strada Chaoyang East nr.21, Complexul Dongshengmingdu, Clădirea A, Etajul 9F, Lianyungang Jiangsu, China +86-13951255589 [email protected]
Dimensiunea vasului din cuarț transparent
Dimensiunea pe care o producem frecvent este 4 inch, 6 inch, 8 inch și așa mai departe. De asemenea, putem proiecta și personaliza produsul conform cerințelor clienților.
Duritate
Duritatea Mohs de aproximativ 7, similară celei a sticlei
Puritatea SiO₂
Puritatea dioxidului de siliciu, de obicei ≥99.99%pentru creuzete de calitate semiconductor
Temperatura maximă de funcționare
Temperatura maximă pe care o poate suporta continuu vasul din cuarț, până la 1100℃
Temperatura de funcționare pe termen scurt este 1200℃
Detalii produs
1. Introducere în folosirea vasului din cuarț
Vasul din cuarț, cunoscut în mod specific în industria semiconductorilor ca vas pentru wafere sau vas de proces, este un component de înaltă precizie realizat din cuarț fuzionat de înaltă puritate. Este conceput pentru a susține și transporta waferele de siliciu în timpul diverselor procese de fabricație la temperaturi ridicate.
Funcția sa principală este de a servi drept purtător sau raft, asigurând că mai multe plăci sunt menținute sigur într-o poziție verticală, precis spațiată, în timp ce sunt procesate în interiorul cuptoarelor și al camerelor de reacție.
2. Caracteristici cheie
2.1 Rezistență excepțională la temperaturi ridicate:
Cuarțul fuzionat poate rezista la temperaturi care depășesc 1100°C fără să se înmoaie sau să se deformeze, ceea ce este esențial pentru procese precum difuzia și oxidarea.
2.2 Puritate ultra-ridicată:
Este realizat din cuarț sintetic de înaltă puritate, care este practic lipsit de impurități metalice. Acest lucru previne contaminarea waferilor sensibili de siliciu, ceea ce este esențial pentru obținerea unor randamente și performanțe ridicate ale produsului.
2.3 Stabilitate termică superioară:
Cuarțul are un coeficient foarte scăzut de dilatare termică, ceea ce înseamnă că poate suporta cicluri rapide de încălzire și răcire (șoc termic) fără a crăpa.
2.4 Inertitate chimică excelentă:
Este foarte rezistent la coroziunea provocată de majoritatea acizilor, halogenilor și altor gaze agresive utilizate în fabricarea semiconductorilor.
2.5 Rezistență mecanică și stabilitate ridicată
Menține integritatea structurală și stabilitatea dimensională sub sarcini mari la temperaturi înalte, prevenind deformarea waferilor.
Barca din cuarț este esențială în fabricarea semiconductorilor datorită rezistenței excepționale la temperaturi ridicate și purității ultra-înalte, care previn contaminarea. Rezistența superioară la socurile termice și inerția chimică excelentă îi permit să funcționeze fiabil în condiții severe de proces. În plus, ingineria sa precisă asigură o procesare uniformă a waferilor, fără deteriorare.
3. Avantajele lăzii de cuarț
3.1 Rezistență la temperaturi înalte:
Temperatura punctului de înmuiere a sticlei de cuarț este de aproximativ 1730 ℃, care poate fi utilizată la 1200 ℃ pe termen lung . Temperatura de utilizare pe termen scurt poate ajunge la 1450 ℃.
3.2 Stabilitate termică bună:
Sticlă cuarz coeficientul de dilatare termică este mic , poate rezistă schimbărilor drastice de temperatură , sticla de cuarț încălzită la aproximativ 1200 ℃ nu se sparge când este introdusă în apă la temperatura camerei.
3.3 Rezistență la coroziune:
În afară de acidul fluorhidric , sticla de cuarț aproape nu reacționează chimic cu alte acizi, iar rezistența sa la acizi este de 30 de ori mai mare decât cea a ceramicii și de 150 de ori mai mare decât cea a oțelului inoxidabil.
3.4 Izolație puternică:
Valoarea rezistenței electrice a sticlei de cuarț este echivalentă cu de 10.000 de ori valoarea rezistenței sticlei obișnuite , ceea ce face din ea un material foarte bun de izolare electrică, cu performanțe excelente de izolare la temperatura camerei.
3.5 Bună transmisibilitate a luminii:
În întregul spectru de lungimi de undă ultraviolete până la infraroșu au o bună transmisie a luminii , rată de transmisie a luminii vizibile de 93% sau mai mult în regiunea spectrului ultraviolet, rata de transmisie fiind de 80 sau mai mult.
4. Aplicații comune
Purtător de wafere pentru procese la temperaturi înalte: Funcția principală este de a susține și transporta waferele de siliciu în cuptoare și camere de reacție.
Esential pentru Doping și Difuzie: Permite introducerea de impurități în plăcuțele de siliciu pentru a crea tranzistori și circuite.
Esential pentru oxidarea termică: Utilizat pentru a crește straturi de oxid izolator pe waferi.
Suport în depunerea de filme subțiri (CVD): Ține waferii în timpul proceselor de acoperire.
Fundament în producția celulelor solare: Utilizat pentru fabricarea joncțiunii p-n în celulele fotovoltaice.
În esență, oriunde este necesară o prelucrare la temperatură înaltă și ultra-curată a waferilor de siliciu sau a substraturilor similare, barca de cuarț este un instrument indispensabil.
4.1 Producția de componente semiconductoare (aplicație de bază)
Oxidare termică: Utilizată pentru transportul waferilor de siliciu în cuptoare la temperatură înaltă, pentru a crea un strat subțire și uniform de dioxid de siliciu (SiO₂) pe suprafața waferului.
Difuzie: Utilizată în procesele de dopare, unde waferii sunt expuși la gaze dopante la temperatură înaltă pentru a modifica proprietățile electrice ale siliciului.
Depunere chimică din fază de vapori (CVD): Servește ca purtător pentru waferi în timpul proceselor de depunere a filmelor subțiri din diverse materiale.
Recristalizare: Utilizată în cuptoare pentru a recristaliza waferii (încălzire și răcire lentă) pentru a repara deteriorarea cristalului sau pentru a activa dopanții.
4.2 Industria fotovoltaică (PV)
Utilizată în procesul de difuzie pentru a crea joncțiunea p-n, care este elementul fundamental al unei celule solare.
De asemenea, utilizate în alte procesarea la temperatură înaltă etape pentru waferele solare de siliciu.
4.3 Producția LED și MEMS
Esentială pentru etapele de procesare la temperatură ridicată implicate în fabricarea diodelor electroluminescente (LED) și a sistemelor micro-electro-mecanice (MEMS).
Tuburile de probă din cuarț sunt componente esențiale de înaltă performanță pentru laborator și industrie, fabricate din silică fuzionată de înaltă puritate, având de obicei un conținut de silică de 99,9% sau mai mare, cu variante superioare o puritate de 99,99 % SiO₂ . Procesul de fabricație implică topirea cristalelor naturale de cuarț la o temperatură extrem de ridicată, de aproximativ 2000 °C, urmată de tehnici precise de prelucrare, cum ar fi întinderea și modelarea, pentru a asigura o grosime uniformă a pereților și integritatea structurală. Aceste tuburi se disting de cele obișnuite din sticlă și de cele din borosilicat datorită combinației excepționale de proprietăți termice, chimice, optice și mecanice, ceea ce le face indispensabile în numeroase scenarii cu cerințe ridicate.
Parametrii tehnici
| Conținutul proprietăților | Unitate | Indicele proprietăților |
| Densitatea | g/cm3 | 1.9-2.0 |
| Rezistență la tractiune | Pa(N/m²) | 4,9×10⁷ |
| Rezistență la compresie | Pa | >1.0×10⁸ |
| Coeficient de expansiune termică | cm/cm·℃ | 5,4×10⁻⁷ |
| Conductivitate termică | W/m·℃ | Scăzută |
| Calor specifică | J/kg·℃ | 650 |
| Punct de molificare | ℃ | 1600 |
| Punct de revenire | ℃ | 1100 |
| Aluminiu | Fier | Potasiu | Litiu | Cupru | Sodiu | Bor | Calciu | Magnesiu |
| Metal | Fe | K | Li | Cu | NA | B | Ca | Mg |
| 65 | 1.17 | 4.4 | 7.21 | 0.13 | 5 | 0.1 | 1.21 | 0.07 |
Istoricul dezvoltării

Brevete și Certificări

Pachet

Servicii
Întrebări frecvente
Băț aromaterapie personalizat pentru mașină cu sticlă poroasă, băț parfumat
Componentă izolatoare ceramică din nitrură de aluminiu ALN cu conductivitate termică ridicată
Disc rotund din cuarț fuzionat transparent, cu înaltă transmitere UV
Bumbac integrat polimeric microporos PET personalizat pentru stocare ulei