirme performansı. Kuvars levhalar, görünür ışık geçirgenliği %93'ün üzerinde olacak şekilde tüm ışık spektrumu bandında mükemmel ışık geçirme performansına sahiptir. Özellikle ultraviyole ışık spektrum bölgesinde, maksimum geçirgenlik %80'in üzerine çıkabilir.

Kuvars cam levhanın özellikleri:

• Olağanüstü Sahflık ve Kimyasal İnertlik: Yüksek saflıktaki kuvars waferler neredeyse inerttir. Yarı iletken aşındırma süreçlerinde kullanılan agresif asitler ve plazmalar dahil çoğu kimyasal maddeyle tepkimeye girmezler. Bu da hassas süreçleri veya malzemeleri bulaştırmadıklarını garanti eder.
• Yüksek Isıl Kararlılık ve Düşük Isıl Genleşme: Kuvars, ticari malzemeler arasında en düşük ısıl genleşme katsayılarından birine sahiptir. Bu, yarı iletken üretimde termal oksidasyon ve kimyasal buhar biriktirme gibi süreçlerde sık karşılaşılan aşırı sıcaklık dalgalanmalarına maruz kaldığında boyutsal değişimini minimum düzeyde tuttuğu anlamına gelir. Bu kararlılık, çarpılmayı, hizalanma sorunlarını ve gerilim kaynaklı hasarı önler.
• Mükemmel Optik Özellikler: Kuvars lamelleri, derin morötesinden (DUV) yakın kızılötesine (NIR) kadar çok geniş bir spektral aralıkta şeffaftır. Özellikle kısa dalgaboylu UV ışığına olan şeffaflık, entegre devreleri desenlemede kullanılan fotolitografi sürecindeki fotomask altlıklarında kritik öneme sahiptir. Bu da günümüzün nano ölçekli transistörlerinin üretiminde gerekli olan yüksek çözünürlüklü desenlemeye imkan tanır.
• Yüksek Elektriksel Yalıtım: Harika bir elektrik yalıtkanı olarak kuvars lameller, elektronik süreçlerde ve ekipmanlarda taşıyıcı veya ayırıcı olarak kısa devreleri ve elektriksel girişimleri önlemek için idealdir.
• Dikkate değer Mekanik Sağlamlık ve Sertlik: Kırılgan olmalarına rağmen ergimiş kuvars çok sert ve sağlam bir malzemedir ve hassas süreçler için kararlı ve dayanıklı bir platform sağlar.

Kuvars cam plaka uygulaması:

Kuvars plakalar; yarı iletken üretimi, optik aletler, tıbbi cihazlar ve yüksek sıcaklık ortam koruması gibi birçok alanda yaygın olarak kullanılır. Yüksek sıcaklığa dayanıklılık, korozyona direnç ve yüksek ışık geçirgenliği gibi özelliklere sahiptir.

• Yarım iletken üretimi

Tek kristal silikon büyümesi ve lamel işleme (örneğin aşındırma, difüzyon, oksidasyon gibi süreçler) için kuvars kroze ve kuvars tekne gibi temel sarf malzemelerinde saflık oranı %99,99'un üzerinde olmalıdır ki safsızlık bulaşması önlenir.

• Optik ve Lazer Alanı

Optik Aletler: Lensler, kolorimetreler, kaplanmış koruyucu filmler vb. Görünür ışık geçirgenliği %93'ün üzerindedir ve ultraviyole'den yakın kızılötesi dalga boyuna kadar olan aralıkta şeffaftır.

Lazer ekipmanı: Koruyucu pencere, yüksek sıcaklık gözlem penceresi, 1100 ℃ sıcaklığa dayanıklı ve düşük termal genleşme katsayısına sahiptir.

• Tıbbi Ekipman

Ultraviyole sterilizasyon cihazı: Dezenfeksiyon amacıyla kuvarsın ultraviyole geçirgenliğini kullanır.

Endoskop: Hassas ışık iletim gereksinimlerini karşılar.

Yüksek sıcaklık ve korozif ortam

Kimyasal ekipman: Hidroflorik aside karşı korozyona dayanıklıdır, kimyasal aletler ve yüksek sıcaklık reaktörleri için uygundur.

Uzay ve havacılık: Ergimiş kuvars camı, yüksek sıcaklık pencereleri malzemesi olarak kullanılır.

• Diğer Endüstriyel Uygulamalar

Seramikler ve inşaat malzemeleri: Seramik çekirdekler ve kabuklar için ham madde olarak kullanıldığında mekanik dayanımı artırır.

Elektronik bileşenler: Piezoelektrik kuvars plakalar, kuvars saatlerde, sensörlerde vb. kullanılır.

Teknik özellikler