9F, Барилга.А Донгшенгминь Дуудлага Талбай, 21 Чоёнг Янгийн Зүгийн Гудамж, Ляньюньган Жянгсу, Хятад +86-13951255589 [email protected]
Гайхалтай оптик тундартай :
90% илүү гэрэл дамжуулалт уВ, харагдах ба дулааны спектрт (180 нм–3500 нм)
Гайхалтай дулааны тогтвортой байдал:
Дулааны төлөрхийн коэффициент нь бүдүүвчлэн тэдүү (0.55×10⁻⁶/°C) , дулааны шокк ба деформацийн нөлөөнд түүрхүү
Ажилт химийн төрөлхийн төлөрхийн чанар:
Инерт бүхний дунд хүчил, суурь ба органик уусгагчид , коррозийн орчинд ашиглахад тохиромжтой
Дулааны дамжуулалт :
1.4 Вт/м·К, дулааны дамжуулалтыг үр дүнтэй хангаж
Хамгийн их ажиллах хэмжээ :
1200°C-д тасралтгүй ашиглаж болно , хөхрүүлэх температур 1750°C хүртэл
Чихрийн чанар:
99.99% дээд зэрэг чистой хайлан хайлж бүтээсэн кварц, холимог нүүрсний нөлөөг хамгийн бага байлгана
Нягтрал:
2.2 г/см³ , гайхмаар бүтцийн тогтвортой байдлыг үзүүрлэнэ
Батлал:
моосын шаталбарын хавтгай дээр 5,3–6,5 , гайхмаар зуурхай төвөгтүүлэлтийг үзүүрлэнэ
Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй
1. Кварц фланецүүдийн үйлдвэрлэлийн процесс:
1.1 Анхдагч материал сонгох : Тундаж чиста кварц кристалл эсвэл синтетик силлика пясок анхдагч материал хүртэл сонгож авдаг. Силлика агуулалт нь ихсвэл 99.9%-аас илүү бөлгөөн бүх чанарыг хангахын тулд.
1.2 Хайлах: Анхдагч материал хэт өндөр температурт халаадаг (1700-аас дээш °C) хоосон орчин эсвэл инерт атмосферын тугаан дотор (үүнд ихэвчлэн цахилгааны бүртгэлийн юм уу индукц тугаан) хайлан, нүхнүүдгүй, вискоз кварц талст төлөвт шилжүүлнэ.
1.3 Хэлбэр өгөх: Хайлан талст төлөвт шилжүүлсэн кварцыг дараа нь формтай фланецүүдийн хэлбэрт орхин, түүнийг хийнхүү хэд хэдэн аргаар гүйцэтгэнэ.
1.4 Форм-хийнхүү хийх: Наад захын графит юм уу сэрэмзлэг форм-хийнхүү хийх.
1.5 Төвөд татагч хаях: Форм-хийнхүү төвөд татагч хаях замаар хоосон цилиндрик хэлбэрт хийнхүү хийх, дараа нь машинд бүтээх.
1.6 Халуун даралтанд шахаж бүтээх/дүүрэн хийнхүүлэх: Дундаж цагаан хөлсний хоолойг даралтанд шахаж нягтруулж, ойролцоо төгс хэлбэрт оруулж бүтээх.
1.7 Халуун хөрөөх процессын дараа хөрөөх: Бүтээсэн фланцыг аннилировочны утаа-хөрөөх гурванд хяналттой, удаан хөрөөх процесст оруулж бүтээх. Энэ нь дотоодын дулааны хүчдлийг арилгаж, трактүүд үүсэхийг саатгаж, бүтцүүдийн тогтвортой байдалыг хангаж бүтээх.
1.8 Наад захын нарийн бүтээх процессын дараа бүтээх: Аннилировочны дараа хоолойг сайтар бүтээх алмазан хучилттой зүүдүүд ашиглан. Энэ нь шлифовка, хайчлал, бүрхүүлд хүртүүлэл, лаппинг бүтээхийг хамарч, төгс хэмжээ, гадаргуугийн чанар (ихэвчлэн оптикийн түвшин), талбайн түшүүлэл, нарийн түшүүлэл ( жишээ нь, Ra < 0,4 μ м ).
1.9 Цагаан хийнхүүлэх ба чанарын шинжилгээ: Хатуу цэвэрлэх (жишээ нь: ультрахөдөлгөөн, хүчилд цэвэрлэх) загрүүдийг арилгана. Фланц бүр хэмжээс, хараар тодорхойлогдомоо гажигууд (буцалмуйн хувирал, дотоод холбогдосон бөөрсүүд), оптик шинж чанаруудын тулд шүүдүүрлэн үзэгдүүр. Лазер интерферометрийн хөгжсөн арга зүйн тусламжтаа талбайн түшүүрлүүр ба параллель байдалыг шүүдүүрлэн үзэгдүүр.
2. Кварц фланцүүдийн давуу талууд:
2.1 Онцгой дулаан тогтвортой байдал: Дулааны төрөлхийн өргөтсөн коэффициент хэт бага (~5.5 x 10 ⁻⁷ ⁄K) тул тэр дулааны шоккод хүчтэй төвөгтүүр. Тэр 1000 ц-аас хөрх температурт хурдан халах ба °Хөрхөхийг түрүүнд хүлээж чадна трещин үүсгэхгүйгээр тэсвэрлэдэг гэдгийг баталсан.
2.2 Өндөр температурт төвөгтүүр: Температурт үл хөдлөх төлөвт ажиллах чадвар 1100-с дээш °C ба товч хугацаанд 1300 хүртэл °C , металл нь хөнгөн хайлах эсвэл уртасах газруудад бүтцэнд нь тогтвортой байх.
2.3 Дархан цэвэр, инерт чанар : Өндөр цэвэр SiO-с хийгдсэн 2. , тэд нь хэт ороомоггүй бөгөөд ихэнх хүчил, галоген, идэвхтэй бодисуудын (фторын хүчил болон халуун фосфорын хүчилээс бусад) коррозид маш их тэсвэртэй. Энэ нь мэдрэг процесст бохирдохыг урьдчилан сэргийлдэг.
2.4 Гайхалтай оптик шинж чанарууд: Эрсдэлийн ихэвчлэн ультравиолетаас ойр инфраулаан хүртэл өргөн спектр дагуу. Энэ нь визуал технологийн хяналт, УВ-тулгуур, лазер хэрэглээд ашиглахыг хүлээлтүүлдүүр.
2.5 Гайхалтай цахилгаан изоляци: Өндөр диэлектрик хүч, бага цахилгаан дамжуулалт даже температурын өсөлтөд, полупроводник ба вакуум хэрэглээд тохиромжтой.
2.6 Өндөр механик хүч ба хатуу бүтэц: Харин хайлан холбогдсон кварц нь хайлан холбогдсон их нийлүүлэгч давхаргын үр дүнтэй ба өөрийн хэлбэрт үлдмүүр өндөр температурт ачаалал дор хэлбэрээ хадгалдаг.
2.7 Ултрамаасын даралтад тааруулж болох чанар: Газын нэвтрүүлэх чадвар үл мөрдөм, газын ялгаруулалт хамгийн бага. Зөвхөн шархлах замаар хайлан холбогдсон кварц нь ултрамаасын даралт (UHV) орчинд хүрэх ба хадгалж байхад туслах. (UHV) орчинд.
2.8 Урт үйл ажиллагааны хугацаа ба хэмжээний тогтвортой бүтэц: Цаг агаарын нөхцөлд түүнд хориглолт үл мөрдөм , түүн дээрх нөхцөлд деградаци үл мөрдөм, хүчдүүр, хэмжээний тогтвортой бүтэцтэй бүх цагт хэмжээний нарийн тодорхойлолтыг хадгалмүүр.
2.9 Үндсэн Хэрэглээ : Полупроводник үйлдвэрлэл (химийн бүрхүүл тавих, диффузия, CVD/LPCVD камерууд), дайтагч оптик, нарийн оптик, лазер системүүд, лабораторийн ба шинжилгээний тоног төхөөрөмжүүд, өндөр температурт харах шилүүд, мөн онцгой гэрэлтүүлэлт (өндөр хүчтнүүрт искрүүд).

3. Кварц фланецүүдийн үндсэн хэрэглээний салбарууд ба ашиглалт
Кварцийн флангууд нь өвөрмөц шинж чанаруудынхаа хослолоос болоод эрчимтэй аж үйлдвэрт маш чухал бөгөөд дараах гол хэрэглээнүүд, тусгай зориулалтуудтай.
3.1 Хагас дамжуурлагч ба микроэлектроник үйлдвэрлэл
Зориулалт: Ваферийн боловсруулах тоног төхөөрөмжид цонх, камерын шил, хийн орцууд, диагностикийн цонхнууд болон ашигладаг.
Гол тоног төхөөрөмж: Плазмын гэдрэг, Химийн уурны тунадасжуулалтын (CVD) ба Бага даралтны CVD (LPCVD) урвалж, тархалтын печь, ион оруулагчид.
Шалтгаан: Тэдгээрийн цэвэр байдал нь кремний ваферийг бохирдуулахаас сэргийлдэг бөгөөд туяа нэвтрэх чадвар нь технологийн явцыг бодит цагт хянах боломжийг олгодог.
3.2 Оптик ба фотоник индустри
Зориулалт: Цацрагийн цонх, лазер хоолойн бүрхүүл, суурилуулах элементүүд болгон ашигладаг.
Гол хэрэглээ: Өндөр чадалтай лазерийн системүүд, УВ ба ИШ оптик системүүд, спектрофотометрийн камер, одон орон судлалын телескопын толь (бага дулааны томролтын суурин материал).
Шалтгаан: Ямар ч УВ-ИШ спектрт онцгой нэвтрэх чадвартай ба өндөр интенсивтэй гэрэл доор дулааны деформаци багатай.
3.3 Өндөр цэвэрлэгтүүрт/бага даралттанд химийн боловсруулалт
Ашиглах зориулалт: Реакторын шуудуун, хортой шингэний тунгалаг хэсэг, жижиг үйлдвэрийн холбогч деталь болон ашиглах.
Үндсэн үйл явц: Цэвэр хүчил, галоген хий, өндөр температуртай онцгой химийн бодисуудыг ажиллуулах.
Шалтгаан: Хэт сайн химийн инерт чанар нь бүтээгдэхүүний цэвэр байдлыг хангаж, гидрофторик ба халуун фосфорын хүчилээс бусад бүх хүчилд эсэргүүцдэг.
3.4 Дэвшилтэт гэрэлтүүлэлт
Ашиглах зориулалт: Өндөр интенсивт гэрлийн лампын бүрхүүл (гадна талын чийдэн) болгон ашиглах.
Үндсэн бүтээгдэхүүнүүд: Меркурийн уурт ламп, ксеноны дугуйрлын ламп, хэт ягаан туяаны стерилизацийн ламп.
Шалтгаан: Өндөр ажиллах температурыг түрүүлж чадна (>1000°C) тэсвэрлэх чадвартай бөгөөд хэт ягаан туяаг үр дүнтэй дамжуулдаг.
3.5 Шинжлэх ухааны судалгаа ба шинжилгээний багаж хэрэгсэл
Ашиглах зориулалт: Вакуум камерийн цонх, дулааны амдхайн дээжний барьц, масс спектрометрийн деталь болгон ашиглах.
Гол орчнууд: Тухайн хоосон зай (UHV) системүүд, электрон микроскопууд, огторгуй дахь нөхцлийг имитаци хийх камерууд.
Шалтгаан: Хоосон зай ба дулааны горимд хий шингэлтийн түвшин маш бага байх, хэмжээний тогтвортой байдал өндөр байдаг.
3.6 Онцгой үйлдвэрлэлийн процессын салбарууд
Ашиглах зориулалт: Өндөр температуртай печилүүд дэх (жишээ нь Цохральски-гийн кристалжуулагч) харах цонхны хамгаалалт болон ширхэг оптик сав баглаа боодлын үйлдвэрлэлд урсгалын хэсгүүдэд.
Шалтгаан: Үргэлжилсэн өндөр температурт ажиллах үед цонхны тунгалаг чанар ба бүтэц нь хадгалагдаж, технологийн явцыг визуалаар хянах боломжийг олгодог.
Техникийн үзүүлэлтүүд
Шинж чанарын агуулга |
Шинж чанарын индекс |
Нягт |
2.2×103кг/см³ |
Хүч |
580KHN100 |
Растяжим хүч |
4.9×107Pa(N/ ㎡) |
Сунгах дүрс |
>1.1×109Па |
Халуунд тэсвэрлэх коэффициент |
5.5×10-7см/см℃ |
Дулааны дамжуулалт |
1.4Вт/м℃ |
Тодорхой дулаан |
670Ж/кг℃ |
Чимэглэлийн цэцэрлэг |
1680℃ |
Бусад цэцэрлэг |
1215℃ |
Хөгжлийн түүх

Патент ба сертификат

Баглаажилт

Үйлчилгээ
Түүн дээрх асуулт хариулт
Тоосны зуухны хүлээн авагч талын түгжээг хийхэд зориулсан зантай кордиерит муллитан керамик
Алюминийн исийн керамик болт керамик болт
Хайлангийн ган дахь өндөр температур, исэлдэлтийн эсрэг тэсвэртэй аллюминийн оксидын хамгаалалтын хоолой
Ус цэвэрлэх системд зориулсан өндөр нарийвчлалтай шүүлт, химийн эсрэг тэсвэртэй аллюминийн оксидын керамик цагариг