반도체용 고품위 연마 처리된 투명 석영 유리판 맞춤 제작

석영 유리판의 정의:

석영 플레이트는 고순도 이산화규소(순도 ≥ 99.99%)로 만들어진 특수 산업용 소재로, 용융, 절단 및 연마 공정을 통해 제작됩니다. 모스 경도는 7이며, 고온에 견딜 수 있고(장기 사용 온도는 1100 ℃) 열팽창 계수가 낮고, 열 안정성이 뛰어나며 우수한 전기 절연 특성을 가집니다. 일반 상태에서 무색 투명하며 가시광선 투과율은 85% 이상입니다.

석영 유리판의 장점:

석영판은 이산화규소로 만들어진 특수 산업용 기술 유리입니다. 매우 우수한 기본 소재이며, 뛰어난 물리적·화학적 특성을 여러 가지 가지고 있습니다. 예를 들어:

• 내열성이 뛰어납니다. 석영유리의 연화점 온도는 약 1730℃이며 ℃, 장기간 1100℃에서 사용할 수 있습니다. ℃ 단기적으로 최대 사용 온도는 1450℃까지 가능합니다. ℃.
• 내식성이 우수합니다. 불화수소산을 제외하고는 석영유리는 거의 다른 산과 화학 반응을 하지 않습니다. 내산성은 세라믹의 30배, 스테인리스강의 150배에 달합니다. 특히 고온에서의 화학적 안정성은 다른 어떤 공학 재료도 따라올 수 없습니다.
• 우수한 열안정성. 유리 중에서도 매우 낮은 열팽창 계수를 가지며 급격한 온도 변화에도 견딜 수 있습니다. 석영유리를 약 1100℃까지 가열한 후 찬물에 넣어도 ℃ 균열이 생기지 않습니다.
• 우수한 빛 투과 성능. 석영 시트는 전체 광 스펙트럼 영역에서 뛰어난 빛 투과 성능을 가지며, 가시광선 투과율이 93% 이상에 달한다. 특히 자외선 영역에서 최대 투과율이 80% 이상에 이를 수 있다.

석영 유리판의 특성:

• 탁월한 순도와 화학적 불활성: 고순도 석영 웨이퍼는 거의 불활성 상태이다. 반도체 에칭 공정에서 사용되는 강한 산이나 플라즈마를 포함하여 대부분의 화학물질과 반응하지 않으며, 이로 인해 민감한 공정이나 물질을 오염시키지 않는다.
• 우수한 열 안정성과 낮은 열팽창: 석영은 상업적으로 사용되는 재료 중에서 가장 낮은 열팽창 계수를 하나 가지고 있습니다. 이는 반도체 제조 공정에서 흔히 발생하는 열 산화 및 화학 기상 증착과 같은 급격한 온도 변화가 있을 때 치수 변화가 최소화된다는 것을 의미합니다. 이러한 안정성 덕분에 휨이나 정렬 오류, 응력에 의한 파손을 방지할 수 있습니다.
• 탁월한 광학적 특성: 석영 웨이퍼는 깊은 자외선(DUV)에서 근적외선(NIR)에 이르기까지 매우 넓은 스펙트럼 범위에서 투명합니다. 특히 단파장 자외선에 대한 투명성은 집적회로 형성에 사용되는 포토리소그래피 공정에서의 포토마스크 기판에 필수적이며, 오늘날 나노 규모의 트랜지스터 제작에 필요한 고해상도 패터닝이 가능하게 합니다.
• 우수한 전기 절연성: 석영 웨이퍼는 뛰어난 전기 절연체로서 전자 공정 및 장비에서 캐리어나 스페이서로 사용하기에 이상적이며, 단락 및 전기 간섭을 방지합니다.
• 탁월한 기계적 강성과 경도: 취성이 있지만 융융석영은 매우 단단하고 강성 있는 소재로 정밀한 공정을 위한 안정적이고 내구성 있는 플랫폼을 제공합니다.

석영 유리판의 적용:

석영 판은 반도체 제조, 광학 기기, 의료 장비 및 고온 환경 보호 등 다양한 분야에서 널리 사용됩니다. 이들은 내열성, 내식성, 높은 광투과율 등의 특성을 지닙니다.

• 반도체 제조

단결정 실리콘 성장 및 웨이퍼 가공(에칭, 확산, 산화 등의 공정)에는 석영 크루시블 및 석영 보트와 같은 핵심 소모품으로서 불순물 오염을 방지하기 위해 고순도(99.99% 이상)가 요구됩니다.

• 광학 및 레이저 분야

광학 기기: 렌즈, 색도계, 코팅된 보호 필름 등. 가시광선 투과율이 93% 이상이며 자외선에서 근적외선 파장 범위까지 투명함.

레이저 장비: 보호 창, 고온 관찰 창으로, 1100 ℃ 의 온도를 견딜 수 있으며 낮은 열팽창 계수를 가짐.

• 의료 장비

자외선 살균 장치: 석영의 자외선 투과성을 이용하여 소독.

내시경: 정밀한 광전달 요구 조건을 충족함.

고온 및 부식성 환경

화학 장비: 불화수소산 부식에 저항 가능하며 화학 기기 및 고온 반응기에 적합함.

항공우주: 용융석영 유리를 고온 창 재료로 사용.

• 기타 산업 응용 분야

세라믹 및 건축 자재: 세라믹 코어 및 쉘의 원자재로 사용되어 기계적 강도를 향상시킴.

전자 부품: 압전석영판이 석영 시계, 센서 등에 사용됨.

기술 사양