Прилагођена плоча од полираног кварца високе чистоће за полупроводнике

Дефиниција плоче од кварцног стакла:

Кварцне плоче су специјални индустријски материјали направљени од високопречишћеног диоксида силицијума (са чistoћом од ≥ 99,99%). Производе се поступцима топљења, резања и брушења. Имају Мосову тврдоћу 7, могу издржати високе температуре (са дугорочном радном температуром до 1100 ℃), имају ниску топлотну дилатацију, високу термичку стабилност и изузетна својства електричне изолације. У нормалном стању су безбојни и прозирни, са пропуштањем видљиве светлости преко 85%.

Предности плоче од кварцног стакла:

Кварцна плоча је специјално индустријско техничко стакло направљено од силикон-диоксида. Веома је добар основни материјал. Кварцне плоче поседују низ изузетних физичких и хемијских особина, као што су:

• Отпорност на високе температуре. Температура мекења кварцног стакла је приближно 1730 ℃, и може се дуго користити на 1100 ℃. Максимална краткорочна радна температура може достићи 1450 ℃.
• Отпорност на корозију. Осим флуоридне киселине, кварцно стакло текуће не реагује са другим киселинама. Његова отпорност на киселине је 30 пута већа од отпорности керамике и 150 пута већа него код нерђајућег челика. Посебно у погледу хемијске стабилности на високим температурама, ни један други инжењерски материјал га не превазилази.
• Добра термичка стабилност. Има изузетно мали коефицијент топлотног ширења стакла и може поднети нагле промене температуре. Ако се кварцно стакло загреје на око 1100 ℃ а затим стави у студену воду, неће пуци.
• Добра перформанса пролаза светлости. Кварцни листови имају изузетне перформансе пролаза светлости кроз цео спектарски опсег светлости, са пропуштањем видљиве светлости већим од 93%. Посебно у ултраљубичастом делу спектра, максимални пропусни капацитет може достићи више од 80%.

Карактеристике кварцног стакленог листа:

• Изузетна чistoћа и хемијска пасивност: Кварцне плочице високе чistoће су практично пасивне. Не реагују са већином хемикалија, укључујући агресивне киселине и плазму које се користе у процесима гравирања полупроводника. Ово осигурава да не контаминирају осетљиве процесе или материјале.
• Висока термичка стабилност и ниска термичка дилатација: Кварц има један од најнижих коефицијената термичке дилатације међу комерцијалним материјалима. То значи да доживљава минималну промену димензија када је изложен екстремним флуктуацијама температуре, што је чест случај у процесима као што су термичка оксидација и депозиција хемијских пари у полупроводничкој производњи. Ова стабилност спречава изобличење, неусаглашеност и кварове услед напона.
• Изузетна оптичка својства: Кварцне плочице су прозирне у веома широком спектралном опсегу, од дубоког ултравиолетног (DUV) до блиског инфрацрвеног (NIR). Ова прозирност, посебно према светлости кратких таласних дужина у УВ опсегу, од суштинског је значаја за подлоге фотомастера у фотолитографији, процесу који се користи за прављење шема интегрисаних кола. Омогућава патернирање високе резолуције, што је неопходно за израду данашњих транзистора на нано скали.
• Висока електрична изолација: Као одличан електрични изолатор, кварцни вефели су идеални за употребу као носачи или размакивачи у електронским процесима и опреми, спречавајући кратке спојеве и електричне сметње.
• Изузетна механичка чврстоћа и тврдоћа: Иако крта, фузионисани кварц је веома тврд и чврст материјал, који обезбеђује стабилну и издржљиву платформу за деликатне процесе.

Примена кварцне стаклене плоче:

Кварцне плоче се широко користе у производњи полупроводника, оптичким инструментима, медицинској опреми и заштити у срединама са високом температуром, између осталог. Поседују карактеристике као што су отпорност на високе температуре, отпорност на корозију и висока пропустљивост светлости.

• Proizvodnju poluprovodnika

За раст сингл кристала силицијума и обраду вефела (као што су процеси трења, дифузије, оксидације и други), као кључни потрошни материјали попут кварцних тигљева и кварцних чамаца, захтева се висока чистоћа (изнад 99,99%) како би се избегло загађење примесама.

• Оптика и ласерска област

Оптички инструменти: Сочива, колориметри, премазане заштитне филмове итд. Пропуштање видљиве светлости је преко 93%, а прозирни су у опсегу таласних дужина од ултравиолетног до блиског инфрацрвеног спектра.

Ласерска опрема: Заштитни прозор, прозор за посматрање на високој температури, способан да издржи 1100 ℃ температуру и има низак коефицијент топлотног ширења.

• Medicinska oprema

Уређај за УВ стерилисац: Користи пропусност кварца за ултравиолетну светлост ради дезинфекције.

Ендоскоп: Испуњава прецизне захтеве за пренос светлости.

Висока температура и корозивна средина

Хемијска опрема: Отпорна на корозију хидрофлуоричном киселином, погодна за хемијске инструменте и реакторе на високој температури.

Аеросвемир: Спајани кварцни стакло се користи као материјал за прозоре на високој температури.

• Druge industrijske primene

Поредак и грађевински материјали: Као сировина за керамичке језгре и лимове, побољшавају механичку чврстоћу.

Електронски компоненти: Пјезоелектричне кварцне плоче се користе у кварцним сатовима, сензорима итд.

Tehničke specifikacije