Прозрачна фузирания кварцова стъклена лодка по поръчка за слънчева енергия

Подробности за продукта

1. Въведение в кварцовата лодка

Кварцовата лодка, известна по-специфично в полупроводниковата индустрия като лодка за пластина или технологична лодка, е високоточен компонент, изработен от високочист спечен кварц. Тя е проектирана да държи и транспортира кремниеви пластина по време на различни производствени процеси при висока температура.

Основната му функция е да служи като носител или рафт, осигурявайки сигурно държане на множество пластинки в точно разположена вертикална позиция, докато се обработват в пещи и реакционни камери.

2. Основни характеристики

2.1 Изключителна термостойкост:
Фузираният кварц може да издържа температури над 1100°C без омекване или деформиране, което е от съществено значение за процеси като дифузия и оксидация.

2.2 Ултрависока чистота:
Изработен е от синтетичен кварц с висока чистота, който практически не съдържа метални примеси. Това предотвратява замърсяването на чувствителните силиконови пластинки, което е от решаващо значение за постигане на висок добив и производителност.

2.3 Превъзходна термична стабилност:
Кварцът има много нисък коефициент на топлинно разширение, което означава, че може да издържи бързи цикли на нагряване и охлаждане (термичен удар), без да се напука.

2.4 Отлична химическа инертност:
Той притежава висока устойчивост към корозия от повечето киселини, халогени и други агресивни процесни газове, използвани при производството на полупроводници.

2.5 Висока механична якост и стабилност
Запазва структурната цялост и размерната стабилност при тежки натоварвания при високи температури, предотвратявайки деформация на пластинките.
Кварцовата лодка е от съществено значение за производството на полупроводници поради изключителната си устойчивост на високи температури и ултрависока чистота, които предотвратяват замърсяване. Нейната превъзходна устойчивост на топлинен удар и отличната химическа инертност позволяват надеждна работа в сурови производствени условия. Освен това прецизното ѝ инженерство гарантира равномерна обработка на пластинките без повреди.

3.Предимства на кварцовата лодка

3.1 Устойчивост на високи температури:
Температурата на омекотяване на кварцовото стъкло е около 1730°C, което може да бъде използвани при 1200°C за дълго време - Не, не, не. Краткосрочната температура на употреба може да достигне 1450°C.

3.2 Добра топлинна стабилност:

Кварцов стъкло коефициентът на топлинно разширяване е малък , може издържа рязки промени в температурата , кварцовото стъкло, нагрято до около 1200 ℃, при потапяне във вода при стайна температура не експлодира.

3.3 Устойчивост към корозия:

С изключение на флуорводородната киселина , кварцовото стъкло почти не реагира химически с други киселини, а неговата устойчивост към киселини е 30 пъти по-висока от тази на керамиката и 150 пъти по-висока от тази на неръждаемата стомана.

3.4 Силна електрическа изолация:

Стойността на електрическото съпротивление на кварцовото стъкло е еквивалентна на 10 000 пъти тази на обикновеното стъкло , което го прави много добро електрическо изолационно материали и осигурява отлични изолационни свойства при стайна температура.

3.5 Добра светлопропускливост:

В целия спектър от ултравиолетови до инфрачервени дължини на вълната имат добра светлопропускливост , скорост на пропускане на видимата светлина от 93 % или повече в ултравиолетовата област на спектъра, скоростта на пропускане е 80 или повече.

4. Чести приложения

Носител на пластинки за процеси при високи температури: Основната функция е да задържа и транспортира кремниеви пластинки в пещи и реакционни камери.
От съществено значение за легиране и дифузия: Позволява въвеждането на примеси в силициевите пластинки за създаване на транзистори и електронни схеми.
От съществено значение за термично оксидиране: Използва се за получаване на изолационни оксидни слоеве върху пластинки.
Поддържане при нанасяне на тънки филми (CVD): Държи пластинките по време на процесите за покритие.
Основа при производството на слънчеви клетки: Използва се за производство на p-n преходи във фотогалванични клетки.

По същество, където и да е необходимо ултрачисто обработване при висока температура на силициеви пластинки или подобни субстрати, кварцовата лодка е незаменим инструмент.

4.1 Производство на полупроводници (основно приложение)

Термично оксидиране: Използва се за пренасяне на силициеви пластинки в пещи с висока температура, за да се получи тънък, равномерен слой силициев диоксид (SiO₂) на повърхността на пластинката.
Дифузия: Използва се при легирания процес, при който пластинките се излагат на легирани газове при висока температура, за да се променят електрическите свойства на силиция.
Химическо отлагане на пари (CVD): Служи като държач за пластинки по време на процеси за нанасяне на тънки филми от различни материали.
Отжигане: Използва се в пещи за отжигане на пластинки (нагряване и бавно охлаждане), за да се поправят кристални повреди или да се активират легирани примеси.

4.2 Фотоволтаична (PV) индустрия

Използва се при процеса на дифузия за създаване на p-n преход, който е основното ядро на слънчевата клетка.
Също се използва в други обработка при висока температура етапи за кремниеви слънчеви пластинки.

4.3 LED и MEMS производство

Незаменимо за високотемпературните процеси при производството на светлинни диоди (LED) и микроелектромеханични системи (MEMS).
Кварцовите изпитателни тръби са незаменими високопроизводителни лабораторни и промишлени компоненти, изработени от високочист фузирален кварц, обикновено със съдържание на кварц 99,9 % или по-високо, с премиум варианти достигат чистота от 99,99 % SiO₂ . Процесът на производство включва топене на естествени кварцови кристали при изключително висока температура от около 2000 °C, последван от прецизни методи за обработка като издърпване и формоване, за да се осигури еднородна дебелина на стените и структурна цялост. Тези тръбички се отличават от обикновеното стъкло и боросиликатните алтернативи благодарение на изключителната си комбинация от термични, химични, оптични и механични свойства, което ги прави незаменими в множество високотехнологични приложения.

  
Технически параметри

История на развитието

Патенти и сертификати

Пакет

Услуги                                                                         

Често задавани въпроси