סירת זכוכית קווורץ שקופה לפי הזמנה לאנרגיה סולארית

פרטי המוצר

1. מבוא לסירה кварץ

סירה кварץ, הידועה גם באופן ספציפי בתעשיית ה-SEMI כסירת וויפרס או סירת תהליך, היא רכיב בדוקות גבוהה שעשוי מקварץ מותך ברמה גבוהה של טהרה. היא מעוצבת כדי להחזיק ולשנע וויפרס סיליקון במהלך תהליכי ייצור שונים בטמפרטורות גבוהות.

התפקיד העיקרי שלו הוא לשמש כנושא או מדף, להבטיח ששכבות רבות של וויפרים יוחזקו בצורה בטוחה בפוזיציה אנכית מרוחקת באופן מדויק בזמן שהם עוברים עיבוד בתוך תנורים ותאי תגובה.

2. מאפיינים מרכזיים

2.1 התנגדות יוצאת דופן לטמפרטורות גבוהות:
קוורץ מחוזק יכול לעמוד בטמפרטורות שמעל 1100° צלזיוס ללא ריכוך או עיוות, מה שضروري בתהליכים כמו דיפוזיה ואקסידציה.

2.2 טהרה אולטרא-גבוהה:
הוא מיוצר מקוורץ סינתטי עשיר מאוד, שנקי כמעט לחלוטין מזיהומים מתכתיים. זה מונע זיהום של לוחות הסיליקון הרגישים, מה שקריטי להשגת תשומות ייצור גבוהות וביצועים מיטביים.

2.3 יציבות תרמית מעולה:
לקוורץ מקדם ניפוח תרמי נמוך מאוד, כלומר הוא יכול לסבול מחזורי חימום וקירור מהירים ( sock תרמי) מבלי לשבור.

2.4 אינертיות כימית מעולה:
הוא עמיד מאוד בפני קורוזיה מהרבות החומצות, הלוגנים ושאר הגזים הקשוחים המשמשים בייצור מוליכים למחצה.

2.5 עמידות מכנית גבוהה ויציבות
משמר את שלמות המבנה והיציבות הממדית תחת עומס כבד בטמפרטורות גבוהות, ומונע עיוות של וויפר.
הסירה הקוורצית היא חיונית בייצור חצי מוליכים בזכות התנגדות גבוהה יוצאת דופן לטמפרטורות גבוהות ונקיון אולטרא-גבוה, שמניעים זיהום. עמידות גבוהה בפני הלם תרמי וכימית מאפשרת לה לפעול בצורה אמינה בסביבות תהליך קשות. יתר על כן, ההנדסה המדויקת שלה מבטיחה שהוויפרים יעובדו באופן אחיד ובלי נזק.

3. היתרונות של הסירה кварץ

3.1 עמידות לטמפרטורות גבוהות:
נקודת הרך של זכוכית кварץ היא כ-1730°מ, שניתן להשתמש בה בטמפרטורה של 1200°מ לאורך זמן השימוש בטווח קצר יכול להגיע לטמפרטורה של 1450°מ. .

3.2 יציבות תרמית טובה:

זכוכית קוארץ מקדם ההתפשטות התרמית קטן , יכול לעמוד בשינויי טמפרטורה קיצוניים זכוכית קוורץ מחוממת לערך של כ-1200 מעלות צלזיוס, וכאשר שמים אותה במים בטמפרטורת החדר היא לא מתפוצצת.

3.3 עמידות בקורוזיה:

מלבד חומצה הידרופלואורית זכוכית קוורץ כמעט ולא מגיבה כימית עם חומצות אחרות, ועמידותה בחומצה גדולה פי 30 מזו של קרמיקה ופי 150 מזו של פלדת אל חלד.

3.4 בידוד חזק:

ערך ההתנגדות של זכוכית קוורץ שווה ל-10,000 פעמים זה של זכוכית רגילה והיא חומר בידוד חשמלי מעולה, עם בידוד יעיל בטמפרטורת החדר.

3.5 תרומה טובה לאור:

בכל טווח האורכי הגל מאולטרה סגול לאינפרה אדום בעלי העברה טובה של אור , שיעור העברה של האור הנראה הוא 93% או יותר באזור הספקטרום של האולטרה סגול, ושיעור ההעברה הוא 80 או יותר.

4. יישומים נפוצים

נשא וויפר לתהליכי חום גבוה: הפונקציה הראשית היא להחזיק ולתפעל וויפרים סיליקוניים במקררים ובחדרי תגובה.
חשוב לדיוקן ול퍼יסה: מאפשר הכנסת תערובות לדיסקות סיליקון כדי ליצור טרנזיסטורים ומעגלים.
חיוני לאكسידציה תרמית: משמש לגידול שכבת אוקסיד מבודדת על וויפרים.
תומך בהדקת שכבת דקיקה (CVD): מחזיק את הוויפרים במהלך תהליכי ציפוי.
בסיס בייצור תאים סולריים: משמש לייצור הצומת p-n בתאים פוטוולטאיים.

במהות, בכל מקום שבו נדרשת עיבודית של וויפרים סיליקוניים או חומרים דומים בטמפרטורות גבוהות ובתנאי ניקיון אולטרא, סירת קוורץ היא כלי חיוני.

4.1 ייצור חצי מוליכים (יישום מרכזי)

אקסידציה תרמית: משמש להובלת וויפרים סיליקוניים בתוך תנורים בעלי טמפרטורה גבוהה כדי לגדל שכבת סיליקון דו-חמצני (SiO₂) דקה ואחידה על פני השטח של הוויפר.
דיפוזיה: בשימוש בתהליכי סיגום, כאשר וויפרים מתבקעים בגזים מסיגמים בטמפרטורות גבוהות כדי לשנות את התכונות החשמליות של הסיליקון.
הפרשה כימית ממצב גזי (CVD): משמש כמחזיק לוויפרים במהלך תהליכים שבהם משקעים שכבות דקות של חומרים שונים.
החלקה: בשימוש באפיים להחלקת וויפרים (חימום וקירור איטי) כדי לתקן נזקי גבישים או להפעיל דופנטים.

4.2 תעשיית פוטו-וולטאי (PV)

משמש בתהליך הדיפוזיה ליצירת צומת p-n, שהוא הליבה הבסיסית של תאי שמש.
משומשים גם בתחומים אחרים תהליכי חום גבוה שלבים לוויפרים סיליקון לשמש.

4.3 ייצור דיודות נוראות (LED) ומיקרו-אלקטרו-מכניות (MEMS)

חיוני לשלבי העיבוד בטמפרטורה גבוהה הנכללים בייצור דיודות פולטות אור (LED) ומערכות מיקרו-אלקטרו-מכניות (MEMS).
צינורות בדיקה מקרצית הם רכיבים תעשייתיים ולשכבתיים בעלי ביצועים גבוהים אשר מיוצרים מקרצית מותכת ברמה גבוהה של טהרה, וכוללים בדרך כלל 99.9% סיליקה או יותר, עם גרסאות מתקדמות מגיעות לנקיות של 99.99% SiO₂ . תהליך הייצור כולל ניסול של 결정ים טבעיים של קרצין בטמפרטורה גבוהה במיוחד של כ-2000° צלזיוס, ולאחר מכן עיבוד מדויק כגון מתיחה ועיצוב כדי להבטיח עובי דפנות אחיד ויציבות מבנית. צינורים אלו יוצאים דופן לעומת זכוכית רגילה וזجاج בורוסיליקטי בשל שילוב ייחודי של תכונות תרמיות, כימיות, אופטיות ומיכניות, מה שהופך אותם לאפשרויות בלתי ניתן להחלפה במגוון רחב של תרחישים דרמטיים.

  
פרמטרים טכניים

היסטוריה של הפיתוח

פטנטים ותעודה

חבילה

שירותים                                                                         

שאלות נפוצות