Flange kaca kuarsa bening yang disesuaikan untuk semikonduktor

Detail produk

1. Proses Produksi Flange Kuarsa:

1.1 Pemilihan Bahan Baku : Kristal kuarsa alami berke-murnian tinggi atau pasir silika sintetis dipilih sebagai bahan awal. Kandungan silika biasanya melebihi 99,9% untuk memastikan sifat unggul.

1.2 Peleburan: Bahan baku dipanaskan hingga suhu sangat tinggi (di atas 1700 °C) dalam tungku vakum atau atmosfer inert (sering kali tungku resistansi listrik atau tungku induksi) untuk meleburkannya menjadi kuarsa cair kental bebas gelembung.

1.3 Pembentukan: Kuarsa cair tersebut kemudian bentuk dibentuk menjadi flens menggunakan salah satu dari beberapa metode

1.4 Pencetakan: Dituangkan ke dalam cetakan grafit presisi atau cetakan keramik.

1.5 Pengecoran Sentrifugal: Memutar cetakan untuk membentuk bentuk silindris berongga yang kemudian dimesin.

1.6 Penekanan Panas/Penyelesaian: Menempa benda kerja kuarsa yang dipanaskan di bawah tekanan guna meningkatkan kepadatan dan membentuk hampir sesuai bentuk akhir.

1.7 Pemanasan Ulang (Annealing): Flens yang telah dibentuk menjalani proses pendinginan terkendali dan lambat dalam tungku pemanasan ulang. Proses ini mengurangi tegangan termal internal, mencegah retak, serta menjamin stabilitas struktural.

1.8 Pemesinan Presisi: Benda kerja hasil pemanasan ulang dimesin secara cermat menggunakan alat berlapis berlian. Ini mencakup penggilingan, pemotongan, pengeboran, dan pemolesan untuk mencapai dimensi akhir, kehalusan permukaan (sering kali berkualitas optik), kerataan, dan permukaan penyegelan yang presisi ( misalnya, Ra < 0,4 μ m ).

1.9 Pembersihan & Inspeksi Kualitas: Pembersihan ketat (misalnya, ultrasonik, pembersihan asam) menghilangkan kontaminan. Setiap flens diperiksa dari segi dimensi, cacat visual (gelembung, inklusi), dan sifat optik. Metode canggih seperti interferometri laser memeriksa kerataan dan kesejajaran.

2. Keunggulan Flens Kuarsa:

2.1 Stabilitas Termal Luar Biasa: Koefisien ekspansi termal sangat rendah (~5,5 x 10 ⁻⁷ ⁄K) membuatnya sangat tahan terhadap kejut termal. Mereka mampu menahan pemanasan dan pendinginan cepat dari 1000 °°C hingga suhu ruangan tanpa retak.

2.3 Ketahanan Suhu Tinggi: Dapat beroperasi terus-menerus pada suhu hingga 1100 °C dan sesaat hingga 1300 °C , mempertahankan integritas struktural di mana logam akan melunak atau merayap.

2.3 Kemurnian Kimia Unggul & Ketidakaktifan : Terbuat dari SiO berkualitas tinggi 2. , mereka tidak berpori dan sangat tahan terhadap korosi oleh sebagian besar asam, halogen, dan bahan kimia agresif (kecuali asam fluorida dan asam fosfat panas). Ini mencegah kontaminasi dalam proses sensitif.

2.4 Sifat Optik Unggul: Tingkat transparansi tinggi di spektrum yang luas dari UV hingga inframerah dekat. Hal ini memungkinkan pemantauan proses visual, transmisi UV, dan penggunaan dalam aplikasi laser.

2.5 Isolasi Listrik yang Luar Biasa: Kekuatan dielektrik tinggi dan konduktivitas listrik rendah bahkan pada suhu tinggi, membuat mereka ideal untuk aplikasi semikonduktor dan vakum.

2.6 Kekuatan & Ketahanan Mekanis Tinggi: Sementara rapuh, meleleh  kuarsa memiliki kekuatan kompresi tinggi dan mempertahankan bentuknya  di bawah beban pada suhu tinggi, tidak seperti banyak polimer.

2.7 Kompatibilitas Vakuum Ultra-High: Permeabilitas gas yang sangat rendah dan tingkat outgassing. Ketika dipanggang dengan benar, mereka berkontribusi untuk mencapai dan mempertahankan vakum ultra-tinggi (UHV) lingkungan.

2.8 Masa Pakai Panjang & Stabilitas Dimensi: Tahan terhadap pelapukan , tidak mengalami degradasi atau penuaan dalam kondisi biasa, serta mempertahankan dimensi yang presisi seiring waktu berkat stabilitasnya.

2.9 Utama  Aplikasi : Fabrikasi semikonduktor (ruang etsing, difusi, CVD/LPCVD), serat optik, optik presisi, sistem laser, peralatan laboratorium dan analitis, kaca pengintai tahan suhu tinggi, serta pencahayaan khusus (lampu pelepasan intensitas tinggi).

3. Bidang Aplikasi Utama dan Penggunaan Flange Kuarsa

Flensa kuarsa merupakan komponen penting dalam industri yang menuntut karena kombinasi unik sifat-sifatnya. Aplikasi utama dan penggunaan khususnya adalah sebagai berikut:

3.1 Manufaktur Semikonduktor & Mikroelektronika

Penggunaan: Sebagai jendela pengintai, pelapis ruang, saluran masuk gas, dan port diagnostik dalam peralatan pemroses wafer.

Peralatan Utama: Mesin etsa plasma, reaktor Deposisi Uap Kimia (CVD) dan CVD Tekanan Rendah (LPCVD), tungku difusi, dan implanter ion.

Alasan: Kemurnian mereka mencegah kontaminasi wafer silikon, dan transparansinya memungkinkan pemantauan proses secara langsung.

3.2 Industri Optik & Fotonik

Penggunaan: Sebagai jendela ujung, rumah tabung laser, dan komponen pemasangan.

Aplikasi Utama: Sistem laser berdaya tinggi, sistem optik UV dan IR, sel spektrofotometer, dan cermin teleskop astronomi (untuk substrat dengan ekspansi termal rendah).

Alasan: Transmisi luar biasa dari UV hingga IR dan distorsi termal minimal di bawah cahaya intensitas tinggi.

3.3 Pemrosesan Kimia Berke-murnian Tinggi/Bertekanan Rendah

Penggunaan: Sebagai lapisan reaktor, kaca pengintai untuk fluida korosif, dan komponen penghubung di pabrik percobaan.

Proses Utama: Penanganan asam ultramurni, gas halogen, dan bahan kimia khusus bersuhu tinggi.

Alasan: Ketidakreaktifan kimia yang unggul memastikan kemurnian produk dan tahan terhadap serangan semua asam kecuali asam fluorida dan asam fosfat panas.

3.4 Penerangan Lanjutan

Penggunaan: Sebagai selubung (bohlam luar) untuk lampu pelepasan intensitas tinggi.

Produk Utama: Lampu uap merkuri, lampu busur xenon, dan lampu sterilisasi UV.

Alasan: Tahan terhadap suhu operasi yang sangat tinggi (>1000°C) dan meneruskan cahaya UV secara efisien.

3.5 Penelitian Ilmiah dan Instrumentasi Analitis

Penggunaan: Sebagai jendela untuk ruang hampa udara, dudukan sampel dalam tungku, dan komponen dalam spektrometer massa.

Lingkungan Utama: Sistem Vacuum Ultra-Tinggi (UHV), mikroskop elektron, dan ruang simulasi luar angkasa.

Alasan: Outgassing yang sangat rendah serta stabilitas dimensi tinggi di bawah kondisi vakum dan siklus termal.

3.6 Proses Industri Khusus

Penggunaan: Sebagai jendela pengaman pada tungku suhu tinggi (misalnya tungku pertumbuhan kristal seperti Czochralski pullers) dan komponen aliran dalam pembuatan preform serat optik.

Alasan: Mempertahankan kejernihan dan integritas selama operasi suhu tinggi terus-menerus, memungkinkan pengawasan visual terhadap proses.

Spesifikasi Teknis

Sejarah Pengembangan

Paten dan Sertifikasi

Kemasan

Layanan                                                                         

Pertanyaan Umum