Plat Kaca Kuartz Lutsinar Berkilat Kelinian Tinggi Khusus untuk Semikonduktor

Takrif plat kaca kuarsa:

Plat kuarsa adalah bahan perindustrian khas yang diperbuat daripada silikon dioksida berkadar tinggi (dengan ketulenan ≥ 99.99%). Ia dihasilkan melalui proses peleburan, pemotongan dan penggilapan. Ia mempunyai kekerasan Mohs 7, boleh menahan suhu tinggi (dengan suhu penggunaan jangka panjang mencapai 1100 ℃), mempunyai pengembangan haba rendah, kestabilan haba yang tinggi serta sifat penebat elektrik yang sangat baik. Dalam keadaan normal, ia tidak berwarna dan telus, dengan ketelusan cahaya kelihatan melebihi 85%.

Kelebihan plat kaca kuarsa:

Plat kuartz adalah kaca teknikal industri khas yang diperbuat daripada silikon dioksida. Ia merupakan bahan asas yang sangat baik. Plat kuartz memiliki siri sifat fizikal dan kimia yang unggul, seperti:

• Ketahanan suhu tinggi. Suhu takat lembut kaca kuartz adalah lebih kurang 1730 ℃, dan ia boleh digunakan untuk jangka masa panjang pada 1100 ℃. Suhu penggunaan jangka pendek maksimum boleh mencapai 1450 ℃.
• Ketahanan kakisan. Kecuali asid hidrofluorik, kaca kuartz hampir tidak mengalami tindak balas kimia dengan bahan-bahan asid lain. Ketahanan asidnya adalah 30 kali ganda berbanding seramik dan 150 kali ganda berbanding keluli tahan karat. Terutamanya dari segi kestabilan kimia pada suhu tinggi, tiada bahan kejuruteraan lain yang dapat menandinginya.
• Kestabilan haba yang baik. Ia mempunyai pekali pengembangan haba yang sangat kecil bagi kaca, dan mampu menahan perubahan suhu yang drastik. Jika kaca kuartz dipanaskan hingga sekitar 1100 ℃ dan kemudian diletakkan dalam air sejuk, ia tidak akan retak.
• Prestasi penghantaran cahaya yang baik. Kepingan kuarsa mempunyai prestasi penghantaran cahaya yang sangat baik merentasi keseluruhan jalur spektrum cahaya, dengan ketelusan cahaya kelihatan melebihi 93%. Terutamanya dalam kawasan spektrum cahaya ultralembayung, ketelusan maksimum boleh mencapai lebih daripada 80%.

Ciri-ciri plat kaca kuarsa:

• Ketulenan Luar Biasa dan Sifat Kimia Tidak Reaktif: Wafer kuarsa berkadar tulen tinggi hampir tidak reaktif. Ia tidak bertindak balas dengan kebanyakan bahan kimia, termasuk asid agresif dan plasma yang digunakan dalam proses etching semikonduktor. Ini memastikan ia tidak mencemarkan proses atau bahan sensitif.
• Kestabilan Termal Tinggi dan Pengembangan Terma Rendah: Kuartz mempunyai salah satu pekali pengembangan terma terendah berbanding mana-mana bahan komersial. Ini bermakna ia mengalami perubahan dimensi yang minima apabila terdedah kepada turun naik suhu yang melampau, iaitu perkara biasa dalam proses seperti pengoksidaan terma dan deposit wap kimia dalam pembuatan semikonduktor. Kestabilan ini mencegah lenturan, salah jajaran, dan kegagalan akibat tekanan.
• Sifat Optik yang Sangat Baik: Wafer kuartz adalah lutsinar merentasi julat spektrum yang sangat luas, dari ultralembayung dalam (DUV) hingga inframerah dekat (NIR). Lutsinaran ini, khususnya terhadap cahaya UV panjang gelombang pendek, adalah penting untuk substrat fotomask dalam fotolitografi, iaitu proses yang digunakan untuk membentuk litar bersepadu. Ia membolehkan pengecorakan resolusi tinggi yang penting bagi penciptaan transistor berskala nano pada hari ini.
• Penebat Elektrik yang Tinggi: Sebagai penebat elektrik yang sangat baik, wafer kuartz adalah ideal untuk digunakan sebagai pembawa atau pemisah dalam proses dan peralatan elektronik, mencegah litar pintas dan gangguan elektrik.
• Kekukuhan Mekanikal dan Kekerasan yang Luar Biasa: Walaupun rapuh, kuartz lebur merupakan bahan yang sangat keras dan kaku, menyediakan platform yang stabil dan tahan lama untuk proses-proses halus.

Aplikasi plat kaca kuarsa:

Plat kuartz digunakan secara meluas dalam pembuatan semikonduktor, instrumen optik, peralatan perubatan, dan perlindungan persekitaran suhu tinggi, antara lain. Ia memiliki ciri-ciri seperti rintangan suhu tinggi, rintangan kakisan, dan ketelusan cahaya yang tinggi.

• Pembuatan semikonduktor

Untuk pertumbuhan silikon kristal tunggal, dan pemprosesan wafer (seperti penghakisana, resapan, pengoksidaan dan proses lain), sebagai barangan pakai utama seperti kelongsong kuartz dan botol kuartz, keperluan ketulenan tinggi (melebihi 99.99%) diperlukan bagi mengelakkan pencemaran bendasing.

• Bidang Optik dan Laser

Alat Optik: Kanta, kolorimeter, filem pelindung bersalut, dll. Ketelusan cahaya kelihatan melebihi 93%, dan telus dalam julat panjang gelombang ultraviolet hingga inframerah dekat.

Peralatan Laser: Tetingkap pelindung, tetingkap pemerhatian suhu tinggi, mampu menahan 1100 ℃ suhu dan mempunyai pekali pengembangan haba yang rendah.

• Peralatan Perubatan

Peranti Pensterilan Ultraviolet: Menggunakan ketelusan ultraviolet kuarsa untuk penyucian.

Endoskop: Memenuhi keperluan transmisi cahaya yang tepat.

Suhu tinggi dan persekitaran mudah rosak

Peralatan Kimia: Rintang kakisan asid hidrofluorik, sesuai untuk alat kimia dan reaktor suhu tinggi.

Aeroangkasa: Kaca kuarsa lebur digunakan sebagai bahan tetingkap suhu tinggi.

• Aplikasi Industri Lain

Seramik dan bahan binaan: Sebagai bahan mentah teras dan kulit seramik, meningkatkan kekuatan mekanikal.

Komponen Elektronik: Plat kuarsa piezoelektrik digunakan dalam jam kuarsa, sensor, dll.

Spesifikasi Teknikal