Kiváló optikai átlátszóság :
Több mint 90 % fényáteresztés uV-, látható és infravörös tartományban (180 nm–3500 nm)
Kiváló hőállóság:
A hőtágulási együtthatója majdnem nulla (0,55×10⁻⁶/°C) , ellenáll a hőhatásnak és az alakváltozásnak
Kiváló kémiai ellenállás:
Inert a legtöbb savval, lúggal és szerves oldószerrel szemben , ideális korrózív környezetekhez
Hővezetékonyság :
1,4 W/m·K, lehetővé téve a hatékony hőátadást
Maximális üzemi hőmérséklet :
1200 °C-ig folyamatos üzemelésre alkalmas , rövid távon akár 1750 °C-ig is ellenáll
Tisztaság:
99.99% nagyon tisztaságú olvadt kvarc, amely minimális szennyeződés-behatás biztosítását teszi lehetővé
Sűrűség:
2,2 g/cm³ , kiváló szerkezeti stabilitást nyújtva
Merevség:
5,3–6,5 a Mohs-skálán , kiváló karcolásgátlást biztosítva
Termékadatok
1. Kvartz flansok gyártási folyamata:
1.1 Nyersanyag-kiválasztás : Nagyon tisztaságú természetes kvarckristályok vagy szintetikus szilícium-dioxid homokot választanak ki kiindulási anyagnak. A szilícium-dioxid-tartalom általában meghaladja a 99,9%-ot a kiváló tulajdonságok biztosítása érdekében.
1.2 Olvadás: A nyersanyagot rendkívül magas hőmérsékletre melegítik (1700 °C felett °C) vakuumos vagy inaktív atmoszférájú kemencében (gyakran elektromos ellenállási vagy indukciós kemencében), hogy olvadt, buborékmentes kvarcüveggé olvasszák.
1.3 Formázás: Az olvadt kvarcot ezután formázott peremekké alakítják többféle módszer egyikével
1.4 Öntés: Öntés pontosan megmunkált grafit- vagy kerámiaformákba.
1.5 Centrifugális öntés: A forma forgatása a kialakításhoz üreges hengeres alakzatok létrehozására, amelyeket később megmunkálnak.
1.6 Meleg sajtolás/befejezés: A melegített kvarc nyersdarabot nyomás alatt kovácsolják a sűrűsödés és a közel-kész alakzat eléréséhez.
1.7 Hőkezelés (lángolás): A kialakított peremeket ellenőrzött, lassú hűtési folyamaton veszik át egy lángoló kemencében. Ez megszünteti a belső hőfeszültséget, megelőzve a repedéseket és biztosítva a szerkezeti stabilitást.
1.8 Pontos megmunkálás: A lehűtött nyersdarabokat gondosan megmunkálják gyémántbevonatos szerszámokkal. Ez a köszörülést, vágást, fúrást és csiszolást is magában foglalja, hogy elérjék a végső méreteket, felületi minőséget (gyakran optikai minőségű), síkságot és pontos tömítési felületeket ( pl. Ra < 0,4 μ m ).
1.9 Tisztítás és minőségellenőrzés: Szigorú tisztítás (pl. ultrahangos, savas tisztítás) eltávolítja a szennyeződéseket. Minden flanszt méretellenőrzésnek, vizuális hibák (buborékok, idegen anyagok) és optikai tulajdonságok vizsgálatának vetnek alá. Fejlett módszerek, például lézerinterferometria segítségével ellenőrzik a síkságot és párhuzamosságot.
2. A kvarcflanszek előnyei:
2.1 Kiváló hőállóság: Rendkívül alacsony hőtágulási együttható (~5,5 × 10 ⁻⁷ ⁄K) ezáltal kiválóan ellenállnak a hőmérséklet-ingereknek. Képesek elviselni gyors felmelegedést és lecsökkenést 1000 °°C-ról szobahőmérsékletre repedés nélkül.
2.2 Magas hőmérséklet-állóság: Folyamatosan működhetnek olyan hőmérsékleteken legfeljebb 1100 °°C-os hőmérsékleten, rövid ideig akár 1300 °C °C-ig, megtartva szerkezeti integritásukat ott, ahol a fémek megpuhulnának vagy deformálódnának.
2.3 Kiváló kémiai tisztaság és inaktivitás : Magas tisztaságú SiO ₂ -ból készülnek, nem porózusak, és nagyon ellenállnak a legtöbb sav, halogén és agresszív kémiai anyag (kivéve hidrogén-fluorid és forró foszforsav) korróziójának. Ez megakadályozza a szennyeződést érzékeny folyamatok során.
2.4 Kiváló optikai tulajdonságok: Magas átláthatóság széles spektrumban, az UV-től a közeli infravörös tartományig. Ez lehetővé teszi a vizuális folyamatfigyelést, az UV-áteresztést és lézeralkalmazásokban való használatot.
2.5 Kiváló elektromos szigetelés: Magas dielektromos szilárdság és alacsony elektromos vezetőképesség még emelt hőmérsékleten is, ami ideálissá teszi félvezető- és vákuumalkalmazásokhoz.
2.6 Nagyon magas mechanikai szilárdság és merevség: Bár törékeny, az olvasztott kvarc rendelkezik magas nyomási erő és megtartja alakját terhelt állapotban magas hőmérsékleten, a sok polimerrel ellentétben.
2.7 Ultra magas vákuum kompatibilitás: Rendkívül alacsony gáztömörség és gázfejlődési arány. Megfelelő előkészítés után hozzájárulnak az extrém vákuum (UHV) környezet eléréséhez és fenntartásához környezetekhez.
2.8 Hosszú élettartam és méretstabilitás: Ellenáll a időjárásnak , nem bomlik le vagy öregszik tipikus körülmények között, és méreteit hosszú ideig megőrzi stabilitása miatt.
2.9 Fő Alkalmazások : Hal IconData fabrication (maratási, diffúziós, CVD/LPCVD kamrák), optikai szálak, precíziós optika, lézerrendszerek, laboratóriumi és analitikai berendezések, magas hőmérsékletű megfigyelő üvegek, valamint speciális világítástechnika (nagy intenzitású kisüléses lámpák).
3. A kvarcflansok fő alkalmazási területei és felhasználási területei
A kvarcflansok kritikus alkatrészek a követelményes iparágakban, egyedülálló tulajdonságaik kombinációja miatt. Fő alkalmazásaik és specifikus felhasználásuk a következők:
3.1 Félvezető- és mikroelektronikai gyártás
Felhasználás: Nézőablakok, kameraliningek, gázbeömlők és diagnosztikai nyílások gyártóbérletekben.
Kulcsberendezések: Plazmaetcherek, kémiai gőzlerakódásos (CVD) és alacsony nyomású CVD (LPCVD) reaktorok, diffúziós kemencék és ionimplantálók.
Indok: Tisztaságuk megakadályozza a szilíciumlapkák szennyeződését, átlátszóságuk pedig lehetővé teszi a folyamat közbeni figyelést.
3.2 Optikai és fotonikai iparágak
Felhasználás: Végablakok, lézer csőházak és rögzítőalkatrészek.
Kulcsalkalmazások: Nagyteljesítményű lézerrendszerek, UV- és IR-optikai rendszerek, spektrofotométer cellák és csillagászati távcsőtükör-alapanyagok (alacsony hőtágulású alapanyagokhoz).
Indok: Kiváló áteresztőképesség az UV-től az IR-ig, valamint minimális hő okozta torzítás nagy intenzitású fény hatására.
3.3 Nagyon tisztaságú/alacsony nyomású kémiai folyamatok
Használat: Reaktor bélelőként, látóüvegként maró hatású folyadékokhoz és csatlakozóalkatrészként kísérleti üzemekben.
Fő folyamatok: Ultratiszta savak, halogéngázok és magas hőmérsékletű speciális vegyi anyagok kezelése.
Ok: Kiváló kémiai inaktivitása biztosítja a termék tisztaságát, és ellenáll az összes savnak, kivéve a hidrogén-fluorid-ot és a forró foszforsavat.
3.4 Fejlett világítástechnika
Használat: Magas intenzitású kisülőlámpák burkolataként (külső izzó).
Fő termékek: Higanygőzlámpák, xenon ívlámpák és UV sterilizáló lámpák.
Indok: Kiválóan ellenáll a rendkívül magas üzemelési hőmérsékleteknek (>1000°C) és hatékonyan átereszti az UV-fényt.
3.5 Tudományos kutatás és analitikai műszerek
Használat: Vákuumkamrák ablakaiként, mint mintatartók kemencékben és tömegspektrométerek alkatrészei.
Kulcskörnyezetek: Extrém vákuum (UHV) rendszerek, elektronmikroszkópok és űrszimulációs kamrák.
Ok: Rendkívül alacsony gázkibocsátás és magas méretstabilitás vákuum és hőciklus hatására.
3.6 Speciális ipari folyamatok
Alkalmazás: Védőlencseként magas hőmérsékletű kemencékben (pl. kristálynövesztő kemencék, mint a Czochralski-húzóberendezések) és áramlási elemekként optikai szál előtestgyártásban.
Ok: Megőrzi átlátszóságát és integritását folyamatos magas hőmérsékletű üzem közben, lehetővé téve a folyamat vizuális ellenőrzését.
Műszaki specifikációk
Tulajdonság tartalma |
Tulajdonság index |
Sűrűség |
2,2×103kg/cm³ |
Szilárdságot |
580KHN100 |
Húzószilárdság |
4.9×107Pa(N/ ㎡) |
Nyomásérzetlenség |
>1,1×109Pa |
Hőmérsékleti tágulási együttható |
5,5×10-7cm/cm℃ |
Hővezetékonyság |
1,4W/m℃ |
Fajlagos hő |
670J/kg℃ |
Puhulási pont |
1680℃ |
Edzési pont |
1215℃ |
Fejlődéstörténet
Szabadalmak és tanúsítványok
Csomagolás
Szolgáltatások
GYIK
Hőálló kordierit-mullit kerámiából készült továbbító lemez kemencékhez
Alumínium-oxid kerámiacsavar Kerámiacsavar
Alumínium védőcsövek magas hőmérsékleten történő korrózióállóságért olvadt acélhoz
Alumínium-kerámia gyűrűk, nagy pontosságú szűrés és kémiai ellenállás vízkezeléshez
EN
