Saules enerģijas pēc pasūtījuma izgatavots caurspīdīgs saķepināta kvarta stikla kuģis

Ievads kvēlglāzē

Kvēlglāze, ko specifiski pusvadītāju rūpniecībā sauc arī par plastīnu glāzi vai procesa laivu, ir augstas precizitātes komponente, kas izgatavota no augstas tīrības pakāpes kausēta kvēlglāzes. Tā paredzēta silīcija plastīnu turēšanai un transportēšanai dažādos augstas temperatūras ražošanas procesos.

Tās galvenā funkcija ir kalpot kā nesējs vai rāmis, nodrošinot, ka vairākas plastīnas tiek droši noturētas precīzi atdalītā vertikālā pozīcijā, kamēr tās tiek apstrādātas krāsnīs un reakcijas kamerās.

Galvenās raksturlietas

1). Izcila augstas temperatūras izturība:
Kausēts kvēlglāze var izturēt temperatūru, kas pārsniedz 1100°C, nekļūstot mīksts vai deformējoties, kas ir būtiski procesiem, piemēram, difūzijai un oksidācijai.

2). Ultratīrība:
Tas izgatavots no augstas tīrības sintētiskā kvartsa, kam gandrīz nav metālisku piemaisījumu. Tas novērš jutīgo silīcija plāksnīšu piesārņojumu, kas ir būtiski, lai sasniegtu augstu produktu iznākumu un veiktspēju.

3). Izcila termiskā stabilitāte:
Kvartam ir ļoti zems termiskās izplešanās koeficients, kas nozīmē, ka tas var izturēt straujas uzsildīšanas un atdzesēšanas fāzes (termisko triecienu), nesaplīstot.

4). Lieliska ķīmiskā inercija:
Tas ir ļoti izturīgs pret koroziju, ko izraisa lielākā daļa skābju, halogēnu un citu agresīvu procesa gāzu, ko izmanto pusvadītāju ražošanā.

5). Precizitātes inženierija:
Pritavā ir rūpīgi izstrādāti grobi vai spraugas, kas droši notur plāksnītes, neizraisot spriegumu vai daļiņu veidošanos, kā arī nodrošina vienmērīgu eksponēšanu procesa gāzēm un siltumam.

6) Augsta mehāniskā izturība un stabilitāte
Saglabā strukturālo integritāti un dimensiju stabilitāti smagu slodžu apstākļos augstās temperatūrās, novēršot plāksnīšu deformāciju.
Kvarts laiva ir būtiska pusvadītāju ražošanai, jo tai piemīt izcilīga augstas temperatūras izturība un ļoti augsta tīrība, kas novērš piesārņojumu. Tās pārākā termostrauju izturība un lieliska ķīmiskā inercija ļauj tai uzticami darboties grūtos procesa apstākļos. Turklāt tās precīzā inženierijas dēļ nodrošina, ka plāksnītes tiek apstrādātas vienmērīgi un bez bojājumiem.

Kvarts laivas priekšrocības

1) Augsta temperatūras izturība:
Kvarts stikla mīkstināšanas punkta temperatūra ir aptuveni 1730 °C, ilgstoši to var izmantot 1200 °C temperatūrā. Īslaicīgai lietošanai temperatūra var sasniegt 1450 °C.

2) Laba termiskā stabilitāte: Kvarts stiklam ir mazs termiskās izplešanās koeficients, tāpēc tas iztur straujas temperatūras izmaiņas; kvarts stikls, uzsildīts līdz aptuveni 1200 °C, ievietots istabas temperatūras ūdenī, nesprāgs.

3) Korozijas izturība: Ar izņēmumu fluorūdeņražskābi, kvartsstikls gandrīz ne reaģē ķīmiski ar citām skābēm, un tā izturība pret skābēm ir 30 reizes lielāka nekā keramikai un 150 reizes lielāka nekā nerūsējošajam tēraudam.

4) Lieliska izolācija: Kvartsstikla pretestības vērtība ir līdzvērtīga 10 000 reizēm lielākai kā parastam stiklam, kas padara to par ļoti labu elektrisko izolācijas materiālu, kurš istabas temperatūrā nodrošina labu izolācijas veiktspēju.

5) Laba gaismas caurlaidība: Visā ultravioletā līdz infrasarkanajam viļņu diapazonā pastāv laba gaismas caurlaidība, redzamās gaismas caurlaidības koeficients ir 93% vai vairāk ultravioletajā spektra apgabalā, caurlaidības ātrums ir 80 vai vairāk.

Kopīgas prasības

Plāksnīšu piederums augstas temperatūras procesiem: Galvenā funkcija ir fiksēt un transportēt kremņa plāksnītes krāsnīs un reakcijas kamerās.
Svarīgs dopēšanai un difūzijai: Iespējo piemaisījumu ieviešanu kremņa plāksnītēs, lai izveidotu tranzistorus un shēmas.
Būtisks termālo oksidēšanu: Izmantots, lai audzētu izolējošus oksīda slāņus uz plāksnēm.
Atbalsts plāno kārtu nesējā (CVD): Tur plāksnes pārklājuma procesos.
Pamatne saules elementu ražošanā: Izmantota p-n pārejas izgatavošanai fotovoltaiskajos elementos.

Būtībā, kur vien nepieciešama ultratīra, augstas temperatūras apstrāde silīcija plāksnēm vai līdzīgiem pamatnes materiāliem, kvarts laiva ir neatņemama rīks.
1). Pusvadītāju ražošana (galvenā pielietošana)
Termālā oksidēšana: Izmantota, lai pārvadātu silīcija plāksnes augstas temperatūras krāsnīs, lai uz plāksnes virsmas izaudzētu plānu, viendabīgu silīcija dioksīda (SiO₂) kārtu.
Difūzija: Izmantota legēšanas procesos, kur plāksnes tiek pakļautas legēšanas gāzēm augstā temperatūrā, lai mainītu silīcija elektriskās īpašības.
Ķīmiskā tvaika nogulsnēšana (CVD): Kalpo kā turētājs plāksnēm procesos, kuros tiek nogulsnētas plānas dažādu materiālu kārtas.
Apmierināšana: izmanto krāsos, lai apmierinātu plāksnītes (sildīt un lēni atdzist), lai remontētu kristāla bojājumus vai aktivizētu dopantus.

2). Fotovoltaikas (PV) rūpniecība
Izmanto difūzijas procesā, lai izveidotu p-n pāreju, kas ir saules elementa pamatbūve.
Izmanto arī citos augstas temperatūras apstrādes posmos silīcija saules plāksnītēm.

3). LED un MEMS izgatavošana
Nepieciešams augstas temperatūras apstrādes posmiem, kas saistīti ar gaismas diodu (LED) un mikroelektromehānisko sistēmu (MEMS) ražošanu.
Ķvarca mēģenēs ir neatņemamas augstas veiktspējas laboratorijas un rūpnieciskās sastāvdaļas, kas izgatavotas no augstas tīrības pakāpes saķepināta silīcija, parasti satur 99,9% vai vairāk kvarca, ar augstākās klases variantiem, kuru SiO₂ tīrība sasniedz 99,99%. Ražošanas process ietver dabīgu kvarca kristālu kausēšanu ļoti augstā temperatūrā — aptuveni 2000°C, kam seko precīzas apstrādes tehnoloģijas, piemēram, izstiepšana un formēšana, lai nodrošinātu vienmērīgu sienu biezumu un strukturālo integritāti. Šīs caurules atšķiras no parasta stikla un borosilikāta alternatīvām pateicoties to izcilnai termiskajai, ķīmiskajai, optiskajai un mehāniskajai īpašību kombinācijai, kā dēļ tās ir neaizvietojamas daudzos augsta prasību scenārijos.

  
Tehniski parametri