Prispôsobený priehľadný kvartový sklený prírubový spoj pre polovodičový priemysel

Detaily výrobku

1. Výrobný proces kremeňových prírub:

1.1 Výber surovín : Kryštály prírodného kremičitá s vysokou čistotou alebo syntetický kremičitý piesok sa používajú ako východiskový materiál. Obsah kremíka zvyčajne presahuje 99,9 %, aby sa zabezpečili vynikajúce vlastnosti.

1.2 Tavenie: Surovinu sa zohreje na veľmi vysokú teplotu (nad 1700 °C) v peci s vakuumom alebo inertným plynom (často elektrická odporová alebo indukčná pec), aby sa roztavila na viskóznu, bezbublinovú kvapalnú kremennú hmotu.

1.3 Formovanie: Roztavenú kremennú hmotu sa potom tvarované formuje do prírub pomocou niekoľkých metód

1.4 Formovanie: Liatie do presných grafitových alebo keramických foriem.

1.5 Odstreďovacie liatie: Otáčanie formy na vytvorenie dutých valcovitých tvarov, ktoré sa neskôr obrážajú.

1.6 Horúce lisovanie/dokončovanie: Kovanie zahriateho kremeňového polotovaru pod tlakom za účelom zhustenia a tvorenia tvaru blízkeho konečnému tvaru.

1.7 žíhanie: Vyrobené príruby prechádzajú kontrolovaným, pomalým chladením v žíhacej peci. Toto odstraňuje vnútorné tepelné napätie, čím sa zabráni trhlinám a zabezpečí sa štruktúrna stabilita.

1.8 Presná obrábanie: Žiarené polotovary sa dôkladne obrábajú pomocou nástrojov s diamantovým povlakom. Zahŕňa to broušenie, režanie, vŕtanie a leštenie, aby sa dosiahli konečné rozmery, povrchová úprava (často optického stupňa), rovnosť a presné tesniace plochy ( napr. Ra < 0,4 μ m ).

1.9 Čistenie a kontrola kvality: Dôkladné čistenie (napr. ultrazvukové, kyselinové) odstraňuje nečistoty. Každá prírubka sa kontroluje z hľadiska rozmerov, vizuálnych chýb (bubliny, inklúzie) a optických vlastností. Pokročilé metódy, ako interferometria pomocou laseru, skúmajú rovnosť a rovnobežnosť.

2. Výhody kvartsových prírub:

2.1 Vynikajúca tepelná stabilita: Extrémne nízky koeficient tepelnej rozťažnosti (~5,5 × 10 ⁻⁷ ⁄K) čo ich robí vysokej odolnosti voči tepelnému šoku. Vydržia rýchle zahrievanie a ochladzovanie z 1000 °°C na izbovú teplotu bez prasknutia.

2.2 Odolnosť vo vysokých teplotách: Môžu prevádzkovať nepretržite pri teplotách až do 1100 °°C a krátkodobo až do 1300 °C °C a zachovávajú štrukturálnu celistvosť tam, kde sa kovové materiály zmäkčujú alebo deformujú creepom.

2.3 Vynikajúca chemická čistota a neaktívnosť : Vyrobené z vysokočistého SiO ₂ , sú nepriepustné a vysoce odolné voči korózii väčšinou kyselín, halogénom a agresívnym chemikáliám (s výnimkou kyseliny fluorovodíkovej a horúcej kyseliny fosforečnej). To zabraňuje kontaminácii citlivých procesov.

2.4 Vynikajúce optické vlastnosti: Vysoká priesvitnosť v širokom spektre od UV do blízkeho infračerveného žiarenia. To umožňuje vizuálny monitorovanie procesov, prenos UV žiarenia a použitie v laserových aplikáciách.

2.5 Vynikajúca elektrická izolácia: Vysoká dielektrická pevnosť a nízka elektrická vodivosť aj pri zvýšených teplotách, čo ich robí ideálnymi pre polovodičové a vysokovákuové aplikácie.

2.6 Vysoká mechanická pevnosť a tuhosť: Hoci krehký, fúzovaný  kremeň má vysoká kompresná pevnosť a udržiava svoj tvar  pri zaťažení pri vysokých teplotách, na rozdiel od mnohých polymérov.

2.7 Kompatibilita s ultra-vysokým výkonom vakua: Extremne nízka priepustnosť plynov a rýchlosť odplynovania. Pri správnom vyhrievaní prispievajú k dosiahnutiu a udržaniu ultra-vysokého výkonu vakua (UHV) prostredia.

2.8 Dlhá životnosť a rozmerná stabilita: Odolný voči poveternostným vplyvom , nezhoršuje sa ani nestarnie za bežných podmienok a udržiava presné rozmery v čase vďaka svojej stabilite.

2.9 Hlavné  Použitie : Výroba polovodičov (komory na leptanie, difúziu, CVD/LPCVD), optické vlákna, presná optika, laserové systémy, laboratórne a analytické zariadenia, pozorovacie okná pre vysoké teploty a špeciálne osvetlenie (výbojové lampy vysokého výkonu).

3. Hlavné oblasti použitia a aplikácie kvartsových prírub

Kvapľové príruby sú kritické komponenty v náročných odvetviach vďaka ich jedinečnému zoskupeniu vlastností. Ich hlavné aplikácie a konkrétne použitia sú nasledovné:

3.1 Výroba polovodičov a mikroelektroniky

Použitie: Ako pozorovacie okienka, vložky komôr, prívody plynov a diagnostické porty v zariadeniach na spracovanie waferov.

Kľúčové zariadenia: Plazmové leptacie zariadenia, reaktory pre chemické depozície z plynného stavu (CVD) a nízkotlakovej CVD (LPCVD), difúzne pece a iontové implantátory.

Dôvod: Ich čistota zabraňuje kontaminácii kremíkových waferov a ich priehľadnosť umožňuje sledovanie procesu v reálnom čase.

3.2 Optický a fotonický priemysel

Použitie: Ako koncové okienka, ochranné rúry laserových trubíc a upevňovacie komponenty.

Kľúčové aplikácie: Silné laserové systémy, UV a IR optické systémy, kyvety pre spektrofotometre a zrkadlá astronomických ďalekohľadov (pre substráty s nízkym tepelným rozťažením).

Dôvod: Vynikajúca priepustnosť od UV po IR oblasť a minimálne tepelné skreslenie pri intenzívnom svetle.

3.3 Chemické spracovanie s vysokou čistotou a nízkym tlakom

Použitie: Ako vložky reaktorov, spárované sklá pre agresívne tekutiny a spojovacie komponenty v skúšobných zariadeniach.

Kľúčové procesy: Manipulácia s ultracistými kyselinami, halogénovými plynmi a špeciálnymi chemikáliami pri vysokých teplotách.

Dôvod: Vynikajúca chemická inertnosť zabezpečuje čistotu produktu a odolnosť voči útoku všetkých kyselín okrem fluórovodíkovej a horúcej fosforečnej.

3.4 Pokročilé osvetlenie

Použitie: Ako obal (vonkajšia žiarovka) pre výbojky s vysokou intenzitou svetla.

Kľúčové produkty: Ortuťové výbojky, xenónové oblúkové lampy a UV sterilizačné lampy.

Dôvod: Vydrží extrémne vysoké prevádzkové teploty (>1000°C) a efektívne prenáša UV svetlo.

3.5 Vedecký výskum a analytické prístroje

Použitie: Ako okná vákuových komôr, držiaky vzoriek do pecí a komponenty hmotnostných spektrometrov.

Kľúčové prostredia: systémy ultra vysokého vákua (UHV), elektrónové mikroskopy a komory na simuláciu vesmírneho prostredia.

Dôvod: extrémne nízke výparovanie a vysoká rozmerná stabilita vo vákuu a pri tepelných cykloch.

3.6 Špeciálne priemyselné procesy

Použitie: ako ochranné pozorovacie okná vo vysokoteplotných peciach (napr. pece na rast kryštálov typu Czochralski) a tokové komponenty pri výrobe predforiem pre optické vlákna.

Dôvod: zachováva priehľadnosť a integritu pri nepretržitej prevádzke za vysokých teplôt, čo umožňuje vizuálnu kontrolu procesu.

Technické špecifikácie

Vývojová história

Patenty a certifikácie

Balenie

Služby                                                                         

Často kladené otázky