Захидалтын борын нитридын цагирган, борын нитридын деталь

1. Бор нитридийн савангийн үндсэн давуу тал нь тэдгээрийн онцгой дулаан зохицуулах чадавхид оршино. Энэ материал сайн дулаан дамжуулах чадвартай байдаг (ихэвчлэн 30-60 Вт/м·К хооронд байдаг бөгөөд зарим чиглэлт материалын хувьд илүү өндөр байж болно) ба халаасны эх үүсвэрийн орчмын дулааныг хурдан дамжуулж, тархаах боломжийг олгодог тул электрон багаж хэрэгсэл эсвэл өндөр температуртай төхөөрөмжийн хэт халах үед гэмтэхээс сэргийлдэг; мөн өндөр температуртай үед ч сайн цахилгааныг тусгаарлагч чанартай байдаг. "Өндөр дулаан дамжуулалт" ба "өндөр тусгаарлалт"-ын ийм ховор хослол нь их чадлын нягтаршсан электрон багаж хэрэгслүүд (жишээ нь IGBT, лазер) болон хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмж (жишээ нь цахилгаан статик асгач, халаагуурын суурь) дахь дулаан шингээлт ба тусгаарлалтын хоорондох эсрэг үйлчлэлийг шийдвэрлэхэд илүү дуртай сонголт болдог. Бор нитридийн саванг дулаан шингээгч тулгуур эсвэл тусгаарлагч дулаан дамжуулагч элемент болгон ашигласнаар тоног төхөөрөмжийн чадлын нягтыг, ажиллагааны тогтвортой байдлыг болон үйлчилгээний насныг эрс сайжруулах боломжтой.

2.Борон нитридийн цагирагт өндөр температуртай орчинд маш сайн тэсвэрт чанар байдаг. Энэ нь инерт хийн орчинд удаан хугацаагаар 1800℃-ийн өндөр температурыг тэсвэрлэх чадвартай бөгөөд агаарын орчинд 1200℃-аас дээш температурт тогтвортой ажиллах боломжтой. Түүний онцлог нь маш бага дулааны халалтын коэффициенттэй (2.0-6.5) × 10⁻⁶/℃ байхад оршино. Энэ нь түүнд дулааны гэнэт өөрчлөлтөнд тэсвэртэй байх маш сайн чанар олгоно. Өндөр температуртай орчноос хурдан хөргөсөн ч эсвэл мөчид өндөр температурт ашиглаж эхэлсэн ч, борон нитридийн цагираг нь хурдан температурын өөрчлөлтөөс үүсэх дулааны стресст үр дүнтэй эсэргүүцэж, трещин эсвэл хальсны салгалтыг сэргийлдэг. Энэ шинж чанар нь кристалл өсөлтийн печений дулааны талын деталиуд, металлын дулааны боловсруулалтын бэхэвлэг, давтан дулааны горим шаарддаг бусад хатуу нөхцөлд ашиглахад илүү тохиромжтой болгож, урт хугацааны найдвартай ажиллагааг хангана.

Энэ онцгой гүйцэтгэлийн хослол нь өндөр температуртай орчинд хурдан дулаан дамжуулах боломжийг олгох бөгөөд цахилгаан тусгаарлалтыг найдвартай хадгалж чаддаг. Хагас дамжуулагчийн технологийн явцад диффузын печений бэхэлгээ эсвэл плазмын тоног төхөөрөмжийн цахилгаан тусгаарлагчийн цагирган болон ашигладаг бөгөөд местэн хэт халааснаас үүдэлтэй технологийн хазайлтыг үр дүнтэй саатуулж, технологийн тогтвортой байдлыг хангана. Хоосон зай, өндөр температуртай орчинд борын нитридийн цагиргууд бүтцийн бүрэн байдлыг болон гүйцэтгэлийн тогтвортой байдлыг хадгалж чадаж, тоног төхөөрөмжинд зориулан урт хугацаагаар ашиглах боломжтой, найдвартай дулаан зохицуулах шийдэл санал болгодог бөгөөд тоног төхөөрөмжийн ажилласан хугацаа болон гарцыг илүү сайжруулдаг.

3.Зөвхийн борын нитридийн давхар бүтцийг суурь болгон, борын нитридын цагирган нь маш бага үрэлтийн коэффициенттой (0.2-0.4) бөгөөд өөрөө тослогдох гайхалтай чанартай. Энэ шинж чанар нь өндөр температур, хоолой зэрэг уламжлалт тослох материалыг ашиглаж болохгүй онцгой орчинд шингэн болон хатуу металл (алюмин, зэс, хайлсан ган), мөн хайлсан давсуудад идэвхжих чанар маш сайн тул металлургийн салбарт тасралтгүй хайлш хийх тусгаарлагч цагирга эсвэл шилний үйлдвэрлэлд хэлбэржүүлэх ороомог болон ашигладаг. Ингэснээр хайлшны элэгдлийг үр дүнтэй тодорхойлох, үйлдвэрлэлийн чанарын тогтвортой байдлыг хангах зэрэгт ашигтай.

4.Бусад өндөр үзүүлэлт бүхий керамиктай харьцуулахад борын нитридэн цагирагийн материал нь харьцангуй бага Моосийн хатуужил (ойролцоогоор 2) -той байдаг тул хэвийн боловсруулах арга замаар нарийвчлалтай машинд оруулан боловсруулж болно. Энэ шинж чанар нь борын нитридийн цагиргуудыг тодорхой хэрэглээний шаардлагад нийцүүлэн стандарт бус дотор диаметр, тусгай гулс, жигд бус хонхор зэрэг багтах янз бүрийн нарийн хэлбэр, нарийвчлалтай хэмжээстэй болгон боловсруулах боломжийг олгодог. Хагас дамжуулагчийн тоног төхөөрөмжийн нарийвчлалтай цахилгаан таслагч цагиргаас эхлээд судалгааны багажны тусгай хэсэг хүртэлх хэмжээний нарийвчлал, гадаргуугийн төгсгөлөөс шаардлагыг хангана. Энэхүү боловсруулалтын уян хатан чанар нь нарийн бүтцийн деталийн үйлдвэрлэлийн зардлыг, мөчлөгийг ихэд бууруулж, тусгай хэрэглээний нөхцөл байдлуудад найдвартай захидалт шийдэлүүдийг хангана.

5.Борон нитридийн цагирган нь түлхүүр үндсэн материал болох бөгөөд олон чиглэлийн дээд түвшний үйлдвэрт өргөн ашиглагддаг. Хагас дамжуулагчийн салбарт түүнийг диффузи ба процессын зууралтын татах болон плазмын шахалтын тоног төхөөрөмжийн суурь элемент болгон ашигладаг; Металлургийн салбарт тасралтгүй хаягт зориулсан салгагч цагирга болон ашиглагдана, ингэснээр хаягдсан бүтээгдэхүүний чанарыг үр дүнтэй сайжруулдаг; Агаарын болон космосын салбарт өндөр температуртай вакуум печенийн суурь болон дэмжлэгийн элемент болгон ашигладаг. Гадаадаас гадна борон нитридийн цагиргууд онцгой шилэн формжилт, найрмал материал боловсруулах, шинжлэх ухааны судалгааны тоног төхөөрөмж болон бусад нөхцөл байдалд өртөөшгүй үүрэг гүйцэтгэдэг. Түүний нэгдсэн гавьяатай талууд нь орчин үеийн үйлдвэрлэлийн технологийн хөгжилд туслах чухал материал болохын зэрэгцээ мэргэжлийн салбаруудын технологийн шинэчлэлд илүү их дэмжлэг үзүүлдэг.



Халуун шахсан Борон Нитрид

Пиролизийн Борон Нитрид