Pasadyang mataas na kadalisayan na pinalinis na transparent na quartz glass plate para sa Semiconductor

Kahulugan ng plato ng quartz glass:

Ang mga plato ng quartz ay espesyal na materyales sa industriya na gawa sa silicon dioxide na may mataas na kalinisan (na may kalinisan na ≥ 99.99%). Ginagawa ito sa pamamagitan ng pagtunaw, pagputol, at paggiling. Mayroon itong Mohs hardness na 7, kayang tumagal sa mataas na temperatura (na may pangmatagalang temperatura ng paggamit na umabot sa 1100 ℃), mababa ang thermal expansion, mataas ang thermal stability, at mahusay na mga katangian sa pagkakabukod ng kuryente. Sa normal nitong estado, walang kulay at transparent ito, na may transmittance ng visible light na higit sa 85%.

Mga Benepisyo ng plato ng quartz glass:

Ang quartz plate ay mga espesyal na industriyal na teknikal na salamin na gawa mula sa silicon dioxide. Ito ay isang napakagandang pangunahing materyales. Ang quartz plate ay may serye ng mahuhusay na pisikal at kemikal na katangian, tulad ng:

• Tibay sa mataas na temperatura. Ang temperatura ng pagkamalambot ng quartz glass ay tinataya sa 1730 ℃, at maaari itong gamitin nang matagal sa 1100 ℃. Ang pinakamataas na maikling-panahong temperatura ng paggamit ay maaaring umabot sa 1450 ℃.
• Tibay sa corrosion. Maliban sa hydrofluoric acid, ang quartz glass ay halos hindi sumasailalim sa reaksiyong kimikal sa iba pang mga acidic na substansiya. Ang resistensya nito sa acid ay 30 beses na higit kaysa sa ceramics at 150 beses na higit kaysa sa stainless steel. Lalo na sa usapin ng katatagan sa kemikal sa mataas na temperatura, walang ibang engineering materials ang nakakatapat dito.
• Magandang thermal stability. Ito ay mayroong napakaliit na thermal expansion coefficient ng salamin, at kayang-tiisin ang malalang pagbabago ng temperatura. Kung painitin ang quartz glass sa paligid ng 1100 ℃ at ilalagay pagkatapos sa malamig na tubig, hindi ito tatasak.
• Magandang pagganap sa transmisyon ng liwanag. Ang mga sheet ng quartz ay may mahusay na pagganap sa transmisyon ng liwanag sa buong spectrum ng liwanag, na may transmittance ng nakikitang liwanag na higit sa 93%. Lalo na sa ultraviolet na bahagi ng spectrum, ang pinakamataas na transmittance ay maaaring umabot sa higit sa 80%.

Mga katangian ng plaka ng quartz na bubog:

• Hindi pangkaraniwang Kadalisayan at Kemikal na Pagkabulok: Ang mataas na kadalisayan ng quartz wafers ay halos hindi reaktibo. Hindi ito tumutugon sa karamihan ng mga kemikal, kabilang ang mapaminsalang mga asido at plasma na ginagamit sa mga proseso ng semiconductor etching. Sinisiguro nito na hindi nila nadadumihan ang sensitibong mga proseso o materyales.
• Mataas na Thermal na Estabilidad at Mababang Thermal na Pagpapalawak: Ang quartz ay may isa sa pinakamababang coefficient ng thermal expansion kumpara sa anumang komersyal na materyales. Nangangahulugan ito na napakaliit ng pagbabago sa sukat nito kapag nakaranas ito ng matinding pagbabago ng temperatura, isang karaniwang pangyayari sa mga proseso tulad ng thermal oxidation at chemical vapor deposition sa paggawa ng semiconductor. Ang katatagan na ito ay nag-iwas sa pagkurap, pagkawala ng pagkaka-align, at pagkabigo dulot ng tensyon.
• Napakahusay na Optical na Katangian: Ang quartz wafers ay transparent sa isang napakalawak na spectral range, mula sa deep ultraviolet (DUV) hanggang sa near-infrared (NIR). Ang transparency na ito, lalo na sa UV light na may maikling wavelength, ay mahalaga para sa mga substrate ng photomask sa photolithography, ang prosesong ginagamit upang i-pattern ang mga integrated circuit. Pinapayagan nito ang mataas na resolusyon sa pagpo-patterning na kinakailangan para sa paggawa ng mga transistor sa nano-scale ngayon.
• Mataas na Pagkakainsula sa Kuryente: Bilang isang mahusay na tagapag-impok ng kuryente, ang mga quartz wafer ay mainam para gamitin bilang tagapagdala o espaser sa mga proseso at kagamitang elektroniko, na nagpipigil sa maikling sirkito at pagkakagulo ng kuryente.
• Kahanga-hangang Pagkamatigas at Rigidity sa Mekanikal: Bagaman mabrittle, matigas at matibay ang fused quartz, na nagbibigay ng matatag at matibay na plataporma para sa mga sensitibong proseso.

Aplikasyon ng quartz glass plate:

Ang mga plaka ng quartz ay malawakang ginagamit sa paggawa ng semiconductor, mga instrumentong optikal, kagamitang medikal, at proteksyon sa mataas na temperatura, bukod sa iba pa. Mayroon silang mga katangian tulad ng paglaban sa mataas na temperatura, paglaban sa pagsira, at mataas na pagpasa ng liwanag.

• Paggawa ng semiconductor

Para sa paglago ng monocrystalline silicon, at sa pagpoproseso ng mga wafer (tulad ng pag-etch, pagsuyod, pag-oxidize, at iba pang proseso), bilang mahahalagang konsyomable tulad ng quartz crucible at quartz boat, kailangan ang mataas na kalidad (higit sa 99.99%) upang maiwasan ang kontaminasyon ng dumi.

• Optics at Larangan ng Laser

Mga Instrumentong Optikal: Mga lens, colorimeter, mga napabalot na pelikulang protektibo, at iba pa. Ang transmittance ng visible light ay higit sa 93%, at transparent ito mula ultraviolet hanggang malapit sa saklaw ng infrared na wavelength.

Mga Kagamitang Laser: Protektibong window, mataas na temperatura na observation window, kayang tumagal ng 1100 ℃ temperatura at may mababang thermal expansion coefficient.

• Kagamitan Medikal

Mga Device sa Pagdidisimpekta gamit ang Ultraviolet: Gumagamit ng ultraviolet transmittance ng quartz para sa pagdidisimpekta.

Endoscope: Tumutugon sa mga tiyak na pangangailangan sa paghahatid ng liwanag.

Mataas na temperatura at mapaminsalang kapaligiran

Mga Kagamitang Kemikal: Nakakataya sa pagsira ng hydrofluoric acid, angkop para sa mga instrumentong kemikal at mga reactor na mataas ang temperatura.

Aerospace: Ginagamit ang fused quartz glass bilang materyal para sa window na may mataas na temperatura.

• Iba pang mga Industrial na Aplikasyon

Seramika at mga bagong gusali: Bilang hilaw na materyales para sa ceramic cores at shells, nagpapahusay ito sa lakas nito.

Mga Bahagi sa Elektroniko: Ang piezoelectric quartz plates ay ginagamit sa quartz clock, sensor, at iba pa.

Teknikal na Espekifikasiyon