Соларна енергија прилагођена прозирна фузирана силка кварзна стаклена чамац

Увод у кварцни чамац

Кварцни чамац, познат конкретно и у индустрији полупроводника као чамац за вафле или процесни чамац, је високотачански део направљен од висококвалитетног фузираног кварца. Овај чамац је дизајниран да држи и транспортuje вафле од силицијума током разних процеса производње при високим температурама.

Његова примарна функција је да служи као носач или решетка, осигуравајући да је више вафли чврсто утврђено у прецизно размакнутом вертикалном положају док се обрађују у пећима и реакционим коморама.

Кључне карактеристике

1). Изузетна отпорност на високе температуре:
Фузирани кварц може издржати температуре веће од 1100°C без омекшавања или деформисања, што је неопходно за процесе као што су дифузија и оксидација.

2). Ултра-висока чистоћа:
Направљен је од синтетичког кварца високе чистоће, који је практично без металних примеса. Ово спречава контаминирање осетљивих силицијумских плочица, што је критично за постизање високог приноса и перформанси производа.

3). Изузетна термална стабилност:
Кварц има веома низак коефицијент топлотног ширења, што значи да може издржати брзе циклусе загревања и хлађења (термални удар) без пуцања.

4). Изузетна хемијска инертност:
Веома је отпоран на корозију изазвану већином киселина, халогена и других агресивних процесних гасова који се користе у производњи полупроводника.

5). Прецизно инжењерство:
Чамац има пажљиво дизајниране жлебове или прорезе који сигурно држе плочице без изазивања напона или генерисања честица, а осигуравају и униформно излагање процесним гасовима и топлоти.

6) Висока механичка чврстоћа и стабилност
Одржава структурни интегритет и димензионалну стабилност под тешким оптерећењем на високим температурама, спречавајући деформацију плочица.
Кварцна чаша је од суштинског значаја за производњу полупроводника због изузетне отпорности на високе температуре и ултра високе чистоће, која спречава контаминацију. Њена изузетна отпорност на термички удар и одлична хемијска инертност омогућавају поуздан рад у тешким условима процеса. Штавише, прецизна инжењерска израда осигурава равномерну обраду вафера без оштећења.

Предности кварцне чаше

1) Отпорност на високу температуру:
Температура мекења кварцног стакла је око 1730℃, може се користити на 1200℃ дуготрајно. Краткорочно се може користити на температури до 1450℃.

2) Добра термичка стабилност: Коефицијент термичке експанзије кварцног стакла је мали, може поднети нагле промене температуре; кварцно стакло загрејано на око 1200 ℃ неће пргунути када се баци у воду собне температуре.

3) Otpornost na koroziju: Osim na vodoničnu fluoridnu kiselinu, kvantno staklo skoro da ne reaguje hemijski ni sa jednom drugom kiselinom, a njegova otpornost na kiseline je 30 puta veća od keramike i 150 puta veća od nerđajućeg čelika.

4) Snažna izolacija: Vrednost otpornosti kvantnog stakla ekvivalentna je 10.000 puta većoj vrednosti u odnosu na obično staklo, što ga čini veoma dobrom električnom izolacionom materijom i poseduje dobre izolacione osobine na sobnoj temperaturi.

5) Dobra prozračnost za svetlost: U celom spektru ultraljubičastih do infracrvenih talasnih dužina ima dobrу prozračnost za svetlost, stopa propuštanja vidljive svetlosti iznosi 93% ili više u ultraljubičastom spektru, dok je stopa propuštanja 80 ili više.

Уобичајене апликације

Nošenje pločica za procese na visokim temperaturama: Glavna funkcija je držanje i transport silicijumskih pločica u pećima i reakcionim komorama.
Ključno za dopiranje i difuziju: Omogućava uvodjenje primesa u silicijumske pločice radi stvaranja tranzistora i kola.
Неопходно за термалну оксидацију: користи се за израду изолационих оксидних слојева на плочицама.
Подршка приликом наношења танких филмова (CVD): држи плочице током процеса прекривања.
Основа у производњи соларних ћелија: користи се за израду p-n споја у фотовалтаичким ћелијама.

У суштини, где год је неопходна ултрачиста обрада кремених плочица или сличних подлога на високим температурама, кварцна ладица је незаобилазан алат.
1). Производња полупроводника (основна применa)
Термална оксидација: користи се за преношење кремених плочица у пећима на високим температурама ради стварања танког, равномерног слоја силицијум-диоксида (SiO₂) на површини плочице.
Дифузија: користи се у процесима легирања где су плочице изложене гасовима легиранима на високим температурама како би се промениле електричне карактеристике кременика.
Хемијска депозиција из паре (CVD): служи као носач за плочице током процеса који наносе танке филмове разних материјала.
Žarenje: Koristi se u pećima za žarenje pločica (zagrevanje i polako hlađenje) kako bi se popravio oštećen kristal ili aktivirali dopanti.

2). Fotonaponska (PV) industrija
Koristi se u procesu difuzije za stvaranje p-n spoja, koji je osnovno srce solarnih ćelija.
Takođe se koristi u drugim visokotemperaturnim procesnim koracima za silicijumske solarne pločice.

3). Proizvodnja LED dioda i MEMS uređaja
Neophodno za visokotemperaturne procesne korake u proizvodnji svetlećih dioda (LED) i mikro-elektronsko-mehaničkih sistema (MEMS).
Кварцне тест тубе су незаобилазни компоненти високих перформанси у лабораторијама и индустрији, направљени од висококвалитетног спајаног силицијума, који обично има садржај силицијума од 99,9% или више, док најквалитетније варијанте достигну чистоћу од 99,99% SiO₂. Процес производње подразумева топљење природних кварцних кристала на изузетно високој температури од око 2000°C, након чега следе прецизни поступци обраде као што су истезање и обликовање, како би се осигурала једнолика дебљина зида и структурна целовитост. Ове цеви издвајају се од обичног стакла и боросиликатних алтернатива због изузетне комбинације термалних, хемијских, оптичких и механичких својстава, због чега су незамењиве у бројним захтевним ситуацијама.

  
Технички параметри