פלנג' מזכוכית קוורץ שקוף מותאם אישית לתחום הסקמי-קונדקטור

פרטי המוצר

1. תהליך הייצור של פלנגות קוורץ:

1.1 בחירת חומרי הגלם : גבישי קוורץ טבעיים בעלי ניקיון גבוה או חול סיליקה סינטתי נבחרים כחומר המוצא. ריכוז הסיליקה בדרך כלל עולה על 99.9% כדי להבטיח תכונות עליונות.

1.2 התכה: חומר הגלם מחומם לטמפרטורה גבוהה מאוד (מעל 1700 °C) בכורת ואקום או אטמוספירה אינרטית (לרוב כור חשמלי או כור השראה) כדי להטיל אותו לקוורץ נוזלי צמיגי וחופשי מفقעות.

1.3 יציקה: הקוורץ המותך מוזרם לאחר מכן מעוצב לצורות גזרה באמצעות אחת משיטות הריבוי

1.4 יציקה: מזילים לתוך תבניות מגרפיט או חרסינה מדויקות.

1.5 יציקה צנטריפוגלית: מסובבים את התבנית כדי ליצור צורות גליליות חלולות שנעשות בהמשך עיבוד מכני.

1.6 דחיסה חמה/גימור: מכתימים את הבלוק של הקוורץ החם תחת לחץ לשם הדקיקה ויצירת צורה קרובה לזו הסופית.

1.7 התחממות: השפתים המוצלבות עוברות תהליך קירור מבוקר ואיטי במיכל התחממות. זה מפחית את המתח החום הפנימי, מונע התפצלות ומבטיח יציבות מבנית.

1.8 עיבוד מדויק: הבלוקים המוחמים מעובדים בקפידה בעזרת כלים מצפים בדיאמנט. כולל סגירה, חיתוך, קידוח וריפוד כדי להשיג את הממדים הסופיים, את איכות המשטח (לעיתים קרובות ברמה אופטית), את השטיחות ואת משטחי החסימה המדויקים ( למשל Ra < 0.4 μ מ' ).

1.9 ניקוי ובקרת איכות: ניקוי מחמיר (למשל באולטרסאונד או בניקוי בחומצה) מסיר זיהומים. כל שפה נבדקת בממדים, בחסרונות חזותיים (فقירות, חוסר אחידות) ובמאפיינים אופטיים. שיטות מתקדמות כמו אינטרפרומטריית לייזר בודקות שטיחות ומקבילות.

2. יתרונות של ציריות קוורץ:

2.1 יציבות תרמית יוצאת דופן: מקדם נמוך מאוד של התפשטות תרמית (~5.5 × 10 ⁻⁷ ⁄K) מהם עמידים מאוד בהלם תרמי. הם יכולים לסבול חימום וקירור מהירים מ-1000 °C לטמפרטורת החדר °2.2 עמידות בטמפרטורות גבוהות: מבלי להסדק.

יכולים לפעול באופן רציף בטמפרטורות עד 1100 °C °C ולזמן קצר עד 1300 °C , שומר על שלמות מבנית באזורים בהם מתכות ירפו או יתעוו.

2.3 טהרה כימית עליונה ופועמתות : יוצר מ-SiO טהור במיוחד ₂ , הם אינם חדירים ובעלי עמידות גבוהה בפני שחיקה על ידי רוב החומצות, ההלוגנים והחומרים הכימיים האגרסיביים (למעט חומצה פלואורידרית וחומצה פוספטית חמה). זה מונע זיהום בתהליכים רגישים.

2.4 תכונות אופטיות מעולות: שקיפות גבוהה בכל הספקטרום הרחב מאולטרה סגול עד אינפרה אדום קרוב. זה מאפשר ניטור חזותי של תהליכים, העברת אור אולטרה סגול והשכמה ביישומים לייזרים.

2.5 בידוד חשמלי יוצאי דופן: חוזק דיאלקטרי גבוה ומוליכות חשמלית נמוכה אפילו בטמפרטורות גבוהות, מה שהופך אותם למתאימים במיוחד ליישומים באלקטרוניקה ובמערכות ריק.

2.6 חוזק מכני וקשיחות גבוהים: למרות שהם שבירים, זכוכית מותכת  קוורץ יש עוצמה תחתית גבוהה ומשמר את צורתו  תחת עומס בטמפרטורות גבוהות, בניגוד לפולימרים רבים.

תאימות לריק מוחלט עליון (UHV) 2.7: חדירות גז נמוכה מאוד וקצב פליטה נמוך מאוד. כאשר ננקים כראוי, הם תורמים להישג ולשמירת סביבות ריק מוחלט עליון (UHV).

אורך חיים ארוך ויציבות ממדית 2.8: מתנגד לבלאי , לא מתדרדר או מזדקן בתנאים טיפוסיים, ומשמר מידות מדויקות לאורך זמן הודות לייציבותו.

יישומים עיקריים  יישומים : ייצור חומרים חשמליים (חדרי חקיקה, דיפוזיה, CVD/LPCVD), אופטיקת סיבים, אופטיקה מדויקת, מערכות לייזר, ציוד מעבדתי ואנליטי, זכוכיות תצוגה למחום גבוה, ותאורה متخصצת (מנורות scar discharge בעוצמה גבוהה).

3. תחומי יישום עיקריים ושימושים של פלנגות קוורץ

פלנגות קוורץ הן רכיבים קריטיים בתעשייה הדemanding בשל הצירוף הייחודי שלהן של תכונות. השימושים העיקריים והשימושים הספציפיים שלהן הם כדלקמן:

3.1 ייצור חצי מוליכים ואלקטרוניקה מיקרוסקופית

שימוש: כחלונות תצפית, קולטים של מיכלים, כניסות גז ויציאות אבחון בציוד לעיבוד וויפר.

ציוד מרכזי: מאכלים פלזמה, מקררים בכימיה אטמוספירית (CVD) ובלחץ נמוך (LPCVD), תנורי דיפוזיה ומכשירי שיבוץ יונים.

סיבה: הנקיות הגבוהה שלהן מונעת הזדמנות של וויפרי סיליקון, והשקיפות שלהן מאפשרת מעקב אחר תהליך בפועל.

3.2 תעשיית האופטיקה והפוטוניקה

שימוש: כחלונות קצה, גופי צינורות לייזר ורכיבי התקנה.

יישומים מרכזיים: מערכות לייזר בעוצמה גבוהה, מערכות אופטיות בתחום האולטרא-סגול והתת-אדום, תאי ספקטרופוטומטר ומראות טלסקופ אסטרונומי (עבור בסיסי משנה בעלי התפשטות תרמית נמוכה).

סיבה: העברה יוצאת דופן מהתחום האולטרא-סגול ועד לאינפרא-אדום ושינויים תרמיים מינימליים תחת אור עוצמתי.

3.3 עיבוד כימי בדרישות ניקיון גבוה ובלחץ נמוך

שימוש: כריפודים לממשקי תגובה, חלונות תצפית לנוזלים קורוזיביים ורכיבי חיבור במתקנים ניסיוניים.

תהליכים מרכזיים: טיפול בחומצות על-טהורות, גזי חומר וגופרית מיוחדת בטמפרטaturas גבוהות.

סיבה: חוסר פעילות כימית מעולה מבטיח טהרה של המוצר וمقاومת לתקיפה על ידי כל החומצות פרט לחומצה הידרופלואורית וחומצה פוספטית חמה.

3.4 תאורה מתקדמת

שימוש: ככיסה (נורה חיצונית) לנורות פריקה בזרקורים חזקים.

מוצרים מרכזיים: נורות זרחן כסילתי, נורות קשת זנון ונורות סטריליזציה באולטרה-סגול.

סיבה: מסוגל ל chịu טמפרטורות פעילות גבוהות במיוחד (>1000°C) ומעבירה אור UV בצורה יעילה.

3.5 מחקר מדעי וציוד אנליטי

שימוש: כחלונות עבור תאי ואקום, מחזיקי דגימות בתנורים ורכיבים בספקטרומטר מסות.

סביבות מרכזיות: מערכות של ריק גבוה מאוד (UHV), מיקרוסקופים אלקטרוניים ומדורים לדמיית חלל.

סיבה: שחרור זעום זעיר מאוד ויציבות ממדים גבוהה בתנאי ריק ומחזורי חום.

3.6 תהליכים תעשייתיים מיוחדים

שימוש: כחלונות מגן במדורים בטמפרטורות גבוהות (לדוגמה, מדורי צמיחת גבישים כמו Czochralski pullers) וכרכיבי זרימה בתהליך ייצור פרפורמות לסליל אופטי.

סיבה: שומר על בהירות ושלמות בתפעול מתמיד בטמפרטורות גבוהות, ומאפשר שליטה חזותית של התהליך.

מאפיינים טכניים

היסטוריית פיתוח

פטנטים ותעודה

אריזה

שירותים                                                                         

שאלה נפוצה