Aangepaste Hoë Suiwerheid Gepoleerde Deursigtige Kwartsglasplaat vir Halfgeleier

Definisie van kwarts glasplaat:

Kwartsplate is spesiale industriële materiale vervaardig uit hoë-suiwerheid silisiumdioksied (met 'n suiwerheid van ≥ 99,99%). Hulle word vervaardig deur middel van smelt-, sny- en slypprosesse. Hulle het 'n Mohs-hardheid van 7, kan hoë temperature weerstaan (met 'n langtermyngebruikstemperatuur van tot 1100 ℃), het lae termiese uitsetting, hoë termiese stabiliteit en uitstekende elektriese isolasie-eienskappe. In hul normale toestand is hulle kleurloos en deursigtig, met 'n sigbare ligdeurlaatbaarheid van meer as 85%.

Voordel van kwarts glasplaat:

Kwartsplaat is spesiale industriële tegniese glas gemaak van silikon-dioksied. Dit is 'n uiters uitstekende basismateriaal. Kwartsplaat besit 'n reeks uitstekende fisiese en chemiese eienskappe, soos:

• Hoë temperatuurbestendigheid. Die versagtende punttemperatuur van kwartsglas is ongeveer 1730 ℃, en dit kan vir 'n lang tydperk by 1100 ℃ gebruik word. Die maksimum korttermyn-gebruikstemperatuur kan 1450 bereik ℃.
• Bestand teen korrosie. Behalwe hidrofluorsuur, gaan kwartsglas byna geen chemiese reaksies met ander suurstowwe aan nie. Sy suurbestand is 30 keer dié van keramiek en 150 keer dié van roestvrye staal. Veral wat betref chemiese stabiliteit by hoë temperature, word dit deur geen ander ingenieursmateriaal geëwen nie.
• Goed termiese stabiliteit. Dit het 'n uiters klein termiese uitsettingskoëffisiënt van glas, en kan drastiese temperatuurveranderings weerstaan. Indien kwartsglas tot ongeveer 1100 verhit word ℃ en dan in koue water geplaas word, sal dit nie kraak nie.
• Goed ligdeurlaatvermoë. Kwartsplaat het uitstekende ligdeurlaatvermoë oor die hele ligspektrumband, met 'n sigbare ligdeurlaatbaarheid van meer as 93%. Veral in die ultravioletlig-spektrumstreek kan die maksimum deurlaatbaarheid meer as 80% bereik.

Kenmerke van kwarts glasplaat:

• Uitstekende suiwerheid en chemiese onert: Hoë suiwerheidskwarts skywe is feitlik onert. Hulle reageer nie met die meeste chemikalieë nie, insluitend aggressiewe sure en plasmas wat in halfgeleier-etsprosesse gebruik word. Dit verseker dat hulle nie sensitiewe prosesse of materiale besmet nie.
• Hoë Termiese Stabiliteit en Lae Termiese Uitsetting: Kwarts het een van die laagste koëffisiënte van termiese uitsetting van enige kommersiële materiaal. Dit beteken dat dit minimale dimensionele verandering ondervind wanneer dit aan ekstreme temperatuursvingerings onderwerp word, wat 'n algemene verskynsel is in prosesse soos termiese oksidasie en chemiese dampafsetting in halfgeleiervervaardiging. Hierdie stabiliteit voorkom verwringing, mislyning en spanning-geïnduseerde faling.
• Uitstekende Optiese Eienskappe: Kwartskywe is deursigtig oor 'n baie wye spektrale reeks, van die diep ultraviolet (DUV) tot die naby-infrarooi (NIR). Hierdie deursigtigheid, veral vir kortgolf UV- lig, is krities vir fotomaskersubsstrate in fotolitografie, die proses wat gebruik word om geïntegreerde stroombane te patroneer. Dit maak hoë-resolusie patroonwerk moontlik, wat noodsaaklik is vir die skep van nano-skaal transistor wat vandag gebruik word.
• Hoë Elektriese Isolasie: As 'n uitstekende elektriese isolator is kwartskywe ideaal vir gebruik as draers of tussenlaers in elektroniese prosesse en toerusting, wat kortsluitings en elektriese steurings voorkom.
• Opmerklike Meganiese Styfheid en Hardheid: Alhoewel bros, is gesmelt kwarts 'n baie harde en stywe materiaal wat 'n stabiele en duursame platform bied vir delikate prosesse.

Toepassing van kwartsglasplaat:

Kwartsplate word wyd gebruik in halfgeleiervervaardiging, optiese instrumente, mediese toerusting en hoë-temperatuur omgewingsbeskerming, onder andere. Hulle besit eienskappe soos hoë temperatuurbestandigheid, korrosiebestandigheid en hoë ligdeurlaatbaarheid.

• Halweprooi vervaardiging

Vir die groei van enkelkristallyne silikon, en die verwerking van skywe (soos ets, diffusie, oksidasie en ander prosesse), as sleutelverbruiksgoed soos kwartsmeleiers en kwartsskepe, word hoë suiwerheid (bo 99,99%) vereis om onsuiverhede te voorkom.

• Optika en Laserveld

Optiese Instrumente: Lense, kleurmeters, bedekte beskermende filme, ens. Die sigbare ligdeurlaatbaarheid is meer as 93%, en dit is deursigtig in die ultraviolet- tot nabynfrarooi golflengtebereik.

Laser-toerusting: Beskermvenster, hoë-temperatuur waarnemingsvenster, wat 1100 ℃ temperatuur kan weerstaan en 'n lae termiese uitsettingskoëffisiënt het.

• Mediese Toerusting

Ultraviolet sterilisasietoestel: Maak gebruik van die ultraviolet-deurlaatbaarheid van kwarts vir desinfeksie.

Endoskoop: Voldoen aan die presiese lig-oordragvereistes.

Hoë temperatuur en erosiewe omgewing

Chemiese toerusting: Bestand teen waterstofsuurkorrosie, geskik vir chemiese instrumente en hoë-temperatuur reaktore.

Ruimtevaart: Gesmelt kwarts glas word as 'n hoë-temperatuur venstermateriaal gebruik.

• Ander Nywerheidstoepassings

Keramiek en boumateriale: As grondstowwe vir keramiese kerne en skulpe, verbeter hulle meganiese sterkte.

Elektroniese komponente: Piezoelektriese kwartsplate word in kwarts horlosies, sensore, ens. gebruik.

Tegniese Spesifikasies