Tilpasset gennemsigtig kvartsglasflange til halvledere

Produktinformation

1. Fremstillingsproces for kvartsflanger:

1.1 Råmaterialevalg : Højren kvartskrystaller eller syntetisk kvartssand vælges som udgangsmateriale. Kvartholdigheden overstiger typisk 99,9 % for at sikre fremragende egenskaber.

1.2 Smeltning: Udgangsmaterialet opvarmes til en ekstremt høj temperatur (over 1700 °C) i en vakuum- eller inaktiv-atmosfæreovn (ofte en elektrisk modstands- eller induktionsovn), så det smeltes til en viskøs, boble-fri kvartsmasse.

1.3 Formning: Den smeltede kvarts omformes derefter formet til flanger ved hjælp af én af flere metoder

1.4 Støbning: Hældning i præcisionsgrafit- eller keramiske støbeforme.

1.5 Centrifugalstøbning: Drejning af formen til fremstilling af hule cylindriske former, som senere bearbejdes.

1.6 Varmforgning/afslutning: Foring af den opvarmede kvartsblank under tryk til tætning og næsten-nettoformning.

1.7 Glødning: De formede flanger gennemgår en kontrolleret, langsom afkølingsproces i en glødovn. Dette fjerner indre termiske spændinger, forhindrer revner og sikrer strukturel stabilitet.

1.8 Præcisionsbearbejdning: De glødede blanke bearbejdes omhyggeligt ved brug af diamantbelagte værktøjer. Dette omfatter slibning, skæring, boring og polering for at opnå de endelige mål, overfladekvalitet (ofte optisk kvalitet), planhed og præcise tætningsflader ( f.eks. Ra < 0,4 μ herrer stræk jeans ).

1,9 Rengøring og kvalitetsinspektion: Strenge rengøringsmetoder (f.eks. ultralydsrengøring, sydrengøring) fjerner forureninger. Hver flange inspiceres for mål, synlige fejl (bobler, inklusioner) og optiske egenskaber. Avancerede metoder som laserinterferometri kontrollerer planhed og parallelitet.

2. Fordele ved kvartsflanger:

2,1 Fremragende termisk stabilitet: Ekstremt lav termisk udvidelseskoefficient (~5,5 × 10 ⁻⁷ ⁄K) gør dem meget modstandsdygtige over for termisk chok. De kan tåle hurtig opvarmning og afkøling fra 1000 °°C til stuetemperatur uden at revne.

2.2 Højtemperaturbestandighed: Kan fungere kontinuerligt ved temperaturer op til 1100 °C og kortvarigt op til 1300 °C , mens de bibeholder deres strukturelle integritet, hvor metaller ville bløde eller krybe.

2.3 Fremragende kemisk renhed og inaktivitet : Fremstillet af højren SiO 2 , er de ikke-porøse og meget modstandsdygtige over for korrosion fra de fleste syrer, halogener og aggressive kemikalier (undtagen fluorid-syre og varm fosforsyre). Dette forhindrer forurening i følsomme processer.

2.4 Fremragende optiske egenskaber: Høj gennemsigtighed det er en meget vigtig del af den europæiske energipolitik. Dette gør det muligt at visuelt overvåge processer, UV-overførsel og brug i laserapplikationer.

2.5 Fremragende elektrisk isolering: Høj dielektrisk styrke og lav elektrisk ledning det er ideelt til halvledere og vakuum.

2.6 Høj mekanisk styrke og stivhed: Mens skrøbelig, smeltet  kvarts har høj kompressionsstyrke og bevarer sin form  under belastning ved høje temperaturer, i modsætning til mange polymerer.

2.7 Ultrahøj vakuumkompatibilitet: Ekstremt lav gaspermeabilitet og udgasning. Når de er bagt ordentligt, bidrager de til at opnå og opretholde et meget højt vakuum (UHV) miljøer.

2.8 Lang levetid og dimensional stabilitet: Modstår vejrpåvirkning , forringes ikke eller aldrer under almindelige forhold og opretholder præcise dimensioner over tid på grund af sin stabilitet.

2.9 Primære  Anvendelsesområder : Halvlederfremstilling (ætsning, diffusion, CVD/LPCVD-kamre), fiberoptik, præcisionsoptik, lasersystemer, laboratorie- og analyseudstyr, højtemperatur-gennemsigtige glasplader og specialbelysning (højintensitetsudladningslamper).

3. Primære anvendelsesområder og brug af kvartsflanger

Kvartsflanger er kritiske komponenter i krævende industrier på grund af deres unikke kombination af egenskaber. Deres primære anvendelser og specifikke brug er som følger:

3.1 Halvleder- og mikroelektronikfremstilling

Anvendelse: Som betragtningsport, kammerforinger, gasindløb og diagnosticeringsport i waflerbejdende udstyr.

Nøgleudstyr: Plasmaætsere, kemisk dampaflejringsreaktorer (CVD) og lavtryks-CVD (LPCVD) reaktorer, diffusionsovne og ionimplantere.

Årsag: Deres renhed forhindrer forurening af siliciumwafler, og deres gennemsigtighed tillader procesovervågning under drift.

3.2 Optiske og fotoniske industrier

Anvendelse: Som endevinduer, lasertrørhousing og monteringskomponenter.

Primære anvendelser: Højtydende lasersystemer, UV- og IR-optiske systemer, spektrofotometerceller og astronomiske teleskoppejle (til substrater med lav varmeudvidelse).

Årsag: Fremragende transmission fra UV til IR og minimal termisk forvrængning ved højintensitetslys.

3.3 Kemisk forarbejdning med høj renhed/lavt tryk

Anvendelse: Som reaktorforinger, synsglas for ætsende væsker og tilslutningskomponenter i pilotanlæg.

Nøgleprocesser: Håndtering af ultrarene syrer, halogengasser og højtemperatur-kemikalier til specialformål.

Årsag: Fremragende kemisk inaktivitet sikrer produktrenhed og modstår angreb fra alle syrer undtagen fluorhydridsyre og varm fosforsyre.

3.4 Avanceret belysning

Anvendelse: Som kappe (ydre pære) til højintensitetsladningslamper.

Nøgleprodukter: Kviksølvdamplamper, xenonbuelamper og UV-steriliseringslamper.

Årsag: Tåber ekstremt høje driftstemperaturer (>1000°C) og transmitterer UV-lys effektivt.

3.5 Videnskabelig forskning og analytisk instrumentering

Anvendelse: Som vinduer til vakuumkammer, prøveholdere i ovne og komponenter i masse-spektrometre.

Nøgleområder: Ultrahøj vakuum (UHV) systemer, elektronmikroskoper og rum-simuleringskammer.

Årsag: Yderst lav udgassning og høj dimensionsstabilitet under vakuum og termisk cyklus.

3.6 Specialiserede industrielle processer

Anvendelse: Som beskyttende synsporter i højtemperaturovn (f.eks. krystalvækstovne som Czochralski-trækkere) og flowkomponenter i fremstilling af fiberoptiske præformer.

Årsag: Bevarer gennemsigtighed og integritet ved kontinuerlig drift ved høj temperatur, hvilket muliggør visuel kontrol af processen.

Tekniske specifikationer

Udviklingshistorie

Patenter og certificeringer

Pakning

Tjenester                                                                         

Ofte stillede spørgsmål