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カスタマイズされた窒化ホウ素リング、窒化ホウ素部品

1. 優れた熱安定性性能

2. 自己潤滑性による優れた作業性

3. 溶融および加工用途に最適な部品

紹介

1. 窒化ホウ素ロッドの主な利点は、その独自の熱管理能力にあります。これは優れた熱伝導性(通常30~60 W/m・Kの範囲で、配向性のある材料ではさらに高くなる場合もある)を持ち、発熱部からの熱を迅速に伝導・拡散させることで、局所的な過熱による電子機器や高温装置の故障を回避できます。同時に、優れた電気絶縁体でもあり、高温下でも良好な絶縁性能を維持します。この「高熱伝導性」と「高絶縁性」というまれな組み合わせにより、高電力密度電子デバイス(IGBT、レーザーなど)や半導体製造装置(静電チャック、ヒーターベースなど)において、放熱と絶縁の相反する要件を解決するための最適な材料となっています。窒化ホウ素ロッドを放熱ブラケットや絶縁的熱伝導部材として使用することで、装置の電力密度、運転安定性、および耐用年数を大幅に向上させることができます

2. 窒化ホウ素リングは高温環境で優れた安定性を示します。不活性雰囲気下では長時間1800℃の高温に耐えることができ、大気中でも1200℃以上で安定して使用可能です。その特徴は、非常に低い熱膨張係数(2.0~6.5)×10⁻⁶/℃にあり、これにより優れた耐熱衝撃性が備わっています。高温状態から急速に冷却される場合でも、あるいは即座に高温環境で使用開始された場合でも、窒化ホウ素リングは急激な温度変化による熱応力に効果的に耐え、割れや剥離を防ぎます。この特性により、結晶成長炉の熱場構成部品、金属の熱処理用治具など、頻繁に加熱・冷却を繰り返す過酷な環境での使用に特に適しており、長期的な信頼性を確保できます。

この独自の性能により、高温環境下で迅速に熱を伝導しつつ、信頼性の高い電気絶縁を維持できます。半導体プロセスにおける拡散炉の治具やプラズマ装置の絶縁リングとして使用することで、局所的な過熱によるプロセスのずれを効果的に回避し、プロセスの安定性を確保できます。真空高温環境においても、窒化ホウ素(BN)リングは構造的完全性と性能の安定性を保ち続け、装置に対して耐久性が高く信頼性の高い熱管理ソリューションを提供します。これにより、装置の使用寿命とプロセス歩留まりを大幅に向上させることができます。

3. 六方晶系窒化ホウ素の層状結晶構造に基づき、窒化ホウ素リングは非常に低摩擦係数(0.2~0.4)を持ち、優れた自己潤滑性能を示します。この特性により、高温や真空など従来の潤滑剤が使用できない特殊環境において、軸受やシールなどの可動部品に最適な材料となっています。同時に、窒化ホウ素リングはほとんどの溶融金属(アルミニウム、銅、溶鋼など)および溶融塩に対して優れた耐腐食性を有し、化学的性質も極めて安定です。冶金業界における連続鋳造用分離リングやガラス製造業界における成形金型として使用される際、溶融物による侵食に効果的に耐え、使用寿命を延ばし、製品品質の安定性を確保できます。

4.他の高性能セラミックスとは異なり、窒化ホウ素製リング材料は比較的低モース硬度(約2)であり、従来の加工方法で精密加工が可能です。この特性により、非標準の内径、特殊な溝形状、不規則な穴など、特定の用途に応じたさまざまな複雑な形状や精密な寸法に加工することが可能になります。半導体装置用の精密絶縁リングから研究機器用の特殊部品まで、厳密な寸法管理および表面仕上げ要求を達成できます。この加工の柔軟性により、複雑構造部品の製造コストと製造サイクルが大幅に削減され、特殊な使用環境に対して信頼性の高いカスタマイズソリューションを提供します。

5. 硼化窒素リングは主要な基本材料として、複数の高付加価値産業分野で広く使用されています。半導体産業では、拡散プロセス用のキャリアリングやプラズマエッチング装置の絶縁部品として利用されます。冶金産業では連続鋳造用の分離リングとして、鋳物の品質を効果的に向上させます。航空宇宙分野では、高温真空炉の絶縁部品や支持体として使用されます。さらに、特殊ガラス成形、複合材料加工、科学研究用実験装置など、さまざまな場面でも硼化窒素リングは不可欠な役割を果たしています。その優れた総合性能により、現代産業技術の発展を支える重要な材料基盤となり、各産業の技術革新に強力なサポートを提供しています。

Boron nitride ring 1.pngBoron nitride ring 2.png

熱間プレス硼化窒素

アイテム ユニット インデックス
熱伝導率(常温) ワ/m·k 45-50
熱膨張係数(25-700℃) 10⁻⁶/℃ 6.5-7.5
体積抵抗率(常温) ω・m >10¹²
耐電圧 10⁶ kV·m 2.5-4.0
モース硬度 - 2
誘電定数(Σ) - 3.8-4.3
曲げ強度(常温) mpa >35
圧縮強度(常温) mpa >200
密度 g/cm3 1.9-2.2
化学 組成 B+N % 99.5
酸素含有量 % <0.4
炭素含有量 % <0.02
働き環境温度 酸化雰囲気 850
真空 1800
慣性 2300


熱分解硼化窒素

アイテム ユニット インデックス
格子定数 μm a: 2.504×10⁻¹⁰; c: 6.692×10⁻¹⁰
見かけの密度 g/cm3 2.10–2.15 (板状); 2.15–2.19 (るつぼ)
ヘリウム透過率 cm³/秒 1×10⁻¹⁰
マイクロ硬度(クノープ)(ab面) N/mm² 691.88
容積抵抗性 ω・cm 3.11×10¹¹
引張強さ(力 || "C"方向) N/mm² 153.86
屈曲強度 (力 || "C"方向) N/mm² 243.63
(力 ⊥ "C"方向) N/mm² 197.76
弾性係数 N/mm² 235690
熱伝導性 ワ/m·k "a" 方向 "c" 方向
200℃ ワ/m·k 60 2.60
900℃ ワ/m·k 43.70 2.80
絶縁強度(室温) Kv/mm 56


Boron nitride ring 3.pngBoron nitride ring 4.png

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